Solid sic disc na hugis shower head

Ang papel ng solidong SIC disc na hugis shower head sa proseso ng CVD ay pantay na ipamahagi ang reaksyon gas sa itaas ng lugar ng pag-aalis upang ang gas ay maaaring pantay na magkalat sa buong reaktor upang makakuha ng isang patag at pantay na pelikula.

Ang solidong SIC shower head ay nakatakda sa tuktok ng hurno ng CVD o malapit sa gas inlet. Ang reaksyon gas ay pumapasok sa istraktura na hugis ng disc sa pamamagitan ng mga butas na ipinamamahagi sa shower head at nagkakalat sa paligid ng ibabaw ng shower head. Sa pamamagitan ng maramihang disenyo ng channel at pantay na ipinamamahagi na mga saksakan, ang reaksyon ng gas ay maaaring dumaloy nang pantay -pantay sa buong lugar ng reaktor, pag -iwas sa konsentrasyon o kaguluhan, at tinitiyak ang pagkakapare -pareho ng kapal ng layer na idineposito sa substrate.

Kasabay nito, ang istraktura ng semiconductor disc shower shower head ay mayroon ding epekto ng pagsasabog, na maaaring epektibong mabawasan ang rate ng daloy ng gas, upang maaari itong pantay na nagkakalat sa outlet ng nozzle, at bawasan ang epekto ng mga pagbabago sa daloy ng lokal na gas sa epekto ng pag -aalis. Tumutulong ito upang maiwasan ang direktang epekto ng gas sa substrate at maiwasan ang problema ng hindi pantay na pag -aalis.

Mula sa pananaw ng mga materyales, ang solidong SIC gas shower head ay gawa sa mataas na temperatura na lumalaban, lumalaban sa kaagnasan, at mataas na lakas na solidong materyal na SIC na may napakataas na katatagan. Maaari itong gumana nang matagal sa loob ng mahabang panahon sa hurno ng CVD at may mahabang buhay ng serbisyo.

Nagbibigay ang Vetek Semiconductor ng mataas na kalidad na mga na-customize na serbisyo. Ang hugis at butas na layout ng solidong SIC disc na hugis shower head ay maaaring nababagay na nababagay ayon sa mga kinakailangan sa proseso ng customer upang umangkop sa iba't ibang mga uri ng gas, mga rate ng daloy at mga materyales sa pag-aalis. Para sa iba't ibang laki ng mga reaktor o laki ng substrate, ang mga hugis-disc na shower head na may iba't ibang mga diametro at pamamahagi ng butas ay maaaring ipasadya upang ma-optimize ang epekto ng pamamahagi ng gas.

Ang Vetek Semiconductor ay may mga mature na proseso at mga advanced na teknolohiya para sa solidong sic semiconductor shower head product, na tumutulong sa isang malaking bilang ng mga customer upang makamit ang patuloy na pag -unlad sa mga proseso ng CVD. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Mga pisikal na katangian ng solidong sic

Ito semiconductorSolid sic disc-shaped shower head production shops