CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier

Mga Tampok ng Produkto

· Pangunahing Kagamitan:Idinisenyo para sa Rapid Thermal Annealing (RTA) at Rapid Thermal Processing (RTP) system.

· Primary Application: Na-optimize para sa mga proseso ng pagsusubo ng semiconductor wafer.

· Operating Tetemperatura:Matatag na operasyon mula 200°C hanggang 700°C.

· Excellent Thermal Uniformity: Tinitiyak ang pantay na pamamahagi ng init para sa pare-parehong pagpoproseso ng wafer.

· Mababang ParticleGpagbuo: Pinapababa ng makapal na CVD SiC coating ang kontaminasyon at pinapabuti ang ani ng produksyon.

· Superior na Paglaban sa Kemikal:Lumalaban sa oksihenasyon at kinakaing unti-unti na proseso ng mga gas sa panahon ng thermal processing.

· Outstanding Thermal Shock Resistance: Pinapanatili ang integridad ng istruktura sa pamamagitan ng paulit-ulit na mabilis na pag-init at paglamig.

· Mahabang Buhay ng Serbisyo:Ang SiC coating na lumalaban sa pagsusuot ay makabuluhang nagpapahaba ng buhay ng bahagi at binabawasan ang mga gastos sa pagpapanatili.

· CustomPaggawa:Magagamit sa iba't ibang laki at configuration upang tumugma sa iba't ibang kagamitan sa RTP/RTA.

Teknikal na Pagtutukoy

Mga aplikasyon

·Rapid Thermal Annealing (RTA)

· Rapid Thermal Processing (RTP)

· Silicon Wafer Annealing

· Pag-activate ng Dopant

· Oksihenasyon

· Pagsasabog

·Paggawa ng Compound Semiconductor

·Paggawa ng MEMS

·Pagproseso ng Power Semiconductor

FAQ

1. Ano ang RTP/RTA Carrier?

Ang RTP/RTA Carrier ay isang wafer support component na ginagamit sa loob ng mabilis na thermal processing at mabilis na thermal annealing system. Ligtas itong humahawak ng mga semiconductor wafer habang nagbibigay ng pare-parehong paglipat ng init sa buong thermal cycle.

2. Bakit mas gusto ang CVD SiC coating?

Kung ikukumpara sa bare graphite, ang CVD SiC coating ay nag-aalok ng superior oxidation resistance, lower particle generation, mas mahusay na chemical stability, at makabuluhang mas mahabang buhay ng serbisyo.

3. Maaari bang magbigay ang VETEK ng mga customized na RTP/RTA carrier?

Oo. Nag-aalok ang VETEK ng mga customized na RTP/RTA carrier batay sa mga drawing ng customer.