Silicon Carbide Wafer Chuck

Ang Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck ay gumagamit ng mahusay na mga katangian ng mga materyales na silikon na karbida upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan ng paggawa ng semiconductor, lalo na sa pagproseso ng semiconductor na nangangailangan ng napakataas na katumpakan at pagiging maaasahan.

Sa proseso ng pagproseso ng semiconductor,Silicon CarbideMay mahusay na mataas na paglaban sa temperatura (maaaring gumana nang matatag hanggang sa 1400 ° C), ang mababang kondaktibiti (ang SIC ay may medyo mababang kondaktibiti, karaniwang 10^^-3S/m) at mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal (tungkol sa 4.0 × 10^^-6/° C), na kung saan ay isang kailangang -kailangan at mahalagang materyal, lalo na ang angkop para sa paggawa ng silikon na karbida wafer chuck.

Sa panahon ngproseso ng paglaki ng epitaxial. Nakamit ito ng SIC vacuum chuck sa pamamagitan ng paglikha ng isang firm, pare -pareho na vacuum hold upang maiwasan ang anumang paggalaw o pagpapapangit ng wafer.

Nag -aalok din ang Silicon Carbide Wafer Chuck ng mahusay na pagtutol sa thermal shock. Ang mabilis na mga pagbabago sa temperatura ay karaniwan sa pagmamanupaktura ng semiconductor, at ang mga materyales na hindi makatiis sa mga pagbabagu -bago ay maaaring mag -crack, yumuko, o mabigo. Ang Silicon Carbide ay may mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal at maaaring mapanatili ang hugis at pag -andar kahit na sa ilalim ng mga pagbabago sa temperatura, tinitiyak na ang wafer ay nananatiling ligtas sa panahon ng proseso ng epitaxy nang walang paggalaw o maling pag -aalsa.

Bukod dito, angproseso ng epitaxymadalas na nagsasangkot ng mga reaktibo na gas at iba pang mga kinakaing unti -unting kemikal. Ang kemikal na pagkawalang -galaw ng SIC wafer chuck ay nagsisiguro na hindi ito apektado ng mga malupit na kapaligiran na ito, pinapanatili ang pagganap nito at pagpapalawak ng buhay ng serbisyo nito. Ang tibay ng kemikal na ito ay hindi lamang binabawasan ang dalas ng kapalit ng wafer chuck, ngunit tinitiyak din ang pare-pareho na pagganap ng produkto sa maraming mga siklo ng produksyon, na tumutulong upang mapagbuti ang pangkalahatang kahusayan at pagiging epektibo ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mga produktong wafer chuck ng silikon na chuck sa China. Maaari kaming magbigay ng iba't ibang uri ng mga produktong chuck tulad ngPorous sic ceramic chuck, Porous sic vacuum chuck, Porous ceramic vacuum chuckatTAC Coated Chuck, atbp. Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga advanced na solusyon sa teknolohiya at produkto para sa industriya ng semiconductor. Taos-puso kaming umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

SEM data ng CVDSIC Film Crystal Structure：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：