Silicon carbide ceramic coating heater

Ito semiconductorAng Silicon Carbide Ceramic Coating Heater ay isang pampainit na idinisenyo para sa mataas na temperatura at malupit na mga kapaligiran. Nag -coats ito ng isang layer ng silikon carbon ceramic coating (sic) sa ibabaw ng elemento ng pag -init upang mabigyan ang kagamitan ng mahusay na paglaban sa init, paglaban ng kaagnasan at thermal conductivity. 

Silicon carbide ceramic coating heateray pangunahing ginagamit sa kagamitan sa vacuum coating (pagsingaw). Ang mga karaniwang ginagamit na pamamaraan ay ang PCD (Plasma Chemical Drying) at PVD (Physical Vapor Deposition), na malawakang ginagamit sa paggawa ng semiconductor at iba pang mga high-demand na pang-industriya na aplikasyon.

Pinagsama sa disenyo ng patong na may mataas na pagganap ng silikon na carbide ceramic coating heater,Maaari itong magbigay ng isang mahusay na solusyon sa pag-init para sa mga proseso ng mataas na temperatura.

Napakahusay na thermal conductivity: Ang materyal na SIC ay may mahusay na thermal conductivity, tinitiyak na ang pampainit ay maaaring makamit ang pantay na pamamahagi ng init sa lugar ng pagtatrabaho at bawasan ang mga gradients ng temperatura.

Magbigay ng pantay na pamamahagi ng init: Ang silikon na karbida ceramic coating heater ay gumagamit ng mataas na thermal conductivity ng SIC material upang makamit ang pantay na pamamahagi ng temperatura sa buong lugar ng pag -init. Ito ay kritikal upang matiyak ang pantay na paggamot ng init ng mga wafer ng semiconductor sa iba't ibang mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng mabilis na pagproseso ng thermal (RTP), pagsasabog at oksihenasyon, pag-iwas sa mga depekto ng produkto na sanhi ng lokal na sobrang pag-init o hindi pantay na temperatura.

Mataas na temperatura tolerance: Ang patong ng SIC ay nagbibigay-daan sa pampainit na makatiis ng napakataas na temperatura, karaniwang hanggang sa 1600 ° C, na angkop para sa iba't ibang mga proseso ng pagproseso ng mataas na temperatura.

Pagbutihin ang paglaban sa init: Dahil ang patong ay maaaring makatiis ng napakataas na temperatura, mahusay itong gumaganap sa mga proseso na nangangailangan ng pangmatagalang operasyon na may mataas na temperatura. Halimbawa, sa mga proseso ng pag-aalis ng singaw ng kemikal (CVD), ang silikon carbide ceramic coating heater ay maaaring matiyak ang pangmatagalang matatag na operasyon ng kagamitan sa mataas na temperatura at mapanatili ang pare-pareho na pagganap ng pag-init, sa gayon ang pagpapabuti ng proseso ng pag-uulit at pagiging maaasahan.

Paglaban sa kaagnasan ng kemikal: Ang patong ng SIC ay may napakataas na pagtutol sa acid, alkali at kinakaing unti -unting gas, at maaaring manatiling matatag sa loob ng mahabang panahon sa isang kumplikadong kapaligiran sa kemikal na kapaligiran, na nagpapalawak ng buhay ng kagamitan. 

Pagpapalawak ng buhay ng kagamitan: Ang patong ng SIC ay may mahusay na paglaban sa oksihenasyon at paglaban ng kaagnasan, at maaaring epektibong pigilan ang pagguho ng kemikal at oksihenasyon sa mataas na temperatura. Ito ay napaka -kritikal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa isang kapaligiran na humahawak ng mga kinakaing unti -unting gas at kemikal. Ang proteksiyon na epekto ng patong ay maaaring makabuluhang mapalawak ang buhay ng serbisyo ng pampainit at mabawasan ang dalas ng mga kapalit ng kagamitan at mga gastos sa pagpapanatili.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng silikon na karbida ng ceramic coating heater:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Heater Shops:

Pangkalahatang -ideya ng Vetek Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: