Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater

Ito semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite HeaterPinagsasama ang mahusay na elektrikal at thermal conductivity ng grapayt na may mataas na temperatura resistensya, paglaban ng kaagnasan at pagsusuot ng paglaban ng silikon carbon ceramic coating, at dinisenyo para sa malupit na mga kapaligiran sa pagmamanupaktura ng semiconductor. 

Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heateray pangunahing ginagamit sa kagamitan sa vacuum coating (pagsingaw), at ang mga pamamaraan na karaniwang ginagamit ay PCD (Plasma Chemical Drying) at PVD (pisikal na pag -aalis ng singaw). Ang produktong ito ay may mahalagang papel sa pagtaguyod ng teknolohikal na pag -unlad at pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon sa industriya ng semiconductor.Taos -puso kaming inaasahan ang karagdagang pakikipagtulungan sa iyo.

Ang mga materyal at istruktura na tampok ng silikon na karbida ceramic coating grapayt heater ay ang mga sumusunod:

Graphite substrate: Ang grapayt ay kilala para sa mataas na thermal conductivity at mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal. Maaari itong tumugon nang mabilis sa mga pagbabago sa temperatura at mapanatili ang katatagan ng istruktura sa mataas na temperatura.

Silicon carbon ceramic coating: Ang patong ng SIC ay pantay na pinahiran sa ibabaw ng grapayt sa pamamagitan ng pag -aalis ng singaw ng kemikal o iba pang mga advanced na proseso. Ang SIC ay may napakataas na tigas at paglaban sa kaagnasan ng kemikal, na maaaring maprotektahan ang grapayt na substrate mula sa mataas na temperatura na oksihenasyon at mga kinakailangang kapaligiran.

Ang espesyal na disenyo ng istruktura ng produkto ng silikon na karbida ceramic coating graphite heater ay tumutukoyAng hindi mapapalitan na mga bentahe ng produkto ng produktong ito sa proseso ng pagproseso ng semiconductor:

Mahusay at pantay na pag -init:

Thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng grapayt ay nagbibigay -daan sa heater na mabilis na maabot at mapanatili ang kinakailangang temperatura, at tinitiyak ng patong ng SIC ang pantay na pamamahagi ng init. Ito ay lalong mahalaga para sa mga proseso ng semiconductor na nangangailangan ng tumpak na kontrol sa temperatura, tulad ng mabilis na pagproseso ng thermal (RTP) at pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD).

Pagkakapareho ng temperatura: Sa pamamagitan ng pantay na pamamahagi ng init, ang silikon na karbida ng ceramic coating heater ay maaaring epektibong mabawasan ang thermal stress at gradient ng temperatura, tinitiyak ang pagkakapare -pareho at kalidad ng katatagan ng mga wafer ng semiconductor sa buong proseso ng pag -init.

Proteksyon ng anti-kanal:

Paglaban sa kemikal: Ang paglaban ng kaagnasan ng kemikal ng SIC coating ay nagbibigay -daan sa pampainit upang mapatakbo nang matatag at sa mahabang panahon sa mga kinakaing unti -unting gas at kemikal na kapaligiran, pag -iwas sa pinsala sa grapayt na substrate. Ang tampok na ito ay partikular na kritikal sa mga proseso tulad ng Chemical Vapor Deposition (CVD) at Plasma na pinahusay na Chemical Vapor Deposition (PECVD).

Paglaban sa Oxidation: Sa mataas na temperatura, ang patong ng SIC ay maaaring maiwasan ang oksihenasyon ng grapayt na substrate, palawakin ang buhay ng serbisyo ng pampainit, at bawasan ang dalas at gastos ng pagpapanatili ng kagamitan.

Bawasan ang kontaminasyon ng butil:

Katatagan ng ibabaw: Ang patong ng SIC ay hindi lamang lumalaban sa pagsusuot, ngunit pinipigilan din ang mga particle mula sa pagbagsak ng materyal na ibabaw dahil sa thermal cycling o kemikal na reaksyon, sa gayon binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng butil na maaaring mangyari sa panahon ng paggawa ng semiconductor at tinitiyak ang isang kapaligiran na proseso ng paglilinis ng mataas.

Pagbutihin ang pagiging maaasahan ng proseso at kahusayan:

Long-life design: Dahil sa kumbinasyon ng mekanikal na lakas ng grapayt at ang paglaban ng sic coating, ang silikon na karbida ceramic coating graphite heater ay maaaring mapanatili ang operasyon ng mataas na kahusayan sa loob ng mahabang panahon sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso, makabuluhang pagpapabuti ng pangkalahatang pagiging maaasahan ng kagamitan.

Mahusay na paggamit ng enerhiya: Ang mataas na thermal conductivity ng grapayt at ang mataas na temperatura na katatagan ng SIC coating ay nagbibigay-daan sa pampainit upang mabawasan ang pagkonsumo ng enerhiya habang pinapabuti ang katumpakan ng kontrol sa temperatura, sa gayon ay mapapabuti ang pangkalahatang kahusayan ng paggawa ng semiconductor.

Pangunahing pisikal na katangian ngSilicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater:

Ito semiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heatermga tindahan:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

/iba pang proseso