Mga Prinsipyo at Teknolohiya ng Physical Vapor Deposition Coating (1/2) - Vetek Semiconductor

Pisikal na proseso ngPatong ng vacuum

Ang vacuum coating ay maaaring talaga nahahati sa tatlong mga proseso: "film material vaporization", "vacuum transport" at "manipis na paglago ng pelikula". Sa patong ng vacuum, kung ang materyal ng pelikula ay solid, pagkatapos ay dapat gawin ang mga hakbang upang singaw o sublimate ang solidong materyal ng pelikula sa gas, at pagkatapos ay ang mga vaporized film material particle ay dinadala sa isang vacuum. Sa panahon ng proseso ng transportasyon, ang mga particle ay maaaring hindi makaranas ng mga pagbangga at direktang maabot ang substrate, o maaari silang mabangga sa espasyo at maabot ang ibabaw ng substrate pagkatapos ng pagkalat. Sa wakas, ang mga particle ay nagpapahintulot sa substrate at lumago sa isang manipis na pelikula. Samakatuwid, ang proseso ng patong ay nagsasangkot ng pagsingaw o pagbagsak ng materyal ng pelikula, ang transportasyon ng mga gas na mga atomo sa isang vacuum, at ang adsorption, pagsasabog, nucleation at desorption ng mga gas na mga atoms sa solidong ibabaw.

Pag -uuri ng Patong ng vacuum

Ayon sa iba't ibang mga paraan kung saan nagbabago ang materyal ng pelikula mula sa solid hanggang sa gas, at ang iba't ibang mga proseso ng transportasyon ng mga materyal na atom ng film sa isang vacuum, ang vacuum coating ay maaaring nahahati sa apat na uri: vacuum evaporation, vacuum sputtering, vacuum ion plating, at vacuum chemical vapor deposition. Ang unang tatlong pamamaraan ay tinatawagpisikal na pag -aalis ng singaw (PVD), at ang huli ay tinawagChemical Vapor Deposition (CVD).

Vacuum evaporation coating

Ang vacuum evaporation coating ay isa sa mga pinakalumang teknolohiya ng patong ng vacuum. Noong 1887, iniulat ni R. Nahrwold ang paghahanda ng platinum film sa pamamagitan ng sublimation ng platinum sa vacuum, na kung saan ay itinuturing na pinagmulan ng pagsingaw na patong. Ngayon ang pagsingaw ng patong ay binuo mula sa paunang pagtutol ng pagsingaw ng pagsingaw sa iba't ibang mga teknolohiya tulad ng patong ng pagsingaw ng electron beam, induction heating evaporation coating at pulse laser evaporation coating.

Pag -init ng paglabanVacuum evaporation coating

Ang mapagkukunan ng paglaban sa paglaban ay isang aparato na gumagamit ng elektrikal na enerhiya upang direkta o hindi direktang painitin ang materyal na pelikula. Ang mapagkukunan ng paglaban sa paglaban ay karaniwang gawa sa mga metal, oxides o nitrides na may mataas na punto ng pagtunaw, mababang presyon ng singaw, mahusay na kemikal at mekanikal na katatagan, tulad ng tungsten, molibdenum, tantalum, mataas na kadalisayan ng grapayt, aluminyo oxide ceramics, boron nitride ceramics at iba pang mga materyales. Ang mga hugis ng mga mapagkukunan ng paglaban sa paglaban ay higit sa lahat ay may kasamang mga mapagkukunan ng filament, mga mapagkukunan ng foil at crucibles.

Kapag ginagamit, para sa mga mapagkukunan ng filament at mga mapagkukunan ng foil, ayusin lamang ang dalawang dulo ng mapagkukunan ng pagsingaw sa mga post ng terminal na may mga mani. Ang crucible ay karaniwang inilalagay sa isang wire ng spiral, at ang wire ng spiral ay pinapagana upang mapainit ang crucible, at pagkatapos ay ang paglipad ay naglilipat ng init sa materyal ng pelikula.

Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa ng Tsino ngTantalum Carbide Coating, Silicon Carbide Coating, Espesyal na Graphite, Silicon Carbide CeramicsatIba pang mga semiconductor ceramics.Ang Vetek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga advanced na solusyon para sa iba't ibang mga produkto ng patong para sa industriya ng semiconductor.

Kung mayroon kang anumang mga katanungan o nangangailangan ng karagdagang mga detalye, mangyaring huwag mag -atubiling makipag -ugnay sa amin.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com