Porous Tantalum Carbide (TaC) Coated Graphite Ring

Mga Tampok ng Produkto

• Pangunahing Kagamitan:Inilaan para sa SiC single crystal growth furnace na gumagana gamit ang PVT technology.
• Pangunahing Aplikasyon:Naaangkop para sa mga thermal field system sa third-generation semiconductor SiC crystal growth.
• Katatagan ng Mataas na Temperatura:Ang TaC coating ay nagpapanatili ng integridad ng istruktura sa ilalim ng napakataas na temperatura, na sumusuporta sa pinalawig na operasyon sa hinihingi na mga thermal environment.
• Proteksyon sa kaagnasan:Pinoprotektahan ng siksik na layer ng CVD TaC ang graphite substrate mula sa silicon vapor, mga carbon-bearing gas, at iba pang corrosive species na nakatagpo sa paglago ng SiC.
• Pagganap ng Thermal Field:Ang porous graphite base ay tumutulong sa pamamahagi ng init at transportasyon ng singaw, na tumutulong na mapanatili ang matatag na kondisyon ng paglago.
• Mababang Kontaminasyon:High-purity na panimulang materyales at ang siksik na coating ay naglilimita sa paglabas ng impurity at pagbuhos ng particle, na nakikinabang sa kalidad ng kristal.
• Pinahabang Haba:Pinapabuti ng layer ng TaC ang oxidation resistance, katigasan ng ibabaw, at pangkalahatang tibay sa mataas na temperatura.
• Pagdirikit ng Patong:Ang proseso ng CVD ay nagbubunga ng isang malakas na bono sa pagitan ng TaC film at ng graphite substrate.
• Mga Pasadyang Pagpipilian:Maaaring iakma ang mga sukat, detalye ng istruktura, at mga detalye ng coating upang tumugma sa iba't ibang kinakailangan sa SiC growth furnace.

Teknikal na Pagtutukoy

Mga aplikasyon

Ang VETEK Porous TaC Coated Graphite Ring ay pangunahing ginagamit sa:

• SiC solong kristal na paglaki sa pamamagitan ng PVT
• Third-generation semiconductor manufacturing
• Ang paggawa ng substrate ng SiC
• Mga sistema ng thermal field sa mga hurno ng paglago ng kristal
• Pagproseso ng high-temperature na semiconductor
• Mga advanced na bahagi ng graphite hot‑zone

FAQ

1. Ano ang Porous TaC Coated Graphite Ring?

Ito ay isang bahagi ng thermal field para sa SiC crystal growth furnaces. Pinagsasama nito ang isang porous na graphite na istraktura na may isang CVD TaC coating upang maghatid ng thermal management at proteksyon laban sa mataas na temperatura na kaagnasan.

2. Bakit gumamit ng TaC coating para sa paglaki ng SiC crystal?

Ang TaC ay nagbibigay ng mataas na temperatura na katatagan at paglaban sa kemikal. Pinoprotektahan nito ang graphite mula sa pag-atake ng singaw ng silikon at tumutulong na mapanatili ang isang malinis, matatag na kapaligiran sa paglago.

3. Ano ang inaalok ng porous graphite structure?

Sinusuportahan ng porous na disenyo ang thermal distribution at gas transport sa loob ng furnace, na nag-aambag sa matatag na kondisyon ng paglago ng SiC crystal.

4. Makakagawa ba ang VETEK ng customized na TaC coated graphite rings?

Oo. Nag-aalok ang VETEK ng pagpapasadya batay sa mga drawing ng customer, disenyo ng furnace, at mga pangangailangan sa proseso, kabilang ang mga sukat, pagsasaayos ng substrate, at mga parameter ng coating.