Mga produkto

Proseso ng SiC Epitaxy

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.


Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .


Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.


Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflectors at filters. Mga Industrial assemblies kabilang ang mga resistive heating elements, nozzle, shielding ring at brazing fixture, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang mga wafer carrier, satellite tray, shower head, takip at pedestal, mga bahagi ng MOCVD.


Layunin:

 ● LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

● ALD(Semiconductor) Receiver

● EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)


Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

SiC TaC
Pangunahing Tampok Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan >99.9999% >99.9999%
Densidad (g/cm3) 3.21 15
Katigasan (kg/mm2) 2900-3300 6.7-7.2
Resistivity [Ωcm] 0.1-15,000 <1
Thermal conductivity (W/m-K) 200-360 22
Coefficient ng thermal expansion(10-6/℃) 4.5-5 6.3
Aplikasyon Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer) SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts


View as  
 
TAC Coating ekstrang bahagi

TAC Coating ekstrang bahagi

Ang TAC coating ay kasalukuyang pangunahing ginagamit sa mga proseso tulad ng silikon na karbida solong paglago ng kristal (PVT na pamamaraan), epitaxial disk (kabilang ang magandang pang-matagalang epitaxy, LED epitaxy), atbp. Pinagsama sa magandang pangmatagalang katatagan ng TAC coating plate, Veteksemicon's TAC coating plate ay naging benchmark para sa TAC coating ekstrang bahagi. Inaasahan namin sa iyo na maging aming pangmatagalang kasosyo.
Gan sa EPI receiver

Gan sa EPI receiver

Ang GaN sa SIC EPI Susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagproseso ng semiconductor sa pamamagitan ng mahusay na thermal conductivity, mataas na temperatura ng pagproseso ng temperatura at katatagan ng kemikal, at tinitiyak ang mataas na kahusayan at materyal na kalidad ng proseso ng paglago ng epitaxial ng GaN. Ang Vetek Semiconductor ay isang tagagawa ng propesyonal na China ng GaN sa SIC EPI Susceptor, taimtim kaming inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.
CVD TAC Coating Carrier

CVD TAC Coating Carrier

Ang CVD TAC coating carrier ay pangunahing dinisenyo para sa epitaxial na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang ultra-high point point ng CVD TAC Coating Carrier, mahusay na pagtutol ng kaagnasan, at natitirang thermal stability ay matukoy ang kailangang-kailangan ng produktong ito sa semiconductor epitaxial process. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang pagtatanong.
TAC Coated Graphite Support

TAC Coated Graphite Support

Gumagamit ang VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor ng chemical vapor deposition(CVD) na paraan upang maghanda ng tantalum carbide coating sa ibabaw ng mga bahagi ng graphite. Ang prosesong ito ay ang pinaka-mature at may pinakamahusay na mga katangian ng patong. Maaaring pahabain ng TaC Coated Graphite Susceptor ang buhay ng serbisyo ng mga bahagi ng graphite, pigilan ang paglipat ng mga dumi ng graphite, at tiyakin ang kalidad ng epitaxy. Inaasahan namin ang iyong pagtatanong.
TAC Coating Subser

TAC Coating Subser

Inihahatid ng Vetek Semiconductor ang TAC coating na Susceptor, na may pambihirang TAC coating, ang pagkamatay na ito ay nag -aalok ng maraming mga pakinabang na nagtatakda nito bukod sa maginoo na mga solusyon.Integrating nang walang putol sa umiiral na mga sistema, ang TAC coating susceptor mula sa Vetek Semiconductor ay ginagarantiyahan ang pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at de-kalidad na patong ng TAC ay patuloy na naghahatid ng mga pambihirang resulta sa mga proseso ng epitaxy ng SIC.May nakatuon sa pagbibigay ng kalidad ng mga produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
TAC coating rotation plate

TAC coating rotation plate

Ang TAC coating rotation plate na ginawa ni Vetek Semiconductor ay ipinagmamalaki ang isang natitirang TAC coating, kasama ang pambihirang TAC coating, TAC coating rotation plate na may kapansin-pansin na mataas na temperatura na paglaban at kemikal na pagkawalang-kilos, na nagtatakda ito mula sa tradisyonal na mga solusyon.We ay nakatuon sa pagbibigay ng mga kalidad na produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Proseso ng SiC Epitaxy na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept