Gumagamit ng solidong silikon na karbida

Ang Solid Silicon Carbide SIC ay isang advanced na ceramic material na binubuo ng silikon (SI) at carbon (C). Ito ay hindi isang sangkap na malawak na matatagpuan sa kalikasan at karaniwang nangangailangan ng synthesis ng mataas na temperatura. Ang natatanging kumbinasyon ng mga pisikal at kemikal na katangian ay ginagawang isang pangunahing materyal na mahusay na gumaganap sa matinding mga kapaligiran, lalo na sa pagmamanupaktura ng semiconductor.

Ⅰ. Mga pangunahing pisikal na katangian ng solidong silikon na karbida (solid sic)

▶ Mataas na katigasan at paglaban sa pagsusuot:

Ang SIC ay may tigas na Mohs na halos 9-9.5, pangalawa lamang sa brilyante. Nagbibigay ito ng mahusay na gasgas at pagsusuot ng paglaban, at mahusay itong gumaganap sa mga kapaligiran na kailangang makatiis ng mekanikal na stress o pagguho ng butil.

▶ Mahusay na lakas at katatagan ng mataas na temperatura

1. Maaaring mapanatili ng sic ang lakas ng mekanikal at integridad ng istruktura sa sobrang mataas na temperatura (pagpapatakbo sa temperatura hanggang sa 1600 ° C o kahit na mas mataas, depende sa uri at kadalisayan).

2. Ang mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal ay nangangahulugan na mayroon itong mahusay na dimensional na katatagan at hindi madaling kapitan ng pagpapapangit o pag -crack kapag nagbago ang temperatura.

▶ Mataas na thermal conductivity:

Hindi tulad ng maraming iba pang mga ceramic na materyales, ang SIC ay may medyo mataas na thermal conductivity. Pinapayagan nito na magsagawa at mag -dissipate ng init nang mahusay, na kritikal para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng tumpak na kontrol sa temperatura at pagkakapareho.

Superior kemikal na pagkawalang -galaw at paglaban sa kaagnasan:

Ang SIC ay nagpapakita ng napakalakas na pagtutol sa pinakamalakas na acid, malakas na mga base, at mga kinakaing unti-unting gas na karaniwang ginagamit sa mga proseso ng semiconductor (tulad ng mga gas na batay sa fluorine at batay sa klorin sa mga kapaligiran ng plasma), kahit na sa mataas na temperatura. Ito ay kritikal upang maiwasan ang mga bahagi ng proseso ng silid na maging corroded o kontaminado.

▶ Potensyal para sa mataas na kadalisayan:

Lubhang mataas na kadalisayan ang mga coatings o solidong mga bahagi ng SIC ay maaaring magawa sa pamamagitan ng mga tiyak na proseso ng pagmamanupaktura (tulad ng pag -aalis ng singaw ng kemikal - CVD). Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang kadalisayan ng materyal ay direktang nakakaapekto sa antas ng kontaminasyon ng wafer at ang ani ng panghuling produkto.

▶ Mataas na Higpit (Modulus ng Young):

Ang SIC ay may isang modulus na Mataas na Bata, na nangangahulugang napakahirap at hindi madaling ma -deform sa ilalim ng pag -load. Napakahalaga nito para sa mga sangkap na kailangang mapanatili ang tumpak na hugis at sukat (tulad ng mga wafer carriers).

▶ Tunable Electrical Properties:

Bagaman madalas itong ginagamit bilang isang insulator o semiconductor (depende sa form na kristal at doping), ang mataas na resistivity nito ay tumutulong sa pamamahala ng pag -uugali ng plasma o maiwasan ang hindi kinakailangang paglabas ng arko sa ilang mga aplikasyon ng sangkap.

Ⅱ. Ang mga tiyak na aplikasyon at bentahe ng solidong silikon na karbida (solid sic) ay natapos ang mga produkto sa pagmamanupaktura ng semiconductor

Batay sa itaas na mga pisikal na katangian, ang solidong SIC ay ginawa sa iba't ibang mga sangkap ng katumpakan at malawakang ginagamit sa maraming mga pangunahing link ng mga proseso ng semiconductor sa harap.

1) Solid sic wafer carrier (solid sic wafer carrier / boat):

Application:

Ginamit upang magdala at maglipat ng mga wafer ng silikon sa mga proseso ng mataas na temperatura (tulad ng pagsasabog, oksihenasyon, LPCVD-mababang pag-aalis ng singaw ng kemikal).

Pagtatasa ng Mga Bentahe:

1. Mataas na katatagan ng temperatura: Sa mga temperatura ng proseso na lumampas sa 1000 ° C, ang mga carrier ng SIC ay hindi mapapalambot, magbabawas o mag -sag nang madali bilang kuwarts, at maaaring tumpak na mapanatili ang wafer spacing upang matiyak ang pagkakapareho ng proseso.

2. Mahabang buhay at mababang henerasyon ng butil: Ang katigasan ng SIC at pagsusuot ng mas malayo ay lumampas sa kuwarts, at hindi madaling makagawa ng mga maliliit na partikulo upang mahawahan ang mga wafer. Ang buhay ng serbisyo nito ay karaniwang maraming beses o kahit na dose -dosenang beses na ng mga quartz carriers, binabawasan ang dalas ng kapalit at mga gastos sa pagpapanatili.

3. Kemikal na pagkawalang -galaw: Maaari itong pigilan ang pagguho ng kemikal sa kapaligiran ng proseso at bawasan ang kontaminasyon ng wafer na sanhi ng pag -ulan ng sariling mga materyales.

4. Thermal conductivity: Ang mahusay na thermal conductivity ay tumutulong upang makamit ang mabilis at pantay na pag -init at paglamig ng mga carrier at wafer, pagpapabuti ng kahusayan sa proseso at pagkakapareho ng temperatura.

5. Mataas na kadalisayan: Ang mga high-kadalisayan na mga carrier ng SIC ay maaaring makagawa upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan ng mga advanced na node para sa kontrol ng karumihan.

Halaga ng Gumagamit:

Pagbutihin ang katatagan ng proseso, dagdagan ang ani ng produkto, bawasan ang downtime na sanhi ng pagkabigo ng sangkap o kontaminasyon, at bawasan ang pangkalahatang gastos ng pagmamay -ari sa katagalan.

2) Solid sic disc-shaped / gas shower head:

Application:

Naka -install sa tuktok ng silid ng reaksyon ng kagamitan tulad ng plasma etching, kemikal na singaw ng singaw (CVD), atomic layer deposition (ALD), atbp, na responsable para sa pantay na pamamahagi ng mga proseso ng gas sa ibabaw ng wafer sa ibaba.

Pagtatasa ng kalamangan:

1. Plasma Tolerance: Sa isang mataas na enerhiya, kemikal na aktibong kapaligiran ng plasma, ang SIC shower head ay nagpapakita ng napakalakas na pagtutol sa pambobomba ng plasma at kaagnasan ng kemikal, na kung saan ay higit na mataas sa quartz o alumina.

2. Pagkakapareho at katatagan: Ang ulo ng machined na SIC shower head ay maaaring matiyak na ang daloy ng gas ay pantay na ipinamamahagi sa buong ibabaw ng wafer, na kritikal para sa pagkakapareho ng kapal ng pelikula, pagkakapareho ng komposisyon, o rate ng etching. Mayroon itong magandang pangmatagalang katatagan at hindi madaling i-deform o clog.

3. Pamamahala ng Thermal: Ang mahusay na thermal conductivity ay tumutulong na mapanatili ang pagkakapareho ng temperatura sa ibabaw ng showerhead, na kritikal para sa maraming mga proseso ng pag-aalis ng sensitibo sa init o etching.

4. Mababang kontaminasyon: Mataas na kadalisayan at kemikal na pagkawalang -galaw ay bawasan ang kontaminasyon ng sariling mga materyales ng showerhead sa proseso.

Halaga ng Gumagamit:

Ang makabuluhang pagbutihin ang pagkakapareho at pag -uulit ng mga resulta ng proseso, palawakin ang buhay ng serbisyo ng showerhead, bawasan ang mga oras ng pagpapanatili at mga problema sa butil, at suportahan ang mas advanced at mas mahigpit na mga kondisyon ng proseso.

3) Solid sic etching focus ring (Solid sic etching Focusing Ring / Edge Ring):

Application:

Pangunahin na ginagamit sa silid ng plasma etching kagamitan (tulad ng capacitively coupled plasma CCP o inductively coupled plasma ICP etcher), na karaniwang inilalagay sa gilid ng wafer carrier (chuck), na nakapaligid sa wafer. Ang pag -andar nito ay upang pilitin at gabayan ang plasma upang ito ay kumikilos nang pantay -pantay sa ibabaw ng wafer habang pinoprotektahan ang iba pang mga sangkap ng silid.

Pagtatasa ng kalamangan:

1. Malakas na pagtutol sa pagguho ng plasma: Ito ang pinakatanyag na bentahe ng singsing na nakatuon sa SIC. Sa sobrang agresibong etching plasmas (tulad ng fluorine- o mga kemikal na naglalaman ng klorin), ang SIC ay nagsusuot ng mas mabagal kaysa sa kuwarts, alumina, o kahit na yttria (yttrium oxide), at may napakatagal na buhay.

2. Pagpapanatili ng mga kritikal na sukat: Ang mataas na tigas at mataas na katigasan ay nagpapahintulot sa mga singsing na nakatuon sa SIC na mas mahusay na mapanatili ang kanilang tumpak na hugis at sukat sa mahabang panahon ng paggamit, na kritikal para sa pag -stabilize ng morpolohiya ng plasma at tinitiyak ang pagkakapareho ng pag -iisa.

3. Mababang henerasyon ng butil: Dahil sa paglaban ng pagsusuot nito, lubos itong binabawasan ang mga particle na nabuo sa pamamagitan ng pag -iipon ng sangkap, sa gayon ay nagpapabuti ng ani.

4. Mataas na kadalisayan: Iwasan ang pagpapakilala ng metal o iba pang mga impurities.

Halaga ng Gumagamit:

Labis na pahabain ang mga siklo ng kapalit na sangkap, makabuluhang bawasan ang mga gastos sa pagpapanatili at downtime ng kagamitan; pagbutihin ang katatagan at pag -uulit ng mga proseso ng etching; Bawasan ang mga depekto at pagbutihin ang ani ng high-end chip manufacturing.

Ⅲ.Buod

Ang solidong silikon na karbida ay naging isa sa mga kailangang -kailangan na mga pangunahing materyales sa modernong pagmamanupaktura ng semiconductor dahil sa natatanging kumbinasyon ng mga pisikal na katangian - mataas na katigasan, mataas na punto ng pagtunaw, mataas na thermal conductivity, mahusay na katatagan ng kemikal at paglaban sa kaagnasan. Kung ito ay isang carrier para sa pagdadala ng mga wafer, isang shower head para sa pagkontrol sa pamamahagi ng gas, o isang pagtuon na singsing para sa paggabay ng plasma, ang mga solidong produkto ng SIC ay tumutulong sa mga tagagawa ng chip na makayanan ang lalong mahigpit na proseso ng mga hamon sa kanilang mahusay na pagganap at pagiging maaasahan, pagbutihin ang kahusayan ng produksyon at ani ng produkto, at sa gayon ay itaguyod ang napapanatiling pag -unlad ng buong industriya ng semiconductor.

Bilang isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng solidong mga produktong karbida ng silikon sa Tsina,Semiconmga produkto tulad ngSolid sic wafer carrier / bangka, Solid sic disc-shaped / gas shower head, Solid sic etching focus singsing / gilid singsingay malawak na ibinebenta sa Europa at Estados Unidos, at nanalo ng mataas na papuri at pagkilala mula sa mga kostumer na ito. Taos-puso kaming inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China. Maligayang pagdating upang kumunsulta.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com