TAC Coated Graphite Support

Malugod kang tinatanggap na pumunta sa aming factory na VeTek Semiconductor para bumili ng pinakabagong benta, mababang presyo, at mataas na kalidad na TaC Coated Graphite Susceptor. Inaasahan namin ang pakikipagtulungan sa iyo.

Ang Tantalum Carbide Ceramic Material Melting Point Hanggang sa 3880 ℃, ay isang mataas na punto ng pagtunaw at mahusay na katatagan ng kemikal ng tambalan, ang mataas na temperatura ng kapaligiran ay maaari pa ring mapanatili ang matatag na pagganap, bilang karagdagan, mayroon din itong mataas na temperatura paglaban, paglaban sa kaagnasan ng kemikal, mahusay na kemikal at mekanikal na pagiging tugma sa mga materyales ng carbon at iba pang mga katangian, na ginagawa itong isang mainam na grapayt na substrate na proteksiyon na patong na patong. Ang tantalum carbide coating ay maaaring epektibong maprotektahan ang mga sangkap na grapayt mula sa impluwensya ng mainit na ammonia, hydrogen at silikon na singaw at tinunaw na metal sa malupit na paggamit ng kapaligiran, makabuluhang palawakin ang buhay ng serbisyo ng mga sangkap na grapayt, at pagbawalan ang paglipat ng mga impurities sa grapayt, tinitiyak ang kalidad ng epitaxy at crystal growth.it na pangunahing ginagamit sa basa na proseso ng ceramic.

Ang chemical vapor deposition (CVD) ay ang pinaka-mature at pinakamainam na paraan ng paghahanda para sa tantalum carbide coating sa ibabaw ng graphite.

Paraan ng CVD TAC Coating para sa TAC Coated Graphite Susceptor:

Ang proseso ng coating ay gumagamit ng TaCl5 at propylene bilang carbon source at tantalum source ayon sa pagkakabanggit, at argon bilang carrier gas upang dalhin ang tantalum pentachloride vapor sa reaction chamber pagkatapos ng mataas na temperatura na gasification. Sa ilalim ng target na temperatura at presyon, ang singaw ng precursor na materyal ay na-adsorbed sa ibabaw ng bahagi ng grapayt, at isang serye ng mga kumplikadong reaksiyong kemikal tulad ng agnas at kumbinasyon ng pinagmumulan ng carbon at pinagmumulan ng tantalum ay nagaganap. Kasabay nito, ang isang serye ng mga reaksyon sa ibabaw tulad ng pagsasabog ng precursor at desorption ng mga by-product ay kasangkot din. Sa wakas, ang isang siksik na proteksiyon na layer ay nabuo sa ibabaw ng bahagi ng grapayt, na nagpoprotekta sa bahagi ng grapayt mula sa pagiging matatag sa ilalim ng matinding mga kondisyon sa kapaligiran. Ang mga sitwasyon ng aplikasyon ng mga materyal na grapayt ay makabuluhang pinalawak.

Parameter ng produkto ng TaC Coated Graphite Susceptor:

Mga tindahan ng produksyon:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: