TAC Coating Planetary Susceptor

Sa kaharian ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang TAC coating planetary na Susceptor ay gumaganap ng isang mahalagang papel. Malawakang ginagamit ito sa paglaki ng mga layer ng epitaxial layer ng silikon (SIC) sa mga kagamitan tulad ng sistema ng Aixtron G5. Bukod dito, kapag ginamit bilang isang panlabas na disk sa tantalum carbide (TAC) coating deposition para sa SIC epitaxy, ang TAC coating planetary susceptor ay nagbibigay ng mahalagang suporta at katatagan. Tinitiyak nito ang pantay na pag-aalis ng tantalum carbide layer, na nag-aambag sa pagbuo ng de-kalidad na mga epitaxial layer na may mahusay na morphology sa ibabaw at nais na kapal ng pelikula. Ang pagkawalang -kilos ng kemikal ng TAC coating ay pinipigilan ang mga hindi kanais -nais na reaksyon at kontaminasyon, pinapanatili ang integridad ng mga epitaxial layer at tinitiyak ang kanilang mahusay na kalidad.

Ang pambihirang thermal conductivity ng TAC coating ay nagbibigay -daan sa mahusay na paglipat ng init, na nagtataguyod ng pantay na pamamahagi ng temperatura at pag -minimize ng thermal stress sa panahon ng proseso ng paglago ng epitaxial. Nagreresulta ito sa paggawa ng mataas na kalidad na mga layer ng epitaxial na SIC na may pinahusay na mga katangian ng crystallographic at pinahusay na kondaktibiti ng elektrikal.

Ang tumpak na mga sukat at matatag na konstruksyon ng TAC coating planetary disk ay ginagawang madali upang maisama sa mga umiiral na mga sistema, tinitiyak ang walang tahi na pagiging tugma at mahusay na operasyon. Ang maaasahang pagganap at de-kalidad na patong ng TAC ay nag-aambag sa pare-pareho at pantay na mga resulta sa mga proseso ng epitaxy ng SIC.

Tiwala sa Vetek Semiconductor at ang aming TAC coating planetary disk para sa pambihirang pagganap at pagiging maaasahan sa SIC epitaxy. Karanasan ang mga pakinabang ng aming mga makabagong solusyon, na nagpoposisyon sa iyo sa unahan ng mga pagsulong sa teknolohiya sa industriya ng semiconductor.