MOCVD SiC Coated Susceptor

Mga Teknikal na Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Kahulugan at Komposisyon ng Produkto

Ang VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor ay isang premium na wafer-carrying component na partikular na ginawa para sa epitaxial processing ng third-generation semiconductors, gaya ng GaN at SiC. Pinagsasama ng produktong ito ang mga superior na pisikal na katangian ng dalawang materyales na may mataas na pagganap:

High-Purity Graphite Substrate: Ginawa gamit ang isostatic pressing technology upang matiyak na ang batayang materyal ay nagtataglay ng pambihirang integridad ng istruktura, mataas na density, at thermal processing stability.

Patong ng CVD SiC: Ang isang siksik, walang stress na silicon carbide (SiC) na protective layer ay pinatubo sa graphite surface sa pamamagitan ng advanced na Chemical Vapor Deposition (CVD) na teknolohiya.

Bakit ang VETEK ang Iyong Garantiya sa Yield

Ultimate Precision sa Thermal Uniformity Control: Hindi tulad ng mga karaniwang carrier, ang mga susceptor ng VETEK ay nakakamit ng lubos na naka-synchronize na paglipat ng init sa buong ibabaw sa pamamagitan ng nanometer-scale precision control ng kapal ng coating at thermal resistance. Ang sopistikadong thermal management na ito ay epektibong pinapaliit ang wavelength standard deviation (STD) sa ibabaw ng wafer, na makabuluhang nagpapalakas sa kalidad ng single-wafer at sa pangkalahatang pagkakapare-pareho ng batch.

Pangmatagalang Proteksyon na may Zero Particle Contamination: Sa mga silid ng reaksyon ng MOCVD na naglalaman ng mga lubhang kinakaing unti-unting gas, ang mga ordinaryong graphite pedestal ay madaling kapitan ng pag-flake ng butil. Ang CVD SiC coating ng VETEK ay nagtataglay ng pambihirang chemical inertness, na kumikilos bilang isang impenetrable shield na nagse-seal ng graphite micropores. Tinitiyak nito ang kabuuang paghihiwalay ng mga dumi ng substrate, na pumipigil sa anumang kontaminasyon ng mga layer ng epitaxial ng GaN o SiC.

Pambihirang Paglaban sa Pagkapagod at Buhay ng Serbisyo:Salamat sa proseso ng paggamot sa pagmamay-ari ng interface ng VETEK, nakakamit ng aming SiC coating ang isang optimized na thermal expansion match sa graphite substrate. Kahit na sa ilalim ng high-frequency thermal cycling sa pagitan ng matinding temperatura, ang coating ay nagpapanatili ng superior adhesion nang walang pagbabalat o pagbuo ng mga micro-crack. Ito ay makabuluhang binabawasan ang dalas ng pagpapanatili ng ekstrang bahagi at pinabababa ang iyong kabuuang halaga ng pagmamay-ari.

Ang aming workshop