Solid sic gas shower head

Solid sic gas shower head

Ang VeTek Semiconductor ay isang pinagsamang kumpanya na nakatuon sa pananaliksik, produksyon, at pagbebenta. Ang VeTek Semiconductor ay nagtatrabaho sa semiconductor epitaxy, etching at iba pang mga produktong nauugnay sa proseso sa loob ng maraming taon, lalo na ang CVD SiC coating, CVD TaC coating, at CVD Solid SiC ang aming mga pangunahing produkto.

Ang VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head ay karaniwang ginagamit upang pantay na ipamahagi ang mga precursor gas sa ibabaw ng substrate sa panahon ng mga proseso ng semiconductor CVD. Ang paggamit ng materyal na CVD-SiC para sa mga shower head ay nag-aalok ng ilang mga pakinabang. Ang mataas na thermal conductivity nito ay tumutulong sa pag-alis ng init na nabuo sa proseso ng CVD, na tinitiyak ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa substrate. Bukod pa rito, binibigyang-daan ito ng katatagan ng kemikal ng CVD sic shower head na makatiis ng mga corrosive na gas at malupit na kapaligiran na karaniwang nakikita sa mga proseso ng CVD. 

Ang disenyo ng mga ulo ng shower shower ng CVD ay maaaring maiayon sa mga tiyak na mga sistema ng CVD at mga kinakailangan sa proseso. Gayunpaman, karaniwang binubuo sila ng isang sangkap na plato o hugis ng disk na may isang serye ng mga butas na inayos ng katumpakan o puwang. Ang pattern ng butas at geometry ay maingat na idinisenyo upang matiyak ang pantay na pamamahagi ng gas at daloy ng bilis sa ibabaw ng substrate.

Mga Pisikal na Katangian ng Solid SiC