Proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal solid sic gilid singsing

CVD Proseso Solid sic Edge Ring:

● Materyal: Ang singsing na nakatuon ay gawa sa solidong sic, isang mataas na kadalisayan at mataas na pagganap na ceramic material. Inihanda ito ng pag -aalis ng singaw ng kemikal. Ang solidong materyal na SIC ay nagbibigay ng pambihirang tibay, paglaban sa mataas na temperatura, at mahusay na mga katangian ng mekanikal.

●  Kalamangan: Ang singsing ng CVD sic ay nag-aalok ng natitirang katatagan ng thermal, pinapanatili ang integridad ng istruktura nito kahit na sa ilalim ng mga kondisyon na may mataas na temperatura na nakatagpo sa mga proseso ng dry etch. Tinitiyak ng mataas na tigas na pagtutol sa mekanikal na stress at pagsusuot, na humahantong sa pinalawig na buhay ng serbisyo. Bukod dito, ang solidong SIC ay nagpapakita ng kawalang -kilos ng kemikal, pinoprotektahan ito mula sa kaagnasan at pinapanatili ang pagganap nito sa paglipas ng panahon.

CVD sic coating:

●  Materyal: Ang CVD sic coating ay isang manipis na pag -aalis ng pelikula ng sic gamit ang mga diskarte sa pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD). Ang patong ay inilalapat sa isang materyal na substrate, tulad ng grapayt o silikon, upang magbigay ng mga katangian ng SiC sa ibabaw.

●  Paghahambing: Habang ang CVD sic coatings ay nag -aalok ng ilang mga pakinabang, tulad ng conformal deposition sa mga kumplikadong hugis at mga naka -tono na mga katangian ng pelikula, maaaring hindi sila tumutugma sa katatagan at pagganap ng solidong sic. Ang kapal ng patong, istraktura ng mala -kristal, at pagkamagaspang sa ibabaw ay maaaring mag -iba batay sa mga parameter ng proseso ng CVD, na potensyal na nakakaapekto sa tibay ng patong at pangkalahatang pagganap.

Sa buod, ang Vetek Semiconductor Solid sic Focusing Ring ay isang pambihirang pagpipilian para sa mga aplikasyon ng dry etch. Ang solidong materyal na sic nito ay nagsisiguro ng mataas na temperatura na pagtutol, mahusay na tigas, at kawalang-kilos ng kemikal, ginagawa itong isang maaasahan at pangmatagalang solusyon. Habang ang CVD sic coating ay nag -aalok ng kakayahang umangkop sa pag -aalis, ang CVD sic singsing ay higit sa pagbibigay ng hindi katumbas na tibay at pagganap na kinakailangan para sa paghingi ng mga proseso ng dry etch.

Mga pisikal na katangian ng solidong sic