Mga produkto

Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.


Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.


Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.


Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.


Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC 3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan 2500 Vickers tigas(500g load)
Laki ng Butil 2~10μm
Kalinisan ng Kemikal 99.99995%
Kapasidad ng init 640 J·kg-1·K-1
Temperatura ng Sublimation 2700 ℃
Flexural na Lakas 415 MPa RT 4-point
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity 300W·m-1·K-1
Thermal Expansion(CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
VEECO MOCVD Providence

VEECO MOCVD Providence

Bilang isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mga produkto ng Veeco MOCVD na Susceptor sa Tsina, ang Vetek Semiconductor's MOCVD Susceptor ay kumakatawan sa pinakatanyag ng kahusayan sa paggawa at engineering, na espesyal na na -customize upang matugunan ang mga kumplikadong mga kinakailangan ng mga kontemporaryong proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang mga katanungan.
Sic sealing part

Sic sealing part

Bilang isang advanced na sic sealing bahagi ng produkto ng produkto at pabrika sa China. Ang bahagi ng Vetek Semiconducto sic sealing ay isang sangkap na may mataas na pagganap na sealing na malawakang ginagamit sa pagproseso ng semiconductor at iba pang matinding proseso ng mataas na temperatura at mataas na presyon. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Silicon Carbide Wafer Chuck

Silicon Carbide Wafer Chuck

Bilang isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng mga produktong wafer chuck ng silikon na wafer sa China, ang Vetek Semiconductor's silikon carbide wafer chuck ay gumaganap ng isang hindi mababago na papel sa proseso ng paglago ng epitaxial na may mahusay na mataas na temperatura na paglaban, paglaban ng kaagnasan ng kemikal at paglaban ng thermal shock. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Silicon carbide shower head

Silicon carbide shower head

Ang Silicon Carbide Shower Head ay may mahusay na mataas na temperatura ng pagpapaubaya, katatagan ng kemikal, thermal conductivity at mahusay na pagganap ng pamamahagi ng gas, na maaaring makamit ang pantay na pamamahagi ng gas at pagbutihin ang kalidad ng pelikula. Samakatuwid, karaniwang ginagamit ito sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD) o mga proseso ng pag -aalis ng singaw (PVD). Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon sa amin, Vetek Semiconductor.
Silicon Carbide Seal Ring

Silicon Carbide Seal Ring

Bilang isang propesyonal na tagagawa at pabrika ng produkto ng Silicon Carbide Seal Ring sa China, ang VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ay malawakang ginagamit sa mga kagamitan sa pagpoproseso ng semiconductor dahil sa mahusay nitong paglaban sa init, paglaban sa kaagnasan, lakas ng makina at thermal conductivity. Ito ay partikular na angkop para sa mga prosesong kinasasangkutan ng mataas na temperatura at mga reaktibong gas tulad ng CVD, PVD at plasma etching, at ito ay isang pangunahing pagpili ng materyal sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang iyong mga karagdagang katanungan ay malugod na tinatanggap.
SiC coated Wafer Holder

SiC coated Wafer Holder

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at pinuno ng SiC coated wafer holder na mga produkto sa China. Ang SiC coated wafer holder ay isang wafer holder para sa proseso ng epitaxy sa pagproseso ng semiconductor. Ito ay isang hindi maaaring palitan na aparato na nagpapatatag sa wafer at tinitiyak ang pare-parehong paglaki ng epitaxial layer. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept