Mga produkto

Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.


Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.


Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.


Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.


Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC 3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan 2500 Vickers tigas(500g load)
Laki ng Butil 2~10μm
Kalinisan ng Kemikal 99.99995%
Kapasidad ng init 640 J·kg-1·K-1
Temperatura ng Sublimation 2700 ℃
Flexural na Lakas 415 MPa RT 4-point
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity 300W·m-1·K-1
Thermal Expansion(CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
CVD sic coating ring

CVD sic coating ring

Ang singsing na patong ng CVD sic ay isa sa mga mahahalagang bahagi ng mga bahagi ng halfmoon. Kasama ang iba pang mga bahagi, bumubuo ito ng silid ng reaksyon ng pag -unlad ng epitaxial. Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng CVD sic coating singsing at tagapagtustos. Ayon sa mga kinakailangan sa disenyo ng customer, maaari naming ibigay ang kaukulang CVD sic coating singsing sa pinaka -mapagkumpitensyang presyo. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
CVD SIC Coated Barrel Susceptor

CVD SIC Coated Barrel Susceptor

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagabago ng CVD sic coated graphite susceptor sa China. Ang aming CVD sic coated bariles na Susceptor ay gumaganap ng isang pangunahing papel sa pagtaguyod ng epitaxial na paglaki ng mga materyales na semiconductor sa mga wafer na may mahusay na mga katangian ng produkto. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.
Mocvd sic coating Susceptor

Mocvd sic coating Susceptor

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng MOCVD sic coating na mga pagkamatay sa Tsina, na nakatuon sa R&D at paggawa ng mga produktong patong ng SIC sa loob ng maraming taon. Ang aming MOCVD SIC coating na mga susceptor ay may mahusay na mataas na temperatura ng pagpapaubaya, mahusay na thermal conductivity, at mababang thermal expansion coefficient, na naglalaro ng isang pangunahing papel sa pagsuporta at pagpainit ng silikon o silikon na karbida (SIC) na mga wafer at unipormeng pag -aalis ng gas. Maligayang pagdating upang kumunsulta pa.
SiC coating halfmoon graphite parts

SiC coating halfmoon graphite parts

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng semiconductor, ang Vetek semiconductor ay maaaring magbigay ng iba't ibang mga sangkap ng grapayt na kinakailangan para sa mga sistema ng paglago ng epitaxial. Ang mga SIC coating halfmoon grapayt na bahagi ay idinisenyo para sa seksyon ng gas inlet ng epitaxial reaktor at gumaganap ng isang mahalagang papel sa pag -optimize ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang Vetek Semiconductor ay palaging nagsisikap na magbigay ng mga customer ng pinakamahusay na kalidad ng mga produkto sa pinaka -mapagkumpitensyang mga presyo. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.
Hot zone grapayt heater

Hot zone grapayt heater

Ang Veteksemicon hot zone grapayt heater ay idinisenyo upang hawakan ang matinding mga kondisyon sa mataas na temperatura ng mga hurno at mapanatili ang mahusay na pagganap at katatagan sa mga kumplikadong proseso tulad ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD), paglaki ng epitaxial at mataas na temperatura ng pagsamahin. Ang Veteksemicon ay palaging nakatuon sa paggawa at pagbibigay ng de-kalidad na mga heaters ng hot zone grapayt. Taos -puso kaming inaanyayahan ka na makipag -ugnay sa amin.
Veeco Mocvd Heater

Veeco Mocvd Heater

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga produktong pampainit ng VEECO MOCVD sa China. Ang MOCVD heater ay may mahusay na chemical purity, thermal stability at corrosion resistance. Ito ay isang kailangang-kailangan na produkto sa proseso ng metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). Maligayang pagdating sa iyong mga karagdagang katanungan.
Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept