Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

8 pulgada na halfmoon bahagi para sa reaktor ng LPE

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa ng kagamitan sa semiconductor sa China, na nakatuon sa R&D at produksyon ng 8 Inch Halfmoon Part para sa LPE Reactor. Nakaipon kami ng mayamang karanasan sa paglipas ng mga taon, lalo na sa SiC coating materials, at nakatuon sa pagbibigay ng mahusay na mga solusyon na iniayon para sa LPE epitaxial reactors. Ang aming 8 Inch Halfmoon Part para sa LPE Reactor ay may mahusay na performance at compatibility, at ito ay isang kailangang-kailangan na pangunahing bahagi sa epitaxial manufacturing. Maligayang pagdating sa iyong pagtatanong upang matuto nang higit pa tungkol sa aming mga produkto.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Pancake Susceptor para sa LPE PE3061S 6 '' Wafers

SIC Coated Pancake Susceptor Para sa LPE PE3061S 6 '' Wafers ay isa sa mga pangunahing sangkap na ginamit sa 6 '' Wafers epitaxial wafer processing. Ang Vetek Semiconductor ay kasalukuyang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng SIC Coated Pancake Susceptor para sa LPE PE3061S 6 '' Wafers sa China. Ang SIC Coated Pancake Surceptor na ibinibigay nito ay may mahusay na mga katangian tulad ng mataas na pagtutol ng kaagnasan, mahusay na thermal conductivity, at mahusay na pagkakapareho. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Support para sa LPE PE2061S

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng SIC coated grapayt na sangkap sa China. Ang SIC Coated Support para sa LPE PE2061S ay angkop para sa LPE silikon epitaxial reaktor. Bilang ilalim ng base ng bariles, ang SIC coated na suporta para sa LPE PE2061s ay maaaring makatiis ng mataas na temperatura na 1600 degree Celsius, sa gayon nakamit ang buhay ng ultra-long at pagbabawas ng mga gastos sa customer. Inaasahan ang iyong pagtatanong at karagdagang komunikasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Top Plate para sa LPE PE2061S

Ang VeTek Semiconductor ay malalim na nakikibahagi sa mga produktong SiC coating sa loob ng maraming taon at naging nangungunang tagagawa at supplier ng SiC Coated Top Plate para sa LPE PE2061S sa China. Ang SiC Coated Top Plate para sa LPE PE2061S na ibinibigay namin ay idinisenyo para sa LPE silicon epitaxial reactors at matatagpuan sa itaas kasama ng barrel base. Ang SiC Coated Top Plate na ito para sa LPE PE2061S ay may mahusay na mga katangian tulad ng mataas na kadalisayan, mahusay na thermal stability at pagkakapareho, na tumutulong sa paglaki ng mga de-kalidad na epitaxial layer. Anuman ang produkto na kailangan mo, inaasahan namin ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SiC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061S

Bilang isa sa nangungunang mga halaman ng pagmamanupaktura ng Wafer Susceptor sa Tsina, ang Vetek Semiconductor ay gumawa ng patuloy na pag -unlad sa mga produktong wafer na masungit at naging unang pagpipilian para sa maraming mga tagagawa ng epitaxial wafer. Ang SIC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061s na ibinigay ng Vetek Semiconductor ay dinisenyo para sa LPE PE2061S 4 '' Wafers. Ang Surceptor ay may matibay na patong na karbida ng silikon na nagpapabuti sa pagganap at tibay sa panahon ng proseso ng LPE (likidong phase epitaxy). Maligayang pagdating sa iyong pagtatanong, inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Solid sic gas shower head

Malaki ang ginagampanan ng Solid SiC Gas Shower Head sa paggawa ng uniporme ng gas sa proseso ng CVD, sa gayo'y tinitiyak ang pare-parehong pag-init ng substrate. Ang VeTek Semiconductor ay malalim na nasangkot sa larangan ng mga solidong SiC device sa loob ng maraming taon at nakapagbibigay sa mga customer ng customized na Solid SiC Gas Shower Heads. Anuman ang iyong mga kinakailangan, inaasahan namin ang iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

8 pulgada na halfmoon bahagi para sa reaktor ng LPE

SIC Coated Pancake Susceptor para sa LPE PE3061S 6 '' Wafers

SIC Coated Support para sa LPE PE2061S

SIC Coated Top Plate para sa LPE PE2061S

SiC Coated Barrel Susceptor para sa LPE PE2061S

Solid sic gas shower head

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address