Suporta ng MOCVD

BilangCVD sic coatingAng tagagawa, ang Vetek Semiconductor ay may kakayahang magbigay sa iyo ng Aixtron G5 MOCVD na mga Sustors na gawa sa mataas na kadalisayan ng grapayt at CVD sic coating (sa ibaba 5ppm). 

Ang teknolohiya ng Micro LEDS ay nakakagambala sa umiiral na LED ecosystem na may mga pamamaraan at diskarte na hanggang ngayon ay nakita lamang sa mga industriya ng LCD o semiconductor, at ang sistema ng AIXTRON G5 MOCVD ay perpektong sumusuporta sa mga mahigpit na extensional na mga kinakailangan. Ang Aixtron G5 ay isa sa pinakamalakas na reaktor ng MOCVD na idinisenyo lalo na para sa paglago ng epitaxy na batay sa silikon.

Mahalaga na ang lahat ng mga epitaxial wafer na ginawa ay may isang masikip na pamamahagi ng haba ng haba at napakababang antas ng depekto sa ibabaw, na nangangailangan ng makabagongTeknolohiya ng MOCVD.

Ang AIXTRON G5 ay isang pahalang na planeta ng epitaxy system, pangunahin ang planeta disc, MOCVD na susceptor, takip ng singsing, kisame, pagsuporta sa singsing, takip ng disc, kolektor ng exhuast, pin washer, kolektor inlet singsing, atbp.CVD TAC Coating+mataas na kadalisayan ng grapayt,Rigid nadamaat iba pang mga materyales.

Ang mga tampok ng MOCVD na Susceptor ay ang mga sumusunod

Proteksyon ng materyal na base: Ang CVD sic coating ay kumikilos bilang isang proteksiyon na layer sa proseso ng epitaxial, na maaaring epektibong maiwasan ang pagguho at pinsala ng panlabas na kapaligiran sa base material, magbigay ng maaasahang mga panukalang proteksiyon, at palawakin ang buhay ng serbisyo ng kagamitan.

✔ Mahusay na thermal conductivity)

✔ Pagbutihin ang kalidad ng pelikula: Ang CVD sic coating ay maaaring magbigay ng isang patag, pantay na ibabaw, na nagbibigay ng isang mahusay na pundasyon para sa paglaki ng pelikula. Maaari itong mabawasan ang mga depekto na dulot ng mismatch ng sala -sala, mapabuti ang pagkikristal at kalidad ng pelikula, at sa gayon ay mapabuti ang pagganap at pagiging maaasahan ng epitaxial film.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD sic coating: