SIC Coating Kolektor Bottom

Ang Vetek Semiconductor ay tagagawa na nakatuon sa pagbibigay ng mataas na kalidadCVD TAC Coatingat CVD sic coating kolektor Bottom at magtrabaho nang malapit sa kagamitan sa Aixtron upang matugunan ang mga pangangailangan ng aming mga customer. Kung sa proseso ng pag -optimize o bagong pag -unlad ng produkto, handa kaming magbigay sa iyo ng suporta sa teknikal at sagutin ang anumang mga katanungan na maaaring mayroon ka.

Pag -andar ng Core ng Produkto

Garantiyang Proseso ng Proseso

Kontrol ng gradient ng temperatura: ±1.5℃/cm@1200℃

Pag -optimize ng Patlang ng Daloy: Ginagawa ng Espesyal na Disenyo ng Channel ang pagkakapareho ng pamamahagi ng reaksyon ng gas hanggang sa 92.6%

Mekanismo ng proteksyon ng kagamitan

Dual Proteksyon:

Thermal Shock Buffer: Nakasama ang 10 ℃/s mabilis na pagbabago ng temperatura

Particle Interception: Trapping> 0.3μm sediment particle

Sa larangan ng teknolohiyang paggupit

Buong kontrol ng kalidad ng proseso

Sistema ng Traceability ng Produksyon

Pinagmulan ng mga hilaw na materyales: Tokai/Toyo Graphite mula sa Japan, SGL Graphite mula sa Alemanya

Digital Twin Monitoring: Ang bawat sangkap ay naitugma sa isang independiyenteng database ng parameter ng proseso

Eksena ng Application:

Pangatlong henerasyon ng semiconductor manufacturing

Scenario: 6-inch sic epitaxial growth (100-150μm kapal ng kontrol)

Katugmang Model: Aixtron G5 WW/Crius II

Sa pamamagitan ng paggamit ng Aixtron sic coated collector top, kolektor ng kolektor at sic coated collector, thermal management at kemikal na proteksyon sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor ay maaaring makamit, ang kapaligiran ng paglago ng pelikula ay maaaring mai -optimize, at ang kalidad at pagkakapare -pareho ng pelikula ay maaaring mapabuti. Ang kumbinasyon ng mga sangkap na ito sa kagamitan ng Aixtron ay nagsisiguro ng matatag na mga kondisyon ng proseso at mahusay na paggawa ng semiconductor.

SEM data ng CVD sic film