Mga produkto
Pre-heat singsing
  • Pre-heat singsingPre-heat singsing

Pre-heat singsing

Ang pre-heat singsing ay ginagamit sa proseso ng epitaxy ng semiconductor upang preheat wafers at gawing mas matatag at uniporme ang temperatura ng mga wafer, na kung saan ay may malaking kabuluhan para sa mataas na kalidad na paglago ng mga layer ng epitaxy. Mahigpit na kinokontrol ng Vetek semiconductor ang kadalisayan ng produktong ito upang maiwasan ang pagkasumpungin ng mga impurities sa mataas na temperatura.Welcome na magkaroon ng karagdagang talakayan sa amin.

Ang pre-heat singsing ay isang pangunahing kagamitan na partikular na idinisenyo para sa proseso ng epitaxial (EPI) sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Ginagamit ito sa pre-heat wafers bago ang proseso ng EPI, tinitiyak ang katatagan ng temperatura at pagkakapareho sa buong paglaki ng epitaxial.


Ginawa ng VeTek Semiconductor, nag-aalok ang aming EPI Pre Heat Ring ng ilang kapansin-pansing feature at pakinabang. Una, ito ay itinayo gamit ang mataas na thermal conductivity na materyales, na nagbibigay-daan para sa mabilis at pare-parehong paglipat ng init sa ibabaw ng wafer. Pinipigilan nito ang pagbuo ng mga hotspot at mga gradient ng temperatura, tinitiyak ang pare-parehong pag-deposito at pagpapabuti ng kalidad at pagkakapareho ng epitaxial layer. Bilang karagdagan, ang aming EPI pre heat ring ay nilagyan ng isang advanced na sistema ng control control, na nagpapagana ng tumpak at pare-pareho na kontrol ng temperatura ng pre-heat. Ang antas ng kontrol na ito ay nagpapabuti sa kawastuhan at pag -uulit ng mga mahahalagang hakbang tulad ng paglaki ng kristal, pag -aalis ng materyal, at mga reaksyon ng interface sa panahon ng proseso ng EPI.


Ang tibay at pagiging maaasahan ay mga mahahalagang aspeto ng aming disenyo ng produkto. Ang EPI pre heat ring ay binuo upang mapaglabanan ang mataas na temperatura at mga presyur ng operating, pagpapanatili ng katatagan at pagganap sa mga pinalawig na panahon. Ang diskarte sa disenyo na ito ay binabawasan ang mga gastos sa pagpapanatili at kapalit, tinitiyak ang pangmatagalang pagiging maaasahan at kahusayan sa pagpapatakbo. Ang pag -install at pagpapatakbo ng EPI pre heat ring ay prangka, dahil katugma ito sa mga karaniwang kagamitan sa EPI. Nagtatampok ito ng isang mekanismo ng paglalagay ng wafer at pagkuha ng mekanismo, pagpapahusay ng kaginhawaan at kahusayan sa pagpapatakbo.


Sa Vetek Semiconductor, nag -aalok din kami ng mga serbisyo sa pagpapasadya upang matugunan ang mga tiyak na mga kinakailangan sa customer. Kasama dito ang pag -aayos ng laki, hugis, at saklaw ng temperatura ng EPI pre heat singsing upang magkahanay sa mga natatanging pangangailangan sa produksyon. Para sa mga mananaliksik at tagagawa na kasangkot sa paglaki ng epitaxial at paggawa ng aparato ng semiconductor, ang EPI pre heat ring ni Vetek Semiconductor ay nagbibigay ng pambihirang pagganap at maaasahang suporta. Nagsisilbi itong isang kritikal na tool sa pagkamit ng mataas na kalidad na paglaki ng epitaxial at pagpapadali ng mahusay na mga proseso ng pagmamanupaktura ng aparato ng semiconductor.


SEM data ng CVD sic film

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating:

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD sic coating
Ari-arian Karaniwang halaga
Istraktura ng Kristal FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC 3.21 g/cm³
Sic coating tigas 2500 Vickers Hardness (500g load)
Sukat ng Butil 2 ~ 10mm
Kalinisan ng Kemikal 99.99995%
Kapasidad ng init 640 j · kg-1· K-1
Sublimation temperatura 2700 ℃
Lakas ng flexural 415 MPa RT 4-point
Modulus ng Young 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal conductivity 300w · m-1· K-1
Pagpapalawak ng thermal (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Ito semiconductorPre-heat singsingProduction Shop

SiC Graphite substratePre-Heat Ring testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


Mga Hot Tags: Pre-heat singsing
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept