Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

LPE SI EPI Receptor Set

Ang Flat Surcceptor at Barrel Susceptor ay ang pangunahing hugis ng EPI na Sustors.Vetek Semiconductor ay isang nangungunang LPE Si EPI Susceptor Set Tagagawa at Innovator sa China.We ay dalubhasa sa SIC Coating at TAC Coating sa loob ng maraming taon. Nag -aalok kami ng isang LPE SI EPI CEMCEPTOR Itakda ang partikular na idinisenyo para sa LPE PE2061S 4 "wafers. Ang pagtutugma ng antas ng graphite material at SIC coating ay mabuti, ang pagkakapareho ay mahusay, at ang buhay ay mahaba, na maaaring mapabuti ang ani ng epitaxial layer paglago sa panahon ng LPE (likidong phase epitaxy) Proseso. Inaanyayahan ka namin upang bisitahin ang aming pabrika sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

AIXTRON G5 MOCVD SICCEPTORS

Ang AIXTRON G5 MOCVD system ay binubuo ng grapayt na materyal, silikon na karbida na pinahiran na grapayt, kuwarts, mahigpit na nadama na materyal, atbp. Vetek semiconductor ay maaaring ipasadya at gumawa ng buong hanay ng mga sangkap para sa sistemang ito. Kami ay naging dalubhasa sa mga bahagi ng semiconductor grapayt at quartz sa loob ng maraming taon.Ang Aixtron G5 MOCVD Sustors Kit ay isang maraming nalalaman at mahusay na solusyon para sa pagmamanupaktura ng semiconductor na may pinakamainam na laki, pagiging tugma, at mataas na produktibo.Welcome upang magtanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor para sa EPI

Ang uri ng bariles na epitaxial wafer heating base ay isang produkto na may kumplikadong teknolohiya sa pagpoproseso, na napakahirap sa machining equipment at kakayahan. Ang Vetek semiconductor ay may advanced na kagamitan at mayamang karanasan sa pagproseso ng SiC coated graphite barrel susceptor para sa EPI, ay maaaring magbigay ng katulad ng orihinal na buhay ng pabrika, mas cost-effective na epitaxial barrels. Kung interesado ka sa aming mga data, mangyaring huwag mag-atubiling makipag-ugnay sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Graphite Crucible Deflector

Ang SIC Coated Graphite Crucible Deflector ay isang pangunahing sangkap sa iisang kagamitan sa kristal na hurno, ang gawain nito ay upang gabayan ang tinunaw na materyal mula sa ipinapako sa kristal na paglaki ng kristal nang maayos, at matiyak ang kalidad at hugis ng nag -iisang kristal na paglago.Vetek semiconductor ay maaaring magbigay ng parehong graphite at sic coating material.Welcome upang makipag -ugnay sa amin para sa higit pang mga detalye.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Ang MOCVD epitaxial Susceptor para sa 4 "wafer

Ang MOCVD Epitaxial Susceptor para sa 4 "Wafer ay idinisenyo upang mapalago ang 4" epitaxial layer.Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos, na nakatuon sa pagbibigay ng de-kalidad na MOCVD epitaxial na SiSceptor para sa 4 "wafer. Na may angkop na graphite material at SIC coating na proseso. Nagagawa naming maghatid ng dalubhasa at mahusay na mga solusyon sa aming mga kliyente. Malugod kang makipag -usap sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Gan epitaxial grapayt suporta para sa G5

Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at supplier, na nakatuon sa pagbibigay ng mataas na kalidad na GaN Epitaxial Graphite susceptor Para sa G5. nakapagtatag kami ng pangmatagalan at matatag na pakikipagsosyo sa maraming kilalang kumpanya sa loob at labas ng bansa, na nakakuha ng tiwala at paggalang ng aming mga customer.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

LPE SI EPI Receptor Set

AIXTRON G5 MOCVD SICCEPTORS

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor para sa EPI

SIC Coated Graphite Crucible Deflector

Ang MOCVD epitaxial Susceptor para sa 4 "wafer

Gan epitaxial grapayt suporta para sa G5

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address