Mga produkto

Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.


Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.


Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.


Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.


Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC 3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan 2500 Vickers tigas(500g load)
Laki ng Butil 2~10μm
Kalinisan ng Kemikal 99.99995%
Kapasidad ng init 640 J·kg-1·K-1
Temperatura ng Sublimation 2700 ℃
Flexural na Lakas 415 MPa RT 4-point
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity 300W·m-1·K-1
Thermal Expansion(CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal solid sic gilid singsing

Proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal solid sic gilid singsing

Ang Vetek Semiconductor ay palaging nakatuon sa pananaliksik at pag -unlad at paggawa ng mga advanced na semiconductor na materyales. Ngayon, ang Vetek Semiconductor ay gumawa ng mahusay na pag -unlad sa proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal na solidong mga produktong singsing na gilid ng singsing at nakapagbibigay ng mga customer ng lubos na na -customize na solidong sic edge singsing. Ang mga solidong singsing sa gilid ng sic ay nagbibigay ng mas mahusay na pagkakapareho ng pagkakapareho at tumpak na pagpoposisyon ng wafer kapag ginamit sa isang electrostatic chuck, tinitiyak ang pare -pareho at maaasahang mga resulta ng etching. Inaasahan ang iyong pagtatanong at maging mga pangmatagalang kasosyo sa bawat isa.
Solid sic etching focus ring

Solid sic etching focus ring

Ang solidong sic etching focus singsing ay isa sa mga pangunahing sangkap ng proseso ng wafer etching, na gumaganap ng isang papel sa pag -aayos ng wafer, na nakatuon sa plasma at pagpapabuti ng wafer etching na pagkakapareho. Bilang nangungunang tagagawa ng pagtuon ng singsing na SIC sa Tsina, ang Vetek Semiconductor ay may advanced na proseso ng teknolohiya at may sapat na gulang, at gumagawa ng solidong sic etching na nakatuon na singsing na ganap na nakakatugon sa mga pangangailangan ng mga pagtatapos ng mga customer ayon sa mga kinakailangan sa customer. Inaasahan namin ang iyong pagtatanong at naging pangmatagalang kasosyo sa bawat isa.
Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept