Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

Suporta ng MOCVD

Ang MOCVD Susceptor ay na -characteristed na may planeta disc at propesyon para sa matatag na pagganap nito sa epitaxy. Ang Vetek Semiconductor ay mayaman na karanasan sa machining at CVD sic coating ng produktong ito, maligayang pagdating upang makipag -usap sa amin tungkol sa mga totoong kaso.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Pre-heat singsing

Ang pre-heat singsing ay ginagamit sa proseso ng epitaxy ng semiconductor upang preheat wafers at gawing mas matatag at uniporme ang temperatura ng mga wafer, na kung saan ay may malaking kabuluhan para sa mataas na kalidad na paglago ng mga layer ng epitaxy. Mahigpit na kinokontrol ng Vetek semiconductor ang kadalisayan ng produktong ito upang maiwasan ang pagkasumpungin ng mga impurities sa mataas na temperatura.Welcome na magkaroon ng karagdagang talakayan sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Wafer lift pin

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang EPI wafer lift pin tagagawa at innovator sa China.We ay dalubhasa sa SIC coating sa ibabaw ng grapayt sa loob ng maraming taon. Nag -aalok kami ng isang EPI wafer lift pin para sa proseso ng EPI. Sa pamamagitan ng mataas na kalidad at mapagkumpitensyang presyo, tinatanggap ka namin na bisitahin ang aming pabrika sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Barrel Susceptor

Ang Epitaxy ay isang pamamaraan na ginagamit sa paggawa ng semiconductor device upang magpalago ng mga bagong kristal sa isang umiiral nang chip para makagawa ng bagong layer ng semiconductor. Nag-aalok ang VeTek Semiconductor ng komprehensibong hanay ng mga solusyon sa component para sa LPE silicon epitaxy reaction chamber, na naghahatid ng mahabang buhay, matatag na kalidad, at pinahusay na epitaxial ani ng layer. Ang aming produkto tulad ng SiC Coated Barrel Susceptor ay nakatanggap ng feedback sa posisyon mula sa mga customer. Nagbibigay din kami ng teknikal na suporta para sa Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy, at higit pa. Huwag mag-atubiling magtanong para sa impormasyon sa pagpepresyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Kung ang EPI Receiver

Pinagsasama ng China top factory-Vetek Semiconductor ang precision machining at semiconductor na SiC at TaC coating na mga kakayahan. Ang uri ng bariles na Si Epi Susceptor ay nagbibigay ng mga kakayahan sa pagkontrol sa temperatura at kapaligiran, na nagpapahusay sa kahusayan ng produksyon sa mga proseso ng paglago ng semiconductor epitaxial. Inaasahan ang pag-set up ng pakikipagtulungan sa iyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SiC Coated Epi Receptor

Bilang nangungunang tagagawa ng domestic ng silikon na karbida at tantalum carbide coatings, ang Vetek semiconductor ay nakapagbibigay ng katumpakan na machining at pantay na patong ng SIC coated EPI na Susceptor, na epektibong kinokontrol ang kadalisayan ng patong at produkto sa ibaba 5ppm. Ang buhay ng produkto ay maihahambing sa SGL. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suporta ng MOCVD

Pre-heat singsing

Wafer lift pin

SIC Coated Barrel Susceptor

Kung ang EPI Receiver

SiC Coated Epi Receptor

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address