Silicon Carbide Coating

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa paggawa ng mga ultra pure Silicon Carbide Coating na mga produkto, ang mga coatings na ito ay idinisenyo upang mailapat sa purified graphite, ceramics, at refractory metal na mga bahagi.

Ang aming mga high purity coating ay pangunahing naka-target para sa paggamit sa mga industriya ng semiconductor at electronics. Nagsisilbi ang mga ito bilang proteksiyon na layer para sa mga wafer carrier, susceptor, at heating elements, na nagpoprotekta sa mga ito mula sa mga kinakaing unti-unti at reaktibong kapaligiran na nakatagpo sa mga proseso gaya ng MOCVD at EPI. Ang mga prosesong ito ay mahalaga sa pagpoproseso ng wafer at paggawa ng device. Bukod pa rito, ang aming mga coatings ay angkop na angkop para sa mga aplikasyon sa mga vacuum furnace at sample heating, kung saan mayroong mataas na vacuum, reactive, at oxygen na kapaligiran.

Sa VeTek Semiconductor, nag-aalok kami ng komprehensibong solusyon sa aming mga advanced na kakayahan sa machine shop. Nagbibigay-daan ito sa amin na gumawa ng mga base na bahagi gamit ang graphite, ceramics, o refractory metal at ilapat ang SiC o TaC ceramic coatings sa loob ng bahay. Nagbibigay din kami ng mga serbisyo ng coating para sa mga bahaging ibinibigay ng customer, na tinitiyak ang kakayahang umangkop upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan.

Ang aming mga produkto ng Silicon Carbide Coating ay malawakang ginagamit sa Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD system, proseso ng RTP/RTA, proseso ng etching, proseso ng pag-ukit ng ICP/PSS, proseso ng iba't ibang uri ng LED, kabilang ang asul at berdeng LED, UV LED at deep-UV LED atbp., na inangkop sa kagamitan mula sa LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI at iba pa.

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian	Karaniwang Halaga
Istraktura ng Kristal	FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC	3.21 g/cm³
SiC coatingKatigasan	2500 Vickers tigas（500g load）
Laki ng Butil	2~10μm
Kalinisan ng Kemikal	99.99995%
Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Thermal Expansion(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide coated Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover para sa MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC coating Heating Element Aixtron Satellite wafer carrier SiC Coating Epi receiver SiC coating halfmoon graphite parts

View as

CVD sic coating nozzle

Ang CVD SiC Coating Nozzles ay mga mahalagang bahagi na ginagamit sa proseso ng LPE SiC epitaxy para sa pagdedeposito ng mga materyales ng silicon carbide sa panahon ng paggawa ng semiconductor. Ang mga nozzle na ito ay karaniwang gawa sa mataas na temperatura at chemically stable na silicon carbide na materyal upang matiyak ang katatagan sa malupit na kapaligiran sa pagpoproseso. Dinisenyo para sa pare-parehong deposition, gumaganap sila ng mahalagang papel sa pagkontrol sa kalidad at pagkakapareho ng mga epitaxial layer na lumago sa mga semiconductor application. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

CVD SIC Coating Protector

Ang Vetek Semiconductor's CVD sic coating protector na ginamit ay lpe sic epitaxy, ang salitang "LPE" ay karaniwang tumutukoy sa mababang presyon ng epitaxy (LPE) sa mababang presyon ng singaw ng singaw ng kemikal (LPCVD). Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang LPE ay isang mahalagang teknolohiya ng proseso para sa paglaki ng solong kristal na manipis na pelikula, na madalas na ginagamit upang mapalago ang mga layer ng epitaxial na silikon o iba pang mga semiconductor epitaxial layer.pls walang pag -aalangan na makipag -ugnay sa amin para sa higit pang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic coated pedestal

Ang Vetek Semiconductor ay propesyonal sa paggawa ng CVD SiC coating, TaC coating sa graphite at silicon carbide material. Nagbibigay kami ng mga produktong OEM at ODM tulad ng SiC Coated Pedestal, wafer carrier, wafer chuck, wafer carrier tray, planetary disk at iba pa. Gamit ang 1000 grade clean room at purification device, maaari kaming magbigay sa iyo ng mga produktong may karumihan na mas mababa sa 5ppm. Inaasahan ang pagdinig mula sa iyo sa lalong madaling panahon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SiC Coating Inlet Ring

Ang Vetek Semiconductor ay mahusay sa pakikipagtulungan nang malapit sa mga kliyente upang gumawa ng mga pasadyang disenyo para sa SiC Coating Inlet Ring na iniayon sa mga partikular na pangangailangan. Ang SiC Coating Inlet Ring na ito ay meticulously engineered para sa magkakaibang mga application tulad ng CVD SiC equipment at Silicon carbide epitaxy. Para sa mga pinasadyang solusyon sa SiC Coating Inlet Ring, huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa Vetek Semiconductor para sa personalized na tulong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Support Ring

Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos ng Tsina, higit sa lahat na gumagawa ng mga singsing na pinahiran ng SIC, CVD silikon na karbida (sic) coatings, tantalum carbide (TAC) coatings. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng perpektong teknikal na suporta at panghuli na mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor, maligayang pagdating sa pakikipag -ugnay sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Wafer Chuck

Wafer chunk isang wafer clamping tool sa semiconductor process at malawakang ginagamit sa PVD, CVD, etch at iba pang proseso.Vetek semiconductor's wafer chuck play pivotal roles sa semiconductor production, pagpapagana ng mabilis, mataas na kalidad na output. Sa paggawa ng in-house, mapagkumpitensyang pagpepresyo, at matatag na suporta ng R&D, ang Vetek Semiconductor ay nangunguna sa mga serbisyo ng OEM/ODM para sa mga sangkap na katumpakan.Looking pasulong sa iyong pagtatanong.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Silicon Carbide Coating na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Silicon Carbide Coating

Mga bahagi ng reactor na maaari nating gawin:

Ang Silicon Carbide Coating ay maraming natatanging pakinabang:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD sic coating nozzle

CVD SIC Coating Protector

Sic coated pedestal

SiC Coating Inlet Ring

SIC Coated Support Ring

Wafer Chuck

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address