AIXTRON MOCVD Suporta

Ang mga Susceptors na ginawa niIto semiconductoray gawa sa grapayt na substrate at silikon carbide (sic) coating material. Ibinigay ang mas mataas na paglaban sa pagsusuot, paglaban ng kaagnasan at sobrang mataas na tigas ng materyal na SIC, partikular na angkop ito para magamit sa mga malupit na proseso ng proseso. Samakatuwid, ang mga nasusukat na ginawa ng Vetek semiconductor ay maaaring direktang magamit sa mga proseso ng mataas na temperatura ng MOCVD nang walang karagdagang paggamot sa ibabaw.

Ang mga Sustor ay mga pangunahing sangkap sa pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na sa mga kagamitan sa MOCVD para sa mga manipis na proseso ng pag -aalis ng pelikula. Ang pangunahing papel ngAixtron SiC Receiversa proseso ng MOCVD ay ang pagdadala ng mga semiconductor na wafer, tiyakin ang pare-pareho at mataas na kalidad na deposisyon ng mga manipis na pelikula sa pamamagitan ng pagbibigay ng pare-parehong pamamahagi ng init at kapaligiran ng reaksyon, sa gayon ay nakakamit ang mataas na kalidad na paggawa ng manipis na pelikula.

Aixtron MOCVD Receptoray karaniwang ginagamit upang suportahan at ayusin ang base ng semiconductor wafers upang matiyak ang katatagan ng wafer sa panahon ng proseso ng pag-deposition. Kasabay nito, ang surface coating ng Aixtron MOCVD Susceptor ay gawa sa silicon carbide (SiC), isang highly thermally conductive material. Tinitiyak ng SiC coating ang pare-parehong temperatura sa ibabaw ng wafer, at ang pare-parehong pagpainit ay mahalaga para sa pagkuha ng mga de-kalidad na pelikula.

Bukod dito, angAixtron MOCVD ReceptorGumagawa kami ng mga gumaganap ng isang mas malaking papel sa pagkontrol sa daloy at pamamahagi ng mga reaktibo na gas sa pamamagitan ng na -optimize na disenyo ng mga materyales. Iwasan ang mga eddy currents at gradients ng temperatura upang makamit ang pantay na pag -aalis ng pelikula.

Mas mahalaga, sa proseso ng MOCVD, ang materyal na patong ng silikon (sic) ay may pagtutol sa kaagnasan, kayaIto semiconductor'sAixtron MOCVD ReceptorMaaari ring makatiis ng mataas na temperatura at kinakaing unti -unting gas.

Pangunahing pisikal na katangian ngSic coating:

Mga tindahan ng VeTek Semiconductor Wafer Boat:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: