Tagasuporta ng EPI

Ang Vetek Semiconductor ay isang propesyonal na pinuno ng China EPI na isinagawa, ALD Planetary Tugor at TAC Coated Graphite Support Tagagawa. at Ang aming suporta sa EPI ay isang mahalagang sangkap ngPaglago ng EpitaxialSa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang pangunahing pag-andar nito ay upang suportahan at painitin ang wafer upang ang isang de-kalidad na epitaxial layer ay maaaring pantay na lumaki sa ibabaw ng wafer.

Ang Vetek Semiconductors 'EPI na mga Sustor ay karaniwang gawa sa high-purity grapayt at pinahiran ng isang layer ng silikon na karbida (sic).Ang disenyo na ito ay may mga sumusunod na pangunahing pakinabang:

● Mataas na katatagan ng temperatura: Ang EPI na Susceptor ay maaaring manatiling matatag sa isang mataas na temperatura ng kapaligiran, tinitiyak ang pantay na paglaki ng epitaxial layer.

● Paglaban sa kaagnasan: Ang SIC coating ay may mahusay na paglaban sa kaagnasan at maaaring pigilan ang pagguho ng mga gas ng kemikal, na nagpapalawak ng buhay ng serbisyo ng tray.

● Thermal conductivity: Ang mataas na thermal conductivity ng SIC material ay nagsisiguro ng pantay na pamamahagi ng temperatura ng wafer sa panahon ng pag -init, sa gayon pinapabuti ang kalidad ng epitaxial layer.

● Pagtutugma ng koepisyentong pagpapalawak ng thermal: Ang thermal expansion coefficient ng SIC ay katulad ng sa grapayt, pag -iwas sa problema ng pagpapadanak ng patong dahil sa pagpapalawak at pag -urong ng thermal.

Pangunahing pisikal na katangian ngCVD sic coating:

CVD SIC Coating Production Shop:

Pangkalahatang -ideya ng Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: