Graphite Boat para sa PECVD

Application: Ang Veteksemic Graphite Boat para sa PECVD ay isang pangunahing sangkap sa proseso ng pag-aalis ng singaw ng plasma na pinahusay na plasma. Ito ay partikular na idinisenyo para sa pagdeposito ng de-kalidad na silikon na nitride, silikon oxide at iba pang mga manipis na pelikula sa mga wafer ng silikon, tambalang semiconductors at mga substrate ng panel. Ang pagganap nito ay direktang tinutukoy ang pagkakapareho ng pelikula, katatagan ng proseso at gastos sa paggawa.

Mga serbisyong maaaring maibigay: Pagsusuri ng senaryo ng application ng customer, pagtutugma ng mga materyales, paglutas ng teknikal na problema.

Profile ng kumpanya： Ang Veteksemicon ay may 2 laboratories, isang koponan ng mga eksperto na may 20 taong karanasan sa materyal, na may R&D at mga kakayahan sa pagsubok, pagsubok at pagpapatunay.

Pangkalahatang impormasyon ng produkto

Mga Tuntunin sa Negosyo ng Produkto

Pangunahing Mga Patlang ng Application

Veteksemic Graphite Boat para sa PECVD Core Advantages

1. Mga substrate na may mataas na kadalisayan, pagkontrol ng polusyon mula sa pinagmulan

Iginiit namin ang paggamit ng isostatically pinindot ang high-kadalisayan grapayt na may isang matatag na kadalisayan ng higit sa 99.995% bilang base material upang matiyak na hindi nito mapapagod ang mga impurities ng metal kahit na sa isang tuluy-tuloy na kapaligiran sa operating na 1600 ° C. Ang mahigpit na kinakailangang materyal na ito ay maaaring direktang maiwasan ang wafer na pagkasira ng pagganap na dulot ng kontaminasyon ng carrier, na nagbibigay ng pinaka-pangunahing garantiya para sa pagdeposito ng de-kalidad na silikon na nitride o mga pelikulang silikon oxide.

2. Tumpak na thermal field at istruktura na disenyo upang matiyak ang pagkakapareho ng proseso

Sa pamamagitan ng malawak na simulation ng likido at data ng pagsukat ng proseso, na -optimize namin ang anggulo ng slot ng bangka, gabay sa lalim ng groove, at landas ng daloy ng gas. Ang masusing pagsasaalang -alang sa istruktura na ito ay nagbibigay -daan sa pantay na pamamahagi ng mga reaktibo na gas sa pagitan ng mga wafer. Ang aktwal na mga sukat ay nagpapakita na sa buong pag -load, ang pagkakapareho ng paglihis ng kapal ng pelikula sa pagitan ng mga wafer sa parehong batch ay maaaring stably kontrolado sa loob ng ± 1.5%, na makabuluhang pagpapabuti ng ani ng produkto.

3. Customized Coating Solutions upang matugunan ang mga tiyak na kaagnasan ng proseso

Upang matugunan ang iba't ibang mga proseso ng gas na kapaligiran ng iba't ibang mga customer, nag -aalok kami ng dalawang mga pagpipilian sa patong na patong: pyrolytic carbon at silikon na karbida. Kung higit sa lahat ay nagdeposito ka ng silikon nitride at gumamit ng paglilinis ng hydrogen, ang siksik na pyrolytic carbon coating ay maaaring magbigay ng mahusay na pagtutol sa pagguho ng hydrogen plasma. Kung ang iyong proseso ay nagsasangkot ng mga gas na naglalaman ng fluorine, kung gayon ang high-hardness silikon na patong na karbida ay isang mas mahusay na pagpipilian. Maaari nitong palawakin ang buhay ng serbisyo ng graphite boat sa lubos na kinakaing unti -unting mga kapaligiran sa higit sa tatlong beses na ng mga ordinaryong hindi naka -produkto na produkto.

4. Napakahusay na katatagan ng thermal shock, naaangkop sa madalas na mga siklo ng temperatura

Salamat sa aming natatanging pormula ng grapayt at panloob na disenyo ng rib ng pampalakas, ang aming mga bangka na grapayt ay maaaring makatiis sa paulit -ulit na mabilis na paglamig at pag -init ng mga shocks ng proseso ng PECVD. Sa mahigpit na mga pagsubok sa laboratoryo, pagkatapos ng 500 mabilis na thermal cycle mula sa temperatura ng silid hanggang 800 ° C, ang rate ng pagpapanatili ng lakas ng bangka ng bangka ay lumampas pa rin sa 90%, na epektibong maiwasan ang pag -crack na sanhi ng thermal stress at tinitiyak ang pagpapatuloy at kaligtasan.

5. Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemic Graphite Boat para sa PECVD 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya.

Para sa detalyadong mga teknikal na pagtutukoy, puting papel, o mga pag -aayos ng sample, mangyaring makipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikal upang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.