Nagbibigay ng MOCVD epitaxial wafer

Ang MOCVD Epitaxial Wafer Susceptor ay isang mataas na pagganap na epitaxial wafer na Susceptor na idinisenyo para sa MOCVD (metal-organikong kemikal na singaw ng singaw) na kagamitan. Ang Surceptor ay gawa sa SGL graphite material at pinahiran ng silikon carbide coating, na pinagsasama ang mataas na thermal conductivity ng grapayt na may mahusay na mataas na temperatura at kaagnasan na paglaban ng SIC, at angkop para sa malupit na kapaligiran ng pagtatrabaho ng mataas na temperatura, mataas na presyon at kinakaing unti -unting gas sa panahon ng paglaki ng epitaxial ng mga semiconductors.

Ang SGL grapayt na materyal ay may mahusay na thermal conductivity, na nagsisiguro na ang temperatura ng epitaxial wafer ay pantay na ipinamamahagi sa panahon ng proseso ng paglago at nagpapabuti sa kalidad ng epitaxial layer. Ang pinahiran na patong ng SIC ay nagbibigay -daan sa Susceptor na makatiis ng mataas na temperatura na higit sa 1600 ℃ at umangkop sa matinding thermal environment sa proseso ng MOCVD. Bilang karagdagan, ang patong ng SIC ay maaaring epektibong pigilan ang mga gas na may mataas na temperatura at kaagnasan ng kemikal, palawakin ang buhay ng serbisyo ng susceptor, at bawasan ang polusyon.

Ang MOCVD epitaxial wafer ng Veteksemi ay maaaring magamit bilang kapalit para sa mga accessories ng mga supplier ng kagamitan ng MOCVD tulad ng Aixtron.

● Laki: Maaaring ipasadya ayon sa mga pangangailangan ng customer (magagamit na sukat na laki).

● Pagdala ng kapasidad: Maaaring magdala ng maramihang o kahit na higit sa 50 mga epitaxial wafer sa isang oras (depende sa laki ng Susceptor).

● Paggamot sa ibabaw: Sic coating, corrosion resistance, paglaban sa oksihenasyon.

● Industriya ng Semiconductor: Ginamit para sa paglaki ng mga epitaxial wafer tulad ng LEDs, laser diode, at power semiconductors.

● Industriya ng Optoelectronics: Sinusuportahan ang epitaxial na paglago ng de-kalidad na mga aparato ng optoelectronic.

● Mataas na materyal na pananaliksik at pag-unlad: Inilapat sa paghahanda ng epitaxial ng mga bagong semiconductors at optoelectronic na materyales.

Depende sa uri ng kagamitan ng MOCVD ng customer at mga pangangailangan sa paggawa, ang Vetek semiconductor ay nagbibigay ng mga pasadyang serbisyo, kabilang ang laki ng susceptor, materyal, paggamot sa ibabaw, atbp, upang matiyak na ang pinaka -angkop na solusyon ay ibinibigay sa mga customer.

CVD sic film crystal istraktura

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD sic coating

Ito semiconductor MOCVD EPITAXIAL WAFER SUSCEPTOR SHOPS