Mga produkto
SiC Coated Epi Receptor
  • SiC Coated Epi ReceptorSiC Coated Epi Receptor
  • SiC Coated Epi ReceptorSiC Coated Epi Receptor

SiC Coated Epi Receptor

Bilang nangungunang tagagawa ng domestic ng silikon na karbida at tantalum carbide coatings, ang Vetek semiconductor ay nakapagbibigay ng katumpakan na machining at pantay na patong ng SIC coated EPI na Susceptor, na epektibong kinokontrol ang kadalisayan ng patong at produkto sa ibaba 5ppm. Ang buhay ng produkto ay maihahambing sa SGL. Maligayang pagdating sa pagtatanong sa amin.

Maaari kang matiyak na bumili ng SIC coated EPI Susceptor mula sa aming pabrika.


Ang VeTek Semiconductor SiC Coated Epi Susceptor ay Epitaxial barrel ay isang espesyal na tool para sa semiconductor epitaxial growth process na may maraming mga pakinabang:


LPE SI EPI Susceptor Set

● Mahusay na kapasidad ng produksyon: Ang Vetek Semiconductor's SIC Coated EPI Susceptor ay maaaring mapaunlakan ang maraming mga wafer, na ginagawang posible upang maisagawa ang epitaxial na paglago ng maraming mga wafer nang sabay -sabay. Ang mahusay na kapasidad ng produksyon ay maaaring mapabuti ang kahusayan ng produksyon at mabawasan ang mga siklo ng produksyon at gastos.

● Naka-optimize na kontrol sa temperatura: Ang SIC Coated EPI Susceptor ay nilagyan ng isang advanced na sistema ng control control upang tumpak na makontrol at mapanatili ang nais na temperatura ng paglago. Ang matatag na kontrol sa temperatura ay tumutulong upang makamit ang pantay na paglaki ng epitaxial layer at pagbutihin ang kalidad at pagkakapare -pareho ng epitaxial layer.

● Unipormeng pamamahagi ng kapaligiran: Ang SIC Coated EPI Susceptor ay nagbibigay ng isang pantay na pamamahagi ng kapaligiran sa panahon ng paglaki, tinitiyak na ang bawat wafer ay nakalantad sa parehong mga kondisyon ng kapaligiran. Makakatulong ito na maiwasan ang mga pagkakaiba sa paglaki sa pagitan ng mga wafer at nagpapabuti sa pagkakapareho ng epitaxial layer.

● Epektibong kontrol sa kawalang -kilos: Nakakatulong ang disenyo ng SiC Coated Epi Susceptor na bawasan ang pagpapakilala at pagsasabog ng mga dumi. Maaari itong magbigay ng mahusay na sealing at kontrol sa kapaligiran, bawasan ang epekto ng mga impurities sa kalidad ng epitaxial layer, at sa gayon ay mapabuti ang pagganap at pagiging maaasahan ng device.

● Flexible na proseso ng pagbuo: Ang Epi Susceptor ay may kakayahang umangkop sa pagbuo ng proseso na nagbibigay-daan sa mabilis na pagsasaayos at pag-optimize ng mga parameter ng paglago. Nagbibigay-daan ito sa mga mananaliksik at inhinyero na magsagawa ng mabilis na pag-unlad ng proseso at pag-optimize upang matugunan ang mga pangangailangan ng epitaxial growth ng iba't ibang mga aplikasyon at kinakailangan.


Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating:

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiC coating
Ari-arian Karaniwang halaga
Istraktura ng Kristal FCC β phase polycrystalline, higit sa lahat (111) oriented
Densidad ng coating ng SiC 3.21 g/cm³
CVD SiC coating Katigasan 2500 Vickers tigas(500g load)
Laki ng butil 2 ~ 10mm
Kalinisan ng Kemikal 99.99995%
Kapasidad ng init 640 J·kg-1· K-1
Sublimation temperatura 2700 ℃
Flexural na Lakas 415 MPa RT 4-point
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bend, 1300℃
Thermal conductivity 300w · m-1· K-1
Pagpapalawak ng thermal (CTE) 4.5 × 10-6K-1


Ito semiconductorSa gayon pinahiran ang tuition ng EPITindahan ng Produksyon

VeTek Semiconductor SiC Coated Epi Susceptor Production Shop

Pangkalahatang-ideya ng chain ng industriya ng semiconductor chip epitaxy:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


Mga Hot Tags: Sa gayon pinahiran ang tuition ng EPI
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept