Focus ring para sa etching

Ang mga monocrystalline silikon etching singsing ay mga mahahalagang sangkap sa mga proseso ng semiconductor etching sa pamamagitan ng pagpapanatili ng katatagan ng kapaligiran ng plasma, pagprotekta sa mga kagamitan at wafer, pag -optimize ng paggamit ng mapagkukunan at pag -adapt sa mga advanced na kinakailangan sa proseso. Ang pagganap nito ay direktang nakakaapekto sa ani at gastos ng paggawa ng chip.

Ang etched focus ring, electrode at atbp (gilid temperatura controller) ay ang mga pangunahing consumable upang matiyak ang pagkakapareho ng plasma, kontrol sa temperatura at pag -uulit ng proseso. Ang mga sangkap na ito ay tiyak na tipunin sa vacuum chamber ng CVD, etching at film kagamitan at direktang matukoy ang kawastuhan at ani ng etching mula sa gilid hanggang sa gitna ng wafer.

Bilang tugon sa mahigpit na demand para sa mga materyal na katangian sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng high-end, nagbago ang Veteksemi sa pamamagitan ng paggamit ng high-kadalisayan na monocrystalline silikon na may resistivity ng 10-20Ω · cm upang gumawa ng mga singsing na nakatuon at sumusuporta sa mga consumable. Sa pamamagitan ng pakikipagtulungan ng pag -optimize ng materyal na agham, disenyo ng elektrikal at thermodynamics, ang Veteksemi ay maaaring gumawa ng mga singsing na nakatuon at sumusuporta sa mga consumable. Komprehensibong lumampas sa mga tradisyunal na solusyon sa kuwarts upang makamit ang mga pagbagsak ng pagbagsak sa kahabaan ng buhay, kawastuhan at pagiging epektibo ng gastos.

Pangunahing paghahambing sa materyal at pag -optimize ng resistivity

Monocrystalline silikon vs. Quartz

Product Core Advantage

1. Ang katumpakan ng proseso ng Atomic Level

Ang pag-optimize ng resistivity + ultra-precision polishing (RA <0.1μM) ay nag-aalis ng micro-discharge at kontaminasyon ng butil upang matugunan ang mga pamantayan ng semi F47.

Ang pagkawala ng dielectric (TanΔ <0.001) ay lubos na naitugma sa wafer dielectric na kapaligiran, pag -iwas sa gilid ng electric field distorsyon at pagsuporta sa 3D NAND 89.5 ° ± 0.3 ° vertical deep hole etching.

2. Matalinong pagiging tugma ng system

Pinagsama sa module ng control ng temperatura ng ETC, ang daloy ng paglamig ng hangin ay dinamikong nababagay ng thermocouple at algorithm ng AI upang mabayaran ang thermal thermal drift.

Support customized RF matching network, suitable for mainstream machines such as AMAT Centura, Lam Research Kiyo and ICP/CCP plasma sources.

3. Comprehensive cost-effective

Ang buhay ng monocrystalline silikon ay 275% na mas mahaba kaysa sa quartz, ang cycle ng pagpapanatili ay higit sa 3,000 na oras, at ang komprehensibong gastos ng pagmamay -ari (TCO) ay nabawasan ng 30%.

Resistivity Gradient Customization Service (5-100Ω · cm), tumpak na tumutugma sa window ng proseso ng customer (tulad ng GaN/SIC malawak na band gap material etching).

Ang epekto ng resistivity

Mga Tuntunin sa Komersyal ng Produkto

Minimum na dami ng order	1 set
Presyo	Makipag -ugnay para sa na -customize na sipi
Mga detalye ng packaging	Standard na package ng pag -export
Oras ng paghahatid	Oras ng paghahatid: 30-35 araw pagkatapos ng pagkumpirma ng order
Mga Tuntunin sa Pagbabayad	T/t
Kakayahan ng supply	600 set/buwan