ALD Fused Quartz Pedestal

Vetek semiconductor ald fused quartz pedestal ay gumaganap ng isang pangunahing papel sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor bilang isang istraktura ng suporta para saQuartz Boat, na ginagamit upang hawakan angostiya. Nakakatulong ang Fused Quartz Pedestal na makamit ang pare-parehong film deposition sa pamamagitan ng pagpapanatili ng stable na temperatura, na direktang nakakaapekto sa performance at pagiging maaasahan ng mga semiconductor device. Bilang karagdagan, tinitiyak ng Quartz Pedestal ang pare-parehong pamamahagi ng init at liwanag sa silid ng proseso, sa gayo'y nagpapabuti sa pangkalahatang kalidad ng proseso ng pag-deposition.

ALD FUSED QUARTZ PEDESTAL MATERIAL BEHIGHTAGES

Mataas na paglaban sa temperatura: Ang softening point ng fused quartz pedestal ay kasing taas ng humigit-kumulang 1730°C, at ito ay makatiis ng mataas na temperatura na operasyon ng 1100°C hanggang 1250°C sa loob ng mahabang panahon, at maaaring malantad sa matinding temperatura na mga kapaligiran hanggang 1450°C sa maikling panahon.

Napakahusay na paglaban ng kaagnasan: Ang fused quartz ay lubos na kemikal na hindi gumagalaw sa halos lahat ng mga acid maliban sa hydrofluoric acid. Ang pagtutol ng acid nito ay 30 beses na mas mataas kaysa sa mga keramika at 150 beses na mas mataas kaysa sa hindi kinakalawang na asero. Ang fused quartz ay kemikal na hindi magkatugma sa mataas na temperatura, ginagawa itong isang mainam na materyal para sa mga kumplikadong proseso ng kemikal.

Katatagan ng thermal: Ang pangunahing tampok ng Fused Quartz Pedestal na materyal ay ang napakababang koepisyent ng thermal expansion nito. Nangangahulugan ito na madali nitong mahawakan ang mga dramatikong pagbabagu-bago ng temperatura nang walang pag-crack. Halimbawa, ang fused silica quartz ay maaaring mabilis na pinainit hanggang 1100°C at direktang ilubog sa malamig na tubig nang walang pinsala, isang mahalagang katangian sa mga kondisyon ng pagmamanupaktura na may mataas na stress.

Mahigpit na proseso ng pagmamanupaktura: Ang proseso ng paggawa ng fused silica pedestals ay mahigpit na sumunod sa mataas na kalidad na pamantayan. Ang proseso ng paggawa ay gumagamit ng mainit na bumubuo at mga proseso ng hinang, na karaniwang nakumpleto sa isang klase na 10,000 na kapaligiran sa paglilinis. Pagkaraan nito, ang fused quartz glass pedestal ay lubusang nalinis ng tubig na ultrapure (18 MΩ) upang matiyak ang kadalisayan ng produkto at pinakamainam na pagganap. Ang bawat natapos na produkto ay mahigpit na sinuri, nalinis, at nakabalot sa isang klase ng 1,000 o mas mataas na cleanroom upang matugunan ang mataas na pamantayan ng industriya ng semiconductor.

Mataas na kadalisayan opaque silica quartz na materyal

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal ay gumagamit ng mataas na kadalisayan opaque quartz na materyal upang epektibong ihiwalay ang init at liwanag. Ang mahusay na heat shielding at light shielding properties nito ay nagbibigay-daan dito na mapanatili ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa process chamber, na tinitiyak ang pagkakapareho at pagkakapare-pareho ng manipis.deposition ng pelikulasa ibabaw ng ostiya.

Mga Patlang ng Application

Ang mga fused quartz pedestal ay malawakang ginagamit sa maraming larangan ng industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na pagganap. Saproseso ng atomic layer deposition (ALD)., Sinusuportahan nito ang tumpak na kontrol ng paglaki ng pelikula at tinitiyak ang pagsulong ng mga aparato ng semiconductor. SaAng mababang presyon ng kemikal na singaw ng singaw (LPCVD), ang thermal stability at light shielding ability ng high purity quartz Pedestal ay nagbibigay ng mga garantiya para sa pare-parehong pagdeposito ng mga manipis na pelikula, at sa gayon ay nagpapabuti sa performance at yield ng device.

Bilang karagdagan, sa proseso ng diffusion wafer, ang mataas na temperatura na paglaban at chemical corrosion resistance ng Fused Quartz Pedestal ay nagsisiguro ng pagiging maaasahan at pagkakapare-pareho ng proseso ng doping ng materyal na semiconductor. Tinutukoy ng mga pangunahing prosesong ito ang electrical performance ng mga semiconductor device, at ang mga de-kalidad na Fused Quartz na materyales ay gumaganap ng isang kailangang-kailangan na papel sa pagkamit ng pinakamahusay na mga resulta ng mga prosesong ito.

Mga tindahan ng VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: