Veeco Mocvd Heater

Ang VEECO MOCVD heater ng VeTeksemi ay gawa sa high-purity graphite material na may impurity content na mahigpit na kinokontrol sa ibaba 5 ppm, at pinahiran ng ultra-high purity silicon carbide (SiC) na may purity na higit sa 99.99995% sa pamamagitan ng isangproseso ng chemical vapor deposition (CVD).. Ang kumbinasyon ng mga materyales ay nagbibigay ng pampainit ng isang serye ng mga pangunahing katangian na matiyak ang mahusay na pagganap nito saMetal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)proseso.

Ang isa sa mga natitirang tampok ng heater ng Veeco MOCVD ay ang pambihirang kadalisayan ng kemikal. Ang high-purity grapayt core ay lubos na binabawasan ang potensyal na pagpapakilala ng mga kontaminado sa proseso ng mataas na temperatura, na tinitiyak ang isang proseso ng pag-aalis ng film na ultra-clean. AngCVD sic coatingNagbibigay ng karagdagang proteksyon para sa pampainit, na bumubuo ng isang malakas na hadlang upang maiwasan ang mga reaksyon ng kemikal na maaaring makapinsala sa kalidad ng pelikula. Ang walang kaparis na kadalisayan ay mahalaga para sa paggawa ng mataas na pagganap, maaasahang mga aparato ng semiconductor.

Kasabay nito, ang pampainit ay nagpapakita ng napakataas na thermal katatagan at kahusayan. Ang SIC ay may mataas na punto ng pagtunaw at mahusay na thermal conductivity, na nagpapahintulot sa heater na epektibong pamahalaan at magsagawa ng init. Tinitiyak nito ang pantay na pag -init sa buong substrate, na kung saan ay nakakatulong na makamit ang pantay na pag -aalis ng pelikula at mabawasan ang mga depekto na sanhi ng mga thermal gradients. Ang nasabing thermal kahusayan ay partikular na mahalaga para sa paggawa ng katumpakan.

Ang VEECO MOCVD heater ay mahusay din sa electrical performance. Ang high-purity graphite core nito ay may mahusay na electrical conductivity, na nagbibigay-daan sa heater na pangasiwaan ang mataas na electrical load na kinakailangan. Ang stable na electrical performance na ito ay nagbibigay-daan sa heater na mapanatili ang tumpak na kontrol sa temperatura at deposition rate sa ilalim ng mataas na kondisyon ng pagkarga, na mahalaga sa pagtiyak ng pare-parehong mga kondisyon ng proseso at pagpapabuti ng kahusayan sa paggawa ng semiconductor.

Ang disenyo ng ibabaw ng pampainit ay maingat na na -optimize upang magkaroon ng isang mataas na emissivity ng substrate, na makabuluhang nagpapabuti sa kahusayan ng radiative heat transfer. Ang kakayahang magpainit nang pantay -pantay ay isang pangunahing kadahilanan sa pagtiyak ng pare -pareho ang kapal ng pag -aalis ng pelikula at mga katangian. Ang mataas na disenyo ng ibabaw ng emissivity ay nagpapabuti din sa pangkalahatang kahusayan ng thermal ng pampainit, sa gayon binabawasan ang pagkonsumo ng enerhiya at pagbaba ng mga gastos sa operating.

Sa mga tuntunin ng tibay, ang Veteksemi's Veeco MOCVD heater ay nagpapakita ng mahusay na paglaban sa kaagnasan, paglaban sa oksihenasyon at lakas ng mekanikal. Ang CVD sic coating ay nagbibigay ng isang solidong hadlang sa mga kinakaing unti -unting gas at kemikal na karaniwang sa mga proseso ng MOCVD, sa gayon ay pinalawak ang buhay ng kagamitan at pagbabawas ng mga pangangailangan sa pagpapanatili at mga gastos sa kapalit. Tinitiyak ng paglaban ng oksihenasyon na ang pampainit ay nananatiling matatag sa mataas na temperatura nang walang pagkasira ng pagganap, tinitiyak ang pangmatagalang katatagan.

Bilang karagdagan, ang mataas na mekanikal na lakas ng MOCVD heater ng Veteksemi ay nagbibigay -daan upang mapaglabanan ang mga pisikal na stress na nabuo sa panahon ng thermal cycling at paghawak sa substrate. Ang katatagan nito ay binabawasan ang panganib ng pagkabigo ng mekanikal at tinitiyak ang maaasahang operasyon ng kagamitan sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso.

Bilang isang advanced na manufacturer at supplier ng mga produktong pampainit ng VEECO MOCVD, nagbibigay din ang VeTeksemi ng iba't ibang de-kalidad na produkto ng pampainit tulad ngTAC Coating Heater, Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater, Silicon carbide ceramic coating heater, atbp. Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng advanced at nako-customize na teknolohiya at mga solusyon sa produkto para sa industriya ng semiconductor. Taos-puso kaming umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.