Mga produkto
Silicon Carbide Robot Arm
  • Silicon Carbide Robot ArmSilicon Carbide Robot Arm
  • Silicon Carbide Robot ArmSilicon Carbide Robot Arm

Silicon Carbide Robot Arm

Ang aming Silicon Carbide (SIC) robotic arm ay idinisenyo para sa mataas na pagganap na paghawak ng wafer sa advanced na semiconductor manufacturing. Ginawa ng mataas na kadalisayan ng silikon na karbida, ang robotic braso na ito ay nag-aalok ng pambihirang pagtutol sa mataas na temperatura, kaagnasan ng plasma, at pag-atake ng kemikal, tinitiyak ang maaasahang operasyon sa paghingi ng mga kapaligiran sa paglilinis. Ang pambihirang mekanikal na lakas at dimensional na katatagan ay nagbibigay -daan sa tumpak na paghawak ng wafer habang binabawasan ang mga panganib sa kontaminasyon, ginagawa itong isang mainam na pagpipilian para sa MOCVD, epitaxy, implantation ng ion, at iba pang mga kritikal na aplikasyon sa paghawak ng wafer. Inaanyayahan namin ang iyong mga katanungan.

Ang Veteksemicon's Silicon Carbide Robotic Arm ay isang high-end na semiconductor na solusyon sa pagproseso na sadyang idinisenyo para sa malupit na pang-industriya na kapaligiran. Ang paggamit ng advanced na high-kadalisayan na silikon na teknolohiya ng materyal na karbida, nagpapakita ito ng pambihirang katatagan at tibay sa mataas na temperatura, kinakaing unti-unting mga kapaligiran, at mga kondisyon ng vacuum ng ultra. Bilang isang pangunahing sangkap sa paghawak ng wafer, etching, at mga proseso ng pag -aalis, ang aming robotic braso ay makabuluhang nagpapabuti sa pagiging produktibo at binabawasan ang mga gastos sa pagpapanatili.


Ⅰ. Mga teknikal na parameter


Proyekto
Parameter
Materyal
Mataas na kadalisayan sic
Katigasan ng ibabaw
2800-3200 HV
Kapasidad ng pag -load
3kg/5kg/10kg (iba't ibang mga pagtutukoy na magagamit)
Thermal conductivity
Thermal conductivity
Resistivity
10^3-10^5 Ω; CM
Naaangkop na kapaligiran
Mataas na temperatura, plasma, corrosive gas, ultra-high vacuum
Ulitin ang kawastuhan sa pagpoposisyon
± 0.02mm

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm Core Bentahe


1. Matinding pagpapahintulot sa kapaligiran

Ang aming braso ng robot ay gumagamit ng isang natatanging formulated na patong ng SIC na sumasailalim sa maraming mga proseso ng pag-aalis ng mataas na temperatura, na nagpapagana upang mapanatili ang integridad ng istruktura sa matagal na temperatura ng 1500 ° C at epektibong pigilan ang kaagnasan mula sa pambobomba ng plasma at malakas na acid at alkalina na kapaligiran. Ang panimula na ito ay tinutukoy ang mga punto ng sakit ng mga tradisyunal na materyales na madaling kapitan ng pagtanda at may isang maikling habang buhay sa ilalim ng matinding mga kondisyon sa pagtatrabaho.


2. Mahusay na mga katangian ng mekanikal

Sa pamamagitan ng pag -ampon ng isang pinagsama -samang istraktura ng graphite substrate at sic coating, nakamit namin ang isang katigasan na higit sa mga materyales na metal habang tinitiyak na ang braso ay lubos na magaan. Tinitiyak ng disenyo na ito na ang pagpapapangit ng braso ng robot ay napakaliit sa panahon ng mataas na bilis ng paggalaw ng paggalaw, na epektibong pinipigilan ang jitter, sa gayon ay mahigpit na kinokontrol ang paulit-ulit na pagpoposisyon sa loob ng ± 0.02mm, tinitiyak ang ligtas na paghahatid ng mga wafer ng katumpakan.


3. Ultra-high kalinisan

Naiintindihan namin na ang kontaminasyon ng particulate ay ang numero unong pumatay ng ani. Samakatuwid, ang bawat braso ng robot ay sumasailalim sa pag -polish ng katumpakan at dalubhasang paggamot sa ibabaw, na nagreresulta sa isang pagkamagaspang sa ibabaw na mas mababa sa 0.1μm. Ang patong ay ligtas na sumunod, na pumipigil sa anumang panganib ng pagbabalat. Ang aming mga produkto ay 100% na nasubok sa kalinisan, ganap na nakakatugon sa mga ultra-high cleanroom na mga kinakailangan at handa nang magamit sa mga linya ng produksyon ng state-of-the-art.


4. Mahabang buhay ng serbisyo

Salamat sa likas na tigas ng SIC na 3000 HV at mahusay na paglaban sa pagsusuot, ang aming robot arm ay nakakaranas ng minimal na pagkasira ng pagganap kahit na pagkatapos ng libu -libong mga siklo ng paggalaw. Ang kanilang buhay sa serbisyo ay maraming beses na ng mga ordinaryong ceramic o aluminyo haluang metal na sangkap, na makabuluhang binabawasan ang downtime para sa kapalit at pagpapanatili, na naghahatid ng makabuluhang pangkalahatang pagiging epektibo para sa aming mga customer.


Ⅲ. Pangunahing Mga Patlang ng Application


Direksyon ng aplikasyon
Karaniwang senaryo
SPaggawa ng Emiconductor
Paghawak ng wafer, paglipat at pagpoposisyon
LED production
Mga sangkap ng silid ng reaksyon ng MOCVD
Photovoltaic Industry
Pecvd, proseso ng pagsasabog
Aerospace
Awtomatikong pagproseso sa mga kapaligiran sa pagsubok ng mataas na temperatura

Ang Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm 'Ecological Chain Verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya. Maligayang pagdating upang kumunsulta sa amin anumang oras.


Veteksemicon products shop

Mga Hot Tags: Silicon Carbide Robot Arm
Magpadala ng Inquiry
Impormasyon sa Pakikipag-ugnayan
Para sa mga katanungan tungkol sa Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite o listahan ng presyo, mangyaring iwan ang iyong email sa amin at makikipag-ugnayan kami sa loob ng 24 na oras.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept