Semiconductor Quartz screen

Sa mundo ng mataas na pusta ng pagmamanupaktura ng semiconductor, katumpakan at kadalisayan ang pinakamahalaga. Ang screen ng Veteksemicon's Semiconductor Quartz ay isang kritikal na sangkap para sa kagamitan ng metal-organikong kemikal na pag-aalis ng singaw (MOCVD), na ininhinyero upang makabuluhang mapahusay ang pagkakapareho, kadalisayan, at pangkalahatang kahusayan ng iyong mga manipis na proseso ng paglago ng pelikula.

Ⅰ. Mga pangunahing pag -andar: Kontrol ng katumpakan para sa walang kamali -mali na epitaxy

Ang aming mga quartz screen ay maingat na idinisenyo upang harapin ang pinaka-mapaghamong mga aspeto ng MOCVD, na tinitiyak ang pinakamainam na mga kondisyon para sa pagdeposito ng mataas na kalidad na mga layer ng epitaxial.

● Regulasyon ng Airflow: Hindi magkatugma na pagkakapareho

Ang quartz screen ay kumikilos bilang isang tumpak na pisikal na hadlang sa loob ng silid ng reaksyon, maingat na gumagabay sa daloy ng landas ng mga reaktibo na gas (tulad ng mga mapagkukunan ng metal-organikong at hydrides). Ang matalinong disenyo na ito ay nagpapaliit ng magulong daloy at tinitiyak ang isang homogenous na pamamahagi ng mga gas sa buong ibabaw ng substrate.

● Paghiwalay ng kontaminasyon: purong paglaki, nabawasan ang mga depekto

Ang pagpapanatili ng isang ultra-clean na kapaligiran ay mahalaga para sa defect-free manipis na paglago ng pelikula. Ang aming quartz screen ay epektibong hinaharangan ang mga reaksyon ng mga produkto tulad ng mga particle at mga di-pabagu-bago na deposito mula sa pagbagsak pabalik sa substrate o kritikal na mga sangkap tulad ng showerhead. Nilikha mula sa high-purity quartz, ipinagmamalaki nito ang pambihirang kemikal na kawalang-kilos, na ginagarantiyahan na ang screen mismo ay hindi naging mapagkukunan ng kontaminasyon.

● Pamamahala ng temperatura: Mga matatag na gradients para sa mga sensitibong materyales

Ang kontrol sa temperatura ay isang maselan na sayaw sa MOCVD. Ang quartz screen ay nagsisilbing isang mahusay na thermal barrier, pag -minimize ng paglipat ng init sa pagitan ng reaksyon zone at mga nakapalibot na sangkap. Ang kakayahang ito ay tumutulong na mapanatili ang isang matatag na gradient ng temperatura, na talagang mahalaga para sa paglaki ng mga semiconductors na sensitibo sa temperatura, kabilang ang INP at ALN.

Ⅱ. Mga pangunahing sitwasyon sa aplikasyon: Pagpapahusay ng bawat yugto ng MOCVD

Ang kakayahang magamit ng screen ng semiconductor ng Veteksemicon ay umaabot sa iba't ibang mga kritikal na yugto ng proseso ng MOCVD, na naghahatid ng mga nakikinabang na benepisyo sa iyong linya ng pagmamanupaktura.

● Proteksyon ng Substrate: Pag-aalis ng cross-kontaminasyon

Sa mataas na dami ng produksiyon, ang pag-iwas sa cross-kontaminasyon sa pagitan ng mga katabing mga substrate ay mahalaga. Ang aming mga quartz screen ay partikular na epektibo sa mga multi-wafer MOCVD system, na kumikilos bilang isang proteksiyon na kalasag upang matiyak na ang bawat substrate ay tumatanggap ng isang hindi nabuong daloy ng mga nauna, na pinangangalagaan ang integridad ng iyong buong batch.

● Proteksyon ng Showerhead: Pagpapalawak ng habang -buhay, pagbabawas ng downtime

Ang showerhead ay isang mahalaga, ngunit mahina, sangkap. Sa pamamagitan ng madiskarteng pagpoposisyon ng quartz screen sa ilalim ng showerhead, binabawasan nito ang direktang pag -aalis ng mga reaksyon sa mga butas ng showerhead. Ang makabagong proteksyon na ito ay nagpapalawak ng cycle ng paglilinis ng iyong showerhead, makabuluhang pagbaba ng mga gastos sa pagpapanatili at pagliit ng mahalagang downtime.

● Pre-reaksyon ng pagsugpo: Pag-iwas sa hindi kanais-nais na pagbuo ng butil

Ang mga nauna na reaksyon ng gas-phase ay maaaring humantong sa pagbuo ng mga hindi ginustong mga particle, na nakompromiso ang kalidad ng pelikula. Pinapayagan ng quartz screen para sa tumpak na pagsasaayos ng posisyon nito, na nagbibigay-daan sa iyo upang maantala ang oras ng paghahalo ng mga mapagkukunan ng metal-organikong at hydrides. Ito ay epektibong pinipigilan ang mga pre-reaksyon (tulad ng napaaga na reaksyon ng TMGA at NH₃ sa paglaki ng GaN), tinitiyak ang isang mas malinis at mas mahusay na proseso ng pag-aalis.

Ⅲ. Maintenance & Lifespan: Pag -maximize ng Uptime at ROI

Ang pag -unawa sa pagpapanatili at habang buhay ng iyong quartz screen ay susi sa pag -optimize ng iyong mga operasyon sa MOCVD at pag -maximize ang iyong pagbabalik sa pamumuhunan.

● Regular na paglilinis: Pagpapanumbalik ng pagganap ng rurok

Upang mapanatili ang pinakamainam na pagganap, inirerekomenda ang regular na paglilinis ng quartz screen. Ito ay maaaring makamit sa pamamagitan ng parehong mga basa na pamamaraan (hal., Aqua regia, buffered oxide etch) at mga tuyong pamamaraan (hal., Paglilinis ng plasma) upang epektibong alisin ang naipon na mga deposito at ibalik ang screen sa kahusayan ng pagpapatakbo ng rurok.

● Mga tagapagpahiwatig ng Lifespan: Pag -optimize ng mga siklo ng kapalit

Ang karaniwang pag -ikot ng kapalit para sa aming semiconductor quartz screen ay mula sa 50 hanggang 100 na mga siklo ng paglago. Gayunpaman, ang eksaktong habang -buhay ay maaaring mag -iba depende sa agresibo ng iyong tukoy na proseso. Halimbawa, ang mga proseso na kinasasangkutan ng paglago ng Algan ay may posibilidad na maging mas hinihingi sa screen ng quartz kumpara sa karaniwang paglaki ng GaN, na potensyal na humahantong sa isang mas maikling agwat ng kapalit.

Ⅳ. Mga Kaso sa Application ng Industriya: Napatunayan na Pagganap sa Advanced na Paggawa

Ang Veteksemicon's Semiconductor Quartz screen ay matagumpay na na-deploy sa isang malawak na hanay ng mga aplikasyon ng pagputol ng semiconductor, na nagpapakita ng kailangang-kailangan nitong papel sa pagkamit ng mga mahusay na katangian ng aparato.

● LED production: pagpapahusay ng kahusayan sa paglabas ng ilaw

Sa paggawa ng mga LED na nakabase sa GaN, ang aming quartz screen ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagbabawas ng density ng depekto at makabuluhang pagpapabuti ng pagkakapare-pareho ng haba ng haba. Ito ay direktang isinasalin sa mas mataas na pagganap at mas maaasahang mga produkto ng LED.

● Power Electronics: pagpapalakas ng pagiging maaasahan at kahusayan

Para sa SIC epitaxy, ang quartz screen ay nakatulong sa pagbabawas ng pagdikit ng butil ng carbon, na kritikal para sa pagkamit ng pinahusay na pagkakapareho ng pagbagsak ng boltahe. Ito ay isang pangunahing kadahilanan sa pagbuo ng matatag at mahusay na mga elektronikong aparato.

● Field ng Photovoltaic: katumpakan para sa pagbabago ng solar cell

Sa paghahanda ng mga cigs manipis na film solar cells, tinitiyak ng aming quartz screen ang tumpak na kontrol sa mga ratios ng elemento. Ang masusing kontrol na ito ay pangunahing sa pagkamit ng mataas na kahusayan at pare-pareho ang pagganap sa mga susunod na henerasyon na photovoltaic na teknolohiya.