High Purity Quartz Wafer Boat

Ang High Purity Quartz Wafer Boat ng VeTek Semiconductor ay gawa sa ultra-high purity quartz, na may mga katangian ng mababang hydroxyl content, mataas na purity, at malakas na resistensya sa mataas na temperatura. Ang materyal na ito ay malawakang ginagamit din sa industriya ng semiconductor bilang isang materyal para sa mga diffusion furnace at mga bahagi ng CVD furnace. Bilang lalagyan para sa pagdadala ng mga silicon na wafer, ginamit ang High purity Quartz boat wafer sa semiconductor, photovoltaic, kemikal at iba pang larangan.

Mga sitwasyon ng aplikasyon

Una ay ang patlang ng semiconductor.Ang proseso ng paggamot ng init ng mga wafer ay napakahalaga, kabilang ang thermal oksihenasyon, pagsasabog, pagsusubo, atbp Sa pamamagitan ng proseso ng paggamot ng init, binibigyan namin ang mga wafer ng mga bagong katangian.

Ang mga batch furnace core tubes ay ginagamit para sa mga proseso ng pagproseso ng semiconductor wafer tulad ng thermal oksihenasyon, mataas na temperatura pagsasabog, pagsusubo, at manipis na pag -aalis ng pelikula. Ang pugon ng pag -init ng batch ay pangunahing ginagamit upang mapainit ang katawan ng hurno sa pamamagitan ng mga coil upang makumpleto ang paggamot sa init. Ayon sa iba't ibang mga istruktura ng pagtatrabaho, ang mga batch furnace core tubes ay maaaring nahahati sa mga pahalang na hurno at mga vertical na hurno:

.

Sa proseso ng heat treatment, ang wafer ay ikinakarga sa High purity Quartz Wafer Boat, dahan-dahang ipinadala sa quartz furnace tube, at ang wafer ay inilalagay sa isang pare-parehong temperatura zone para sa pagproseso. Pagkatapos maghintay na makumpleto ang proseso, ang Wafer na ginamit na quartz boat ay dahan-dahang hinila palabas sa quartz furnace upang maiwasang masira ang wafer dahil sa biglaang pagbabago ng temperatura. Ang mga pahalang na hurno ay malawakang ginagamit sa proseso ng pagsasabog ng mga integrated circuit na may diameter ng wafer na mas mababa sa 200mm. 

Ang mga bentahe ng mga pahalang na hurno ay simpleng proseso, mahusay na pagkakapareho sa pagitan ng mga wafer, at ang kakayahang iproseso ang maraming mga wafer nang sabay. Ang mga kawalan ay mabagal na bilis ng pag -init, malaking laki ng kagamitan, kahirapan sa automation, at madaling pagpasok ng panlabas na hangin kapag naglo -load at nag -aalis ng mga wafer.

(2) Ang High Purity Quartz Wafer Boat ng vertical furnace ay inilalagay nang patayo, kaya tinatawag itong vertical furnace.

Ang wafer ay ikinarga sa quartz tower at dahan-dahang tumataas sa quartz furnace tube para sa pagpainit. Sa panahon ng proseso ng pag-init, ang High Purity Quartz Wafer Boat ay dahan-dahang iikot upang matiyak na ang wafer ay pinainit nang pantay-pantay. Pagkatapos ng pagproseso, dahan-dahang bababa ang quartz tower upang maiwasan ang mga pagbabago sa temperatura na maaaring magdulot ng pinsala sa wafer. Ang mga vertical furnace ay pangunahing ginagamit sa integrated circuit process ng 200mm at 300mm diameter wafers. Ang pangunahing teknolohiya ng mga vertical furnace ay nakasalalay sa high-precision temperature field control, particle control, micro-environment micro-oxygen control at motorization. Ang mga bentahe ng mga vertical furnace ay manipis na natural na layer ng oksido, magandang pagkakapareho, mas madaling automation, maliit na footprint ng kagamitan, at pagproseso ng batch. Ang kawalan ay ang bilis ng pag-init ay mabagal.

Sa larangan ng photovoltaic, ang proseso ng produksyon ng mga photovoltaic cell ay nangangailangan ng mga quartz boat na magdala at maghatid ng mga silicon na wafer sa proseso ng pagsasabog ng mataas na temperatura. Ang mataas na temperatura na paggamot sa isang mataas na kadalisayan ng nitrogen, oxygen o iba pang inert na kapaligiran ng gas, tulad ng phosphorus diffusion o boron diffusion, ay isang mahalagang hakbang sa proseso ng pagmamanupaktura ng mga solar cell. Ang layunin ay upang bumuo ng isang PN junction sa silicon wafer.

Ang quartz boat ay tiyak na dinisenyo mga puwang sa loob upang matiyak na ang silikon wafer ay nagpapanatili ng eksaktong posisyon sa panahon ng proseso ng pagsasabog ng mataas na temperatura at pantay na pinainit. Dahil ang materyal na quartz ay may mahusay na paglaban sa mataas na temperatura at katatagan ng kemikal, hindi nito marumi ang wafer ng silikon, na kaaya-aya sa pagpapanatili ng isang mataas na kalinisan ng kapaligiran ng paggawa.

Bilang isang Innovator at pinuno sa wafer ng China na ginamit ang Quartz Boat Market, kung nakikibahagi ka sa industriya ng semiconductor o sa industriya ng photovoltaic, hangga't kailangan mo ng mataas na kadalisayan na quartz wafer boat, mangyaring hilingin sa amin para sa isang quote at magagawa naming maiangkop Ito para sa iyo ayon sa iyong mga pangangailangan.

Ito semiconductor Mga tindahan ng produkto: