CVD Silicon Carbide(SiC) Coated Graphite Shower Head

Mga Pangunahing Tampok

• Napakataas na kadalisayan – Ang SiC coating ay nagse-seal ng ganap sa graphite, kaya walang outgassing o metal na kontaminasyon.

• Napakahusay na pamamahagi ng gas – Ang bawat shower head ay ginagawang makina upang makapaghatid ng pare-parehong bilis ng gas sa buong wafer.

• Superior corrosion resistance – Hindi tumutugon ang CVD SiC sa mga halogens o mga nalalabi sa proseso. Ito ay tumatagal ng mas mahaba kaysa sa hubad na grapayt o kuwarts.

• Natitirang thermal performance - Ang coating ay malapit na tumutugma sa thermal expansion ng graphite, kaya walang crack sa panahon ng mabilis na pag-rampa ng temperatura.

• Precision manufacturing – Gumagamit kami ng CNC machining at in-house na CVD coating. Ang mga diameter at pattern ng butas ay pinananatili sa mahigpit na mga pagpapaubaya.

Teknikal na Pagtutukoy

Mga aplikasyon

Ang mga shower head na ito ay ginagamit sa:

• Semiconductor CVD system (parehong produksyon at R&D)

• Kagamitang PECVD – mga dielectric na may mababang temperatura

• Mga MOCVD reactor – III‑V compounds tulad ng GaN, InP

• Silicon epitaxy (Si Epi) – para sa mga power device at CMOS

• SiC epitaxy – high-voltage power electronics

• Compound semiconductor fabs

• Advanced na packaging (hal., TSV liner deposition)

• Anumang thin-film tool na nangangailangan ng corrosion-proof, high-purity gas distributor

Bakit Pumili ng VETEK?

• Hindi kami isang kumpanya ng kalakalan. Lahat - mula sa graphite machining hanggang sa huling CVD SiC coating - ay ginagawa sa loob ng bahay. Nangangahulugan iyon na kinokontrol namin ang kalidad, oras ng pangunguna, at gastos.

• Kumpletuhin ang in-house na pagmamanupaktura – walang mga sorpresa sa outsourcing

• Advanced na teknolohiya ng coating – siksik, pin-hole-free CVD SiC

• Custom na suporta sa engineering – ipadala sa amin ang iyong shower head drawing o ang modelo lang ng reactor

• Maaasahang semiconductor supply chain – nagsusuplay kami ng mga fab at OEM sa loob ng maraming taon

• Hindi mo kailangang muling gawing kwalipikado ang isang bagong disenyo sa bawat pagkakataon. Pinahiran na namin ang mga shower head para sa maraming karaniwang platform (AMAT, TEL, LAM, ASM, atbp.).