Silicon cassette boat

Ang bangka ng cassette ng silikon na inaalok ng Veteksemicon ay inhinyero para sa mahigpit na thermal, mechanical, at kontaminasyon-control na mga kinakailangan ng modernong semiconductor wafer na katha. Ginawa mula sa ultra-high-kadalisayan monocrystalline o polysilicon at naproseso sa mga pamantayan sa kalinisan na nangunguna sa industriya, ang mga silikon na cassette boat ay gumana bilang isang kritikal na sistema ng carrier para sa mga wafer na sumasailalim sa oksihenasyon, pagsasabog, pagsusubo, at iba pang mga thermal cycle na batay sa hurno. Ang mga intrinsikong materyal na katangian nito-kemikal na pagkawalang-kilos sa nakataas na temperatura, naitugma sa pagpapalawak ng thermal na may mga wafer ng silikon, at sobrang mababang konsentrasyon ng metal na impursy-paganahin ito upang mabawasan ang henerasyon ng butil at thermal stress, tinitiyak ang pagkakapareho at pag-uulit na mahalaga para sa sub-micron at advanced-node production.

Sa loob ng mga platform ng patayo at pahalang na hurno, ang bangka ng cassette ng silikon ay nagbibigay ng tumpak na wafer spacing at matatag na suporta sa mekanikal, na nagpapahintulot sa pare -pareho na paglipat ng init at pantay na daloy ng gas sa buong batch. Sa pamamagitan ng pagtanggal ng mga pakikipag-ugnay sa cross-material na karaniwang nauugnay sa quartz o ceramic carriers, nakakatulong ito na maprotektahan ang mga wafer na ibabaw mula sa kontaminasyon sa panahon ng mahabang mataas na temperatura na magbabad, kahit na sa mga temperatura na papalapit sa 1200 ° C. Ang materyal na pag-align sa pagitan ng carrier at substrate ay binabawasan din ang mga linya ng slip, micro-cracks, at warpage, na ginagawang kapaki-pakinabang ang bangka para sa mga aplikasyon tulad ng makapal na paglaki ng oxide, drive-in na pagsasabog, mataas na temperatura na implantation anneal, at pagproseso ng epitaxial na power-device.

Ang idinisenyo upang maisama nang walang putol sa mga awtomatikong sistema ng pag-load, mga module ng paglipat ng foup-to-furnace, at paghawak ng robotic wafer, ang bangka ng cassette ng Veteksemicon ay sumusuporta sa parehong 200 mm at 300 mm na mga kapaligiran sa pagmamanupaktura at sumusunod sa mga nangungunang mga pagtutukoy ng hurno ng OEM. Ang mataas na dimensional na katumpakan nito, na -optimize na geometry ng slot, at ang advanced na pagtatapos ng ibabaw ay nag -aambag sa higit na pagkakapareho ng thermal, nabawasan ang kakulangan, at pinalawak na buhay ng pagpapatakbo - mga factor na direktang nagpapaganda ng proseso ng ani at kagamitan sa oras.

Nai-back sa pamamagitan ng mga materyales sa agham ng Veteksemicon at mahigpit na pamamahala ng kalidad, ang bangka ng cassette ng silikon ay naghahatid ng matatag na pagganap sa maraming mga thermal cycle, mababang butil na pagpapadanak, at mahuhulaan na pag-uugali sa hinihingi ang mga high-temperatura na mga atmospheres tulad ng O₂, H₂, N₂, o mga mixtures ng gasolina. Para sa mga tela na nangangailangan ng pinahusay na control control, mahuhulaan na mga profile ng thermal, at pagiging tugma sa pagmamanupaktura ng aparato ng susunod na henerasyon, ang silikon na cassette boat ay nagpapalakas ng pagiging maaasahan ng proseso, nagpapabuti sa pagkakapareho ng antas ng wafer, at nagbibigay-daan sa pare-pareho na mataas na dami ng produksiyon ng semiconductor.