Mataas na kadalisayan sic wafer boat carrier

Ang Veteksemi High Purity Sic Wafer Boat Carrier ay isang mahalagang sangkap na ginagamit na ginagamit sa mga hurno, pagsasabog ng mga hurno at iba pang kagamitan sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mataas na kadalisayan ng wafer boat carrier ay karaniwang gawa sa mataas na kadalisayan na silikon na karbida at higit sa lahat ay kasama ang mga sumusunod na bahagi:

• Katawan ng suporta sa bangka: isang istraktura na katulad ng isang bracket, na espesyal na ginagamit upang dalhinSilicon waferso iba pang mga materyales sa semiconductor.

• Istruktura ng suporta: Ang disenyo ng istrukturang pangsuporta nito ay nagbibigay-daan dito na makayanan ang mabibigat na kargada sa mataas na temperatura at hindi mababago o masisira sa panahon ng paggamot sa mataas na temperatura.

Silicon Carbide Material

Mga katangiang pisikal ngRecrystallized silicon carbide：

Kung ang mga kinakailangan sa proseso ng produksyon ay mas mataas,CVD sic coatingay maaaring isagawa sa High purity SiC wafer boat carrier upang gawin ang kadalisayan na umabot sa higit sa 99.99995%, higit pang pagpapabuti ng mataas na temperatura na pagtutol nito.

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD sic coating:

Sa panahon ng mataas na temperatura ng paggamot, ang mataas na kadalisayan na Sic wafer boat carrier ay nagbibigay -daan sa silikon wafer na pinainit nang pantay -pantay upang maiwasan ang lokal na sobrang pag -init. Bilang karagdagan, ang mataas na temperatura ng paglaban ng materyal na silikon na karbida ay nagbibigay -daan upang mapanatili ang katatagan ng istruktura sa mga temperatura na 1200 ° C o kahit na mas mataas.

Sa panahon ng proseso ng pagsasabog o pagsusubo, ang cantilever paddle at ang mataas na kadalisayan ang wafer boat carrier ay nagtutulungan. AngCantilever PaddleDahan -dahang itinutulak ang mataas na kadalisayan na carrier ng bangka ng bangka na nagdadala ng silikon na wafer sa silid ng pugon at pinipigilan ito sa isang itinalagang posisyon para sa pagproseso. 

Ang High purity na SiC wafer boat carrier ay nagpapanatili ng contact sa silicon wafer at naayos sa isang partikular na posisyon sa panahon ng proseso ng heat treatment, habang ang cantilever paddle ay nakakatulong na panatilihin ang buong istraktura sa tamang posisyon habang tinitiyak ang pagkakapareho ng temperatura.

Ang High purity SiC wafer boat carrier at ang cantilever paddle ay nagtutulungan upang matiyak ang katumpakan at katatagan ng proseso ng mataas na temperatura.

Nagbibigay sa iyo ang Vetek Semiconductor ng na -customize na mataas na kadalisayan na carrier ng bangka ng bangka ayon sa iyong mga pangangailangan. Inaasahan ang iyong pagtatanong.

VeTek SemiconductorMataas na kadalisayan SiC wafer boat carrier shop: