SIC Coated Planetary Susceptor

Ang SIC coated planetary na Susceptor ay isang planeta na carrier na pinahiran ngSilicon Carbide (sic). Ang pangunahing pag-andar nito ay ang pagdala at paikutin ang mga wafer upang matiyak ang materyal na pagkakapareho at pagkakapare-pareho ng thermal field sa panahon ng pag-aalis, at ang SIC coating ay nagbibigay ng carrier na may mahusay na paglaban sa temperatura, paglaban ng kaagnasan, at thermal conductivity para sa high-precision semiconductorwaferpagproseso.

Mga senaryo ng aplikasyon ng pangunahing para sa SIC coated planetary na Susceptor

Proseso ng paglaki ng epitaxial ng MOCVD

Sa proseso ng MOCVD, ang SIC coated planetary semceptor ay pangunahing ginagamit upang magdala ng mga wafer ng silikon (SI), silikon na karbida (sic), gallium nitride (GaN), gallium arsenide (GAAS) at iba pang mga materyales.

● Mga kinakailangan sa pag -andar: Tumpak na pagpoposisyon at naka-synchronize na pag-ikot ng mga wafer upang matiyak ang pantay na pamamahagi ng mga materyales na na-deposito ng singaw sa ibabaw ng wafer at mapahusay ang pagkakapareho ng kapal ng pelikula at komposisyon.

● Kalamangan: Ang mga coatings ng SIC ay lubos na lumalaban sa kaagnasan at makatiis sa pagguho ng lubos na reaktibo na metal-organikong precursors tulad ng trimethylgallium (TMGA) at trimethylindium (TMIN), na nagpapalawak ng kanilang buhay sa serbisyo.

Silicon Carbide (SIC) Power Device Manufacturing

Ang SIC Coated Planetary Susceptor ay malawakang ginagamit sa epitaxial na paglaki ng mga aparato ng kapangyarihan ng SIC, tulad ng MOSFET, IGBT, SBD at iba pang mga aparato.

● Mga kinakailangan sa pag -andar: Magbigay ng isang matatag na platform ng equalization ng thermal sa mataas na temperatura ng mga kapaligiran upang matiyak ang kalidad ng pagiging crystallization ng layer ng epitaxial at kontrol ng depekto.

● Kalamangan: Ang mga coatings ng sic ay lumalaban sa mataas na temperatura (> 1600 ° C) at may koepisyent ng pagpapalawak ng thermal (4.0 × 10^-6 K^-1) malapit sa na ng mga wafer ng silikon na karbida, na epektibong binabawasan ang mga thermal stress at pinapabuti ang kalidad at katatagan ng epitaxial layer.

Malalim na Ultraviolet (DUV) at Ultraviolet LED epitaxial manufacturing

Ang SIC coated planetary na Susceptor ay angkop para sa epitaxial na paglaki ng mga materyales tulad ng Gallium Nitride (GaN) at aluminyo gallium nitride (Algan), at malawakang ginagamit sa paggawa ng mga UV-LEDs at micro LEDs.

● Mga kinakailangan sa pag -andar: Panatilihin ang tumpak na kontrol sa temperatura at pantay na pamamahagi ng daloy ng hangin upang matiyak ang katumpakan ng haba ng haba at pagganap ng aparato.

● Kalamangan: Ang mataas na thermal conductivity at paglaban ng oksihenasyon ay nagbibigay -daan para sa mahusay na katatagan sa mataas na temperatura sa mahabang panahon ng operasyon, na tumutulong upang mapagbuti ang maliwanag na kahusayan at pagkakapare -pareho ng mga LED chips.

Piliin ang Vekemicon

Ang Veteksemicon sic coated planetary na Susceptor ay nagpakita ng hindi mapapalitan na mga pakinabang sa mataas na temperatura, kinakaing unti -unting mga kapaligiran sa pagmamanupaktura ng semiconductor sa pamamagitan ng natatanging mga katangian ng materyal at disenyo ng mekanikal. At ang aming pangunahing mga produktong planeta ng planeta ay ang SIC coated planetary susceptor,ALD Planetary Susceptor, TAC Coating Planetary SusceptorAt iba pa. Kasabay nito, ang Veteksemicon ay nakatuon sa pagbibigay ng mga pasadyang mga produkto at teknikal na serbisyo sa industriya ng semiconductor. Taos-puso kaming inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.