Sic ceramic vacuum chuck para sa wafer

Ang Veteksemicon sic ceramic vacuum chuck para sa wafer ay isang pangunahing sangkap na partikular na binuo para sa paggawa ng third-generation semiconductor, na-optimize para sa mataas na temperatura, mga high-pressure na pagproseso ng mga kapaligiran na naranasan ng mga wafer. Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na mga materyales sa ceramic, katumpakan machining, at dalubhasang paggamot sa ibabaw na matiyak na matatag na vacuum na may hawak na pagganap at mahusay na thermal katatagan sa hinihingi na semiconductor na proseso ng pagmamanupaktura. Epektibong tinutugunan nila ang wafer warpage at pagpoposisyon ng mga isyu sa kawastuhan na dulot ng mataas na materyal na tigas at mataas na temperatura ng proseso.

Pangkalahatang impormasyon ng produkto

Mga Tuntunin sa Negosyo ng Produkto

Application: Ang Veteksemicon ceramic vacuum chuck para sa wafer ay gawa sa mataas na pagganap na mga ceramic na materyales at katumpakan-machined upang matiyak ang isang ultra-flat na ibabaw at mahusay na katatagan ng thermal. Nagbibigay ito ng maaasahang wafer adsorption at temperatura control solution para sa mga proseso tulad ng epitaxial growth, ion implantation, at photolithography, epektibong pagpapabuti ng proseso ng ani at kahusayan sa paggawa ..

Mga serbisyong maaaring maibigay: Pagsusuri ng senaryo ng application ng customer, pagtutugma ng mga materyales, paglutas ng teknikal na problema.

Profile ng kumpanya： Ang Veteksemicon ay may 2 laboratories, isang koponan ng mga eksperto na may 20 taong karanasan sa materyal, na may R&D at mga kakayahan sa pagsubok, pagsubok at pagpapatunay.

Ang karibal ko ceramic vacuum chuck para sa wafer core bentahe

 ● Breakthrough ng Science Science

Gumagamit ang Veteksemicon ng isang natatanging pagbabalangkas ng materyal at proseso ng pagsasala upang makabuluhang mapahusay ang mekanikal na lakas at thermal na katatagan ng mga produkto nito habang pinapanatili ang mahusay na mga katangian ng pagkakabukod ng mga ceramic na materyales. Ang aming mga ceramics na batay sa alumina ay gumagamit ng mga high-kadalisayan na hilaw na materyales at isang espesyal na pagbabalangkas ng additive, tinitiyak ang mahusay na dimensional na katatagan kahit na sa mga kapaligiran na may mataas na temperatura. Ang aming mga ceramics na batay sa silikon, sa pamamagitan ng isang na-optimize na proseso ng pagsasala, nakamit ang mas mataas na thermal conductivity at pinahusay na pagtutugma ng thermal, na ginagawang partikular na angkop para sa pagproseso ng high-temperatura na SIC wafer.

 ● Napakahusay na pagganap ng thermal management

Ang aming natatanging disenyo ng multi-layer at machining ng katumpakan ay matiyak na ang chuck ay nagpapanatili ng mahusay na pagkakapareho ng thermal kahit na sa ilalim ng mga kondisyon ng operating ng mataas na temperatura. Ipinagmamalaki ng silikon carbide chuck ang isang thermal conductivity na higit sa 200W/m · K, na nagpapagana ng mabilis na pagbabalanse ng temperatura at pagpapanatili ng mga pagkakaiba -iba ng temperatura ng wafer sa loob ng ± 0.8 ° C. Ang mahusay na kakayahan sa pamamahala ng thermal na epektibong maiiwasan ang mga depekto sa proseso na sanhi ng mga pagkakaiba -iba ng temperatura at makabuluhang nagpapabuti sa ani ng produkto.

● Teknolohiya ng ultra-precision machining

Ipinagmamalaki ng Veteksemicon ang nangungunang mga sentro ng machining machining sa Tsina, na gumagamit ng mga natatanging proseso ng paggiling at buli upang makamit ang pagiging flat ng submicron. Ang aming mga silikon na karbida ay nakamit ang flat flatness sa loob ng 0.8μm, na may isang halaga ng pagkamagaspang sa ibabaw na hindi hihigit sa 0.1μm. Ang kalidad ng ibabaw ng ultra-precision na ito ay nagsisiguro ng isang perpektong akma sa pagitan ng wafer at chuck, na nagbibigay ng isang maaasahang patag na sanggunian para sa mga proseso ng katumpakan tulad ng photolithography.

● Pinabuting buhay ng serbisyo

Sa pamamagitan ng na -optimize na mga form na materyal at pinalakas na disenyo ng istruktura, ang aming mga produkto ay may buhay na serbisyo na higit sa 40% kumpara sa mga tradisyunal na produkto. Ang mga espesyal na teknolohiya ng pampalakas sa gilid at mga teknolohiya ng patong sa ibabaw ay nagbibigay -daan sa aming mga produkto upang makatiis ng madalas na pag -clamping at paglilinis ng mga operasyon. Ang mga produktong nakabase sa alumina ay ginagarantiyahan na gumana ng higit sa 200,000 beses, habang ang mga produktong batay sa silikon na karbida ay maaaring umabot sa higit sa 500,000 mga siklo, na makabuluhang binabawasan ang mga gastos sa operating para sa aming mga customer.

● Pag -endorso ng Pag -verify ng Ecological Chain

Ang Veteksemicon ceramic vacuum chuck para sa wafer 'ecological chain verification ay sumasaklaw sa mga hilaw na materyales sa paggawa, naipasa ang internasyonal na pamantayang sertipikasyon, at may isang bilang ng mga patentadong teknolohiya upang matiyak ang pagiging maaasahan at pagpapanatili nito sa semiconductor at mga bagong larangan ng enerhiya.

Para sa detalyadong mga teknikal na pagtutukoy, puting papel, o mga pag -aayos ng sample na pagsubok, mangyaringMakipag -ugnay sa aming pangkat ng suporta sa teknikalUpang galugarin kung paano mapapahusay ng Veteksemicon ang iyong kahusayan sa proseso.