PZT Piezoelectric Wafers (PZT on Si/SOI)

1. Teknikal na Arkitektura

Nagtatampok ang aming mga wafer ng sopistikadong multi-layer stack structure na idinisenyo para matiyak ang pinakamainam na adhesion, conductivity, at piezoelectric na tugon sa panahon ng kumplikadong pagproseso ng MEMS:

 ●Nangungunang Electrode (Key Layer): Pt (Platinum).

● Piezo Layer (Core Layer): PZT.

● Mga Intermediate na Layer: May kasamang Buffer Layer, Bottom Electrode, at Adhesion Layer upang ma-optimize ang oryentasyon ng butil at katatagan ng istruktura.

● substrate: Tugma sa Si o SOI wafers.

2. Quality Assurance at Microstructure Analysis

Tinitiyak namin ang mataas na pagiging maaasahan sa pamamagitan ng mahigpit na teknikal na paglalarawan:

 ●Pagsusuri ng SEM: Ang pag-scan ng mga imahe ng Electron Microscopy (SEM) ay nagpapakita ng isang siksik, walang basag na morpolohiya sa ibabaw na may pare-parehong pamamahagi ng laki ng butil, perpekto para sa mataas na pagiging maaasahan ng mga aplikasyon ng MEMS.

 ●XRD Characterization: Kinukumpirma ng mga pattern ng X-Ray Diffraction (XRD) ang purong perovskite phase formation na may malakas na (100) na gustong oryentasyon, na tinitiyak ang pinakamataas na piezoelectric performance coefficient.

3. Mga Teknikal na Detalye (Mga Katangian)

4. Mga Pangunahing Aplikasyon

 ● Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT): High-frequency miniaturized array para sa fingerprint sensors, gesture recognition, at automotive ultrasonic radar.

 ● Komunikasyon: Susi para sa paggawa ng mga filter ng FBAR o SAW sa 5G/6G upang makamit ang mas malawak na bandwidth at mas mababang pagkawala ng insertion.

 ● Acoustic MEMS: Nagbibigay ng malakas na lumilipas na tugon para sa mga speaker ng MEMS at pinapahusay ang Signal-to-Noise Ratio (SNR) para sa mga mikropono ng MEMS.

 ● Precision Fluid Control: High-speed vibration sa pamamagitan ng d31 mode para sa nanoliter-scale na tumpak na kontrol ng droplet volume sa mga inkjet printhead.

 ● Medikal at Kagandahan (Micro-pumping): Nagmamaneho ng mga medikal na nebulizer o cosmetic ultrasonic pump na may mataas na pagiging maaasahan at compact na laki.

5. Mga Serbisyo sa Pag-customize

Bilang karagdagan sa karaniwang deposition sa Si wafers, nagbibigay din kami ng mga custom na serbisyo sa deposition:

 ●Pag-customize ng Pelikula at Kapal: Deposition ng mga partikular na uri ng pelikula at custom na kapal ayon sa mga kinakailangan sa disenyo.

 ●OEM Foundry: Pagtanggap ng mga wafer na ibinibigay mula sa mga customer para sa mataas na kalidad na piezoelectric thin-film growth.

 ●Suporta sa SOI substrate: Espesyal na deposition sa SOI wafers na may mga sumusunod na detalye: