Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno

Ang mga hurno ng oksihenasyon at pagsasabog ay ginagamit sa iba't ibang mga patlang tulad ng mga aparato ng semiconductor, mga aparato ng discrete, mga aparato ng optoelectronic, mga elektronikong aparato, solar cells, at malakihang integrated circuit manufacturing. Ginagamit ang mga ito para sa mga proseso kabilang ang pagsasabog, oksihenasyon, pagsusubo, pag -alloy, at pagsasala ng mga wafer.

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa na dalubhasa sa paggawa ng high-purity grapayt, silikon na karbida at quartz na mga sangkap sa oksihenasyon at pagsasabog ng mga hurno. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na sangkap ng hurno para sa semiconductor at photovoltaic na industriya, at nasa unahan ng teknolohiya ng patong sa ibabaw, tulad ng CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, atbp.

Ang mga bentahe ng Vetek semiconductor silikon na mga sangkap ng karbida:

● Mataas na paglaban sa temperatura (hanggang sa 1600 ℃)

● Napakahusay na thermal conductivity at thermal katatagan

● Magandang paglaban sa kaagnasan ng kemikal

● Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal

● Mataas na lakas at katigasan

● Mahabang buhay ng serbisyo

Sa mga hurno ng oksihenasyon at pagsasabog, dahil sa pagkakaroon ng mataas na temperatura at kinakaing unti-unting gas, maraming mga sangkap ang nangangailangan ng paggamit ng mga materyales na may mataas na temperatura at kaagnasan, na kung saan ang silikon na karbida (sic) ay isang karaniwang ginagamit na pagpipilian. Ang mga sumusunod ay karaniwang mga bahagi ng silikon na karbida na matatagpuan sa mga hurno ng oksihenasyon at mga hurno ng pagsasabog:

● Wafer boat

Ang Silicon Carbide Wafer Boat ay isang lalagyan na ginamit upang magdala ng mga wafer ng silikon, na maaaring makatiis ng mataas na temperatura at hindi magiging reaksyon sa mga wafer ng silikon.

● Tube ng pugon

Ang tubo ng pugon ay ang pangunahing sangkap ng hurno ng pagsasabog, na ginamit upang mapaunlakan ang mga wafer ng silikon at kontrolin ang kapaligiran ng reaksyon. Ang mga tubo ng silikon na karbida ay may mahusay na mataas na temperatura at pagganap ng paglaban sa kaagnasan.

● Plato ng Baffle

Ginamit upang ayusin ang daloy ng hangin at pamamahagi ng temperatura sa loob ng hurno

● Thermocouple Protection Tube

Ginamit upang maprotektahan ang temperatura pagsukat ng mga thermocouples mula sa direktang pakikipag -ugnay sa mga kinakaing unti -unting gas.

● Cantilever Paddle

Ang Silicon Carbide Cantilever Paddles ay lumalaban sa mataas na temperatura at kaagnasan, at ginagamit upang magdala ng mga bangka ng silikon o mga bangka ng quartz na nagdadala ng mga silikon na wafer sa mga tubo ng pagsasabog ng hurno.

● Gas injector

Ginamit upang ipakilala ang reaksyon ng gas sa hurno, kailangan itong lumaban sa mataas na temperatura at kaagnasan.

● Carrier ng bangka

Ang Silicon Carbide Wafer Boat Carrier ay ginagamit upang ayusin at suportahan ang mga wafer ng silikon, na may mga pakinabang tulad ng mataas na lakas, paglaban sa kaagnasan, at mahusay na katatagan ng istruktura.

● pintuan ng hurno

Ang mga coatings o sangkap ng silikon ay maaari ring magamit sa loob ng pintuan ng hurno.

● Elemento ng Pag -init

Ang mga elemento ng pagpainit ng karbida ng silikon ay angkop para sa mataas na temperatura, mataas na kapangyarihan, at mabilis na itaas ang mga temperatura sa higit sa 1000 ℃.

● sic liner

Ginamit upang maprotektahan ang panloob na pader ng mga tubo ng hurno, makakatulong ito na mabawasan ang pagkawala ng enerhiya ng init at makatiis ng malupit na mga kapaligiran tulad ng mataas na temperatura at mataas na presyon.

View as

SiC Wafer Boat

Ang SiC wafer boat ay ginagamit upang dalhin ang wafer, pangunahin para sa proseso ng oksihenasyon at pagsasabog, upang matiyak na ang temperatura ay maaaring maipamahagi nang pantay-pantay sa ibabaw ng wafer. Ang katatagan ng mataas na temperatura at mataas na thermal conductivity ng mga SiC na materyales ay nagsisiguro ng mahusay at maaasahang pagproseso ng semiconductor. Ang Vetek semiconductor ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Process Tube

Nagbibigay ang VeTek Semiconductor ng mataas na pagganap ng SiC Process Tubes para sa paggawa ng semiconductor. Ang aming SiC Process Tubes ay mahusay sa oksihenasyon, mga proseso ng pagsasabog. Sa napakahusay na kalidad at pagkakayari, ang mga tubo na ito ay nag-aalok ng mataas na temperatura na katatagan at thermal conductivity para sa mahusay na pagproseso ng semiconductor. Nag-aalok kami ng mapagkumpitensyang pagpepresyo at naghahangad na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SiC Cantilever Paddle

Ang SiC Cantilever Paddle ng VeTek Semiconductor ay ginagamit sa mga heat treatment furnace para sa paghawak at pagsuporta sa mga wafer boat. Ang mataas na temperatura na katatagan at mataas na thermal conductivity ng SiC na materyal ay nagsisiguro ng mataas na kahusayan at pagiging maaasahan sa proseso ng pagproseso ng semiconductor. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na produkto sa mapagkumpitensyang presyo at umaasa na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon Carbide Wafer Boat para sa Horizontal Furnace

Ang SiC wafer boat ay may mataas na pangangailangan sa materyal na kadalisayan. Ang Vetek Semiconductor ay nagbibigay ng SiC na kadalisayan ＞99.96% na na-recrystallize ng SiC sa produktong ito. Ang VeTek Semiconductor ay isang propesyonal na tagagawa at supplier sa China para sa silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace, na may maraming taon ng karanasan sa R&D at produksyon, makokontrol ng mabuti ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensyang presyo. Makakatiyak kang bumili ng silicon carbide wafer boat para sa horizontal furnace mula sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

SIC Coated Silicon Carbide Wafer Boat

Ang SiC Coated Silicon Carbide Wafer Boat ay idinisenyo na may 165 na mga puwang para magdala ng mga wafer. Ang VeTek Semiconductor ay propesyonal na tagagawa at supplier sa China para sa SiC coated silicon carbide wafer boat, na may maraming taon ng karanasan sa R&D at produksyon, na makokontrol ang kalidad at nag-aalok ng mapagkumpitensya. presyo. Maligayang pagdating sa pagbisita sa aming pabrika at magkaroon ng karagdagang talakayan sa pakikipagtulungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon Carbide Cantilever Paddle

Ang Vetek Semiconductor's Silicon Carbide Cantilever Paddle ay isang mahalagang sangkap sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na ang angkop para sa pagsasabog ng mga hurno o mga hurno ng LPCVD sa mga proseso ng mataas na temperatura tulad ng pagsasabog at RTP. Ang aming silicon carbide cantilever paddle ay maingat na dinisenyo at gawa na may mahusay na mataas na temperatura na pagtutol at lakas ng mekanikal, at maaaring ligtas at maaasahan na mga wafer ng transportasyon sa proseso ng tubo sa ilalim ng malupit na mga kondisyon ng proseso para sa iba't ibang mga proseso ng high-temperatura tulad ng pagsasabog at RTP. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.Feel libre upang magtanong sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno

Ang mga bentahe ng Vetek semiconductor silikon na mga sangkap ng karbida:

SiC Wafer Boat

SIC Process Tube

SiC Cantilever Paddle

Silicon Carbide Wafer Boat para sa Horizontal Furnace

SIC Coated Silicon Carbide Wafer Boat

Silicon Carbide Cantilever Paddle

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address