Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno

Ang mga hurno ng oksihenasyon at pagsasabog ay ginagamit sa iba't ibang mga patlang tulad ng mga aparato ng semiconductor, mga aparato ng discrete, mga aparato ng optoelectronic, mga elektronikong aparato, solar cells, at malakihang integrated circuit manufacturing. Ginagamit ang mga ito para sa mga proseso kabilang ang pagsasabog, oksihenasyon, pagsusubo, pag -alloy, at pagsasala ng mga wafer.

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa na dalubhasa sa paggawa ng high-purity grapayt, silikon na karbida at quartz na mga sangkap sa oksihenasyon at pagsasabog ng mga hurno. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng mga de-kalidad na sangkap ng hurno para sa semiconductor at photovoltaic na industriya, at nasa unahan ng teknolohiya ng patong sa ibabaw, tulad ng CVD-SIC, CVD-TAC, pyrocarbon, atbp.

Ang mga bentahe ng Vetek semiconductor silikon na mga sangkap ng karbida:

● Mataas na paglaban sa temperatura (hanggang sa 1600 ℃)

● Napakahusay na thermal conductivity at thermal katatagan

● Magandang paglaban sa kaagnasan ng kemikal

● Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal

● Mataas na lakas at katigasan

● Mahabang buhay ng serbisyo

Sa mga hurno ng oksihenasyon at pagsasabog, dahil sa pagkakaroon ng mataas na temperatura at kinakaing unti-unting gas, maraming mga sangkap ang nangangailangan ng paggamit ng mga materyales na may mataas na temperatura at kaagnasan, na kung saan ang silikon na karbida (sic) ay isang karaniwang ginagamit na pagpipilian. Ang mga sumusunod ay karaniwang mga bahagi ng silikon na karbida na matatagpuan sa mga hurno ng oksihenasyon at mga hurno ng pagsasabog:

● Wafer boat

Ang Silicon Carbide Wafer Boat ay isang lalagyan na ginamit upang magdala ng mga wafer ng silikon, na maaaring makatiis ng mataas na temperatura at hindi magiging reaksyon sa mga wafer ng silikon.

● Tube ng pugon

Ang tubo ng pugon ay ang pangunahing sangkap ng hurno ng pagsasabog, na ginamit upang mapaunlakan ang mga wafer ng silikon at kontrolin ang kapaligiran ng reaksyon. Ang mga tubo ng silikon na karbida ay may mahusay na mataas na temperatura at pagganap ng paglaban sa kaagnasan.

● Plato ng Baffle

Ginamit upang ayusin ang daloy ng hangin at pamamahagi ng temperatura sa loob ng hurno

● Thermocouple Protection Tube

Ginamit upang maprotektahan ang temperatura pagsukat ng mga thermocouples mula sa direktang pakikipag -ugnay sa mga kinakaing unti -unting gas.

● Cantilever Paddle

Ang Silicon Carbide Cantilever Paddles ay lumalaban sa mataas na temperatura at kaagnasan, at ginagamit upang magdala ng mga bangka ng silikon o mga bangka ng quartz na nagdadala ng mga silikon na wafer sa mga tubo ng pagsasabog ng hurno.

● Gas injector

Ginamit upang ipakilala ang reaksyon ng gas sa hurno, kailangan itong lumaban sa mataas na temperatura at kaagnasan.

● Carrier ng bangka

Ang Silicon Carbide Wafer Boat Carrier ay ginagamit upang ayusin at suportahan ang mga wafer ng silikon, na may mga pakinabang tulad ng mataas na lakas, paglaban sa kaagnasan, at mahusay na katatagan ng istruktura.

● pintuan ng hurno

Ang mga coatings o sangkap ng silikon ay maaari ring magamit sa loob ng pintuan ng hurno.

● Elemento ng Pag -init

Ang mga elemento ng pagpainit ng karbida ng silikon ay angkop para sa mataas na temperatura, mataas na kapangyarihan, at mabilis na itaas ang mga temperatura sa higit sa 1000 ℃.

● sic liner

Ginamit upang maprotektahan ang panloob na pader ng mga tubo ng hurno, makakatulong ito na mabawasan ang pagkawala ng enerhiya ng init at makatiis ng malupit na mga kapaligiran tulad ng mataas na temperatura at mataas na presyon.

View as

Silicon carbide ceramic wafer boat

Dalubhasa ang VeTek Semiconductor sa pagbibigay ng mga de-kalidad na wafer boat, pedestal at custom na wafer carrier sa vertical/column at horizontal configurations upang matugunan ang iba't ibang kinakailangan sa proseso ng semiconductor. Bilang isang nangungunang tagagawa at supplier ng mga silicon carbide coating films, ang aming silicon carbide ceramic wafer boat ay pinapaboran ng European at American market para sa kanilang mataas na cost-effectiveness at mahusay na kalidad, at malawakang ginagamit sa mga advanced na proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang VeTek Semiconductor ay nakatuon sa pagtatatag ng pangmatagalan at matatag na pakikipagtulungan sa mga global na customer, at lalo na umaasa na maging iyong maaasahang kasosyo sa proseso ng semiconductor sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle

Ang papel ng Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle sa industriya ng semiconductor ay upang suportahan at dalhin ang mga wafer. Sa mga prosesong may mataas na temperatura gaya ng diffusion at oxidation, ang SiC cantilever paddle ay makakapagdala ng mga wafer boat at wafer nang walang deformation o pinsala dahil sa mataas na temperatura, na tinitiyak ang maayos na pag-usad ng proseso. Ang paggawa ng diffusion, oxidation at iba pang mga proseso na mas pare-pareho ay mahalaga sa pagpapabuti ng pare-pareho at ani ng pagpoproseso ng wafer. Gumagamit ang VeTek Semiconductor ng advanced na teknolohiya upang bumuo ng SiC cantilever paddle na may high-purity na silicon carbide upang matiyak na ang mga wafer ay hindi mahahawahan. Inaasahan ng VeTek Semiconductor ang pangmatagalang pakikipagtulungan sa iyo sa mga produktong Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Quartz crucible

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang quartz crucible supplier at tagagawa sa China. Ang quartz crucibles na ginawa namin ay pangunahing ginagamit sa semiconductor at photovoltaic na mga patlang. Mayroon silang mga katangian ng kalinisan at paglaban sa mataas na temperatura. At ang aming quartz na crucible para sa semiconductor ay sumusuporta sa mga proseso ng paggawa ng paghila ng silikon na paghila, pag -load at pag -alis ng mga polysilicon raw na materyales sa semiconductor silikon wafer production process, at mga pangunahing consumable para sa paggawa ng silikon wafer. Inaasahan ng Vetek Semiconductor na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon Carbide Wafer Carrier

Bilang isang propesyonal na tagapagtustos ng carbide carbide wafer carrier sa China, ang Vetek semiconductor SIC Wafer carrier ay isang tool na espesyal na ginagamit para sa paghawak at pagproseso ng mga semiconductor wafers, na gumaganap ng isang hindi mapapalitan na papel sa proseso ng semiconductor wafer. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang konsultasyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Silicon Pedestal

Ang Vetek semiconductor silikon pedestal ay isang pangunahing sangkap sa semiconductor pagsasabog at mga proseso ng oksihenasyon. Bilang isang dedikadong platform para sa pagdala ng mga bangka ng silikon sa mga hurno ng mataas na temperatura, ang silikon na pedestal ay maraming natatanging pakinabang, kabilang ang pinahusay na pagkakapareho ng temperatura, na-optimize na kalidad ng wafer, at pinahusay na pagganap ng mga aparato ng semiconductor. Para sa higit pang impormasyon sa produkto, mangyaring huwag mag -atubiling makipag -ugnay sa amin.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Sic ceramic seal singsing

Bilang isang malaking pabrika at tagapagtustos ng mga produktong singsing ng SIC Ceramic Seal sa China, ang Vetek Semiconductor SIC Ceramic Seal Ring ay may malawak na hanay ng mga aplikasyon sa larangan ng pang-industriya dahil sa mahusay na thermal conductivity, natitirang paglaban sa kemikal at kaagnasan, at mataas na lakas at higpit. Maligayang pagdating sa iyong karagdagang mga katanungan.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Oksihenasyon at pagsasabog ng hurno

Ang mga bentahe ng Vetek semiconductor silikon na mga sangkap ng karbida:

Silicon carbide ceramic wafer boat

Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle

Quartz crucible

Silicon Carbide Wafer Carrier

Silicon Pedestal

Sic ceramic seal singsing

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address