Sic cantilever paddles

Pangkalahatang -ideya ng Paggamit ng Paggamit

Ang SIC cantilever paddles ay pangunahing ginagamit sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor bilang suporta sa wafer at mga sangkap ng paghahatid. Ang pangunahing pag -andar nito ay ang stably at tumpak na iproseso ang mga wafer ng silikon sa ilalim ng matinding mga kondisyon ng proseso tulad ng mataas na temperatura at mataas na kaagnasan, tinitiyak ang isang maayos at mahusay na proseso ng paggawa.

Ⅱ.Advantages at mga katangian ng mga materyales sa SIC

Ang SIC ay isang advanced na ceramic material na ang mahusay na mga pisikal na katangian ay nagbibigay ito ng isang walang kaparis na kalamangan sa larangan ng semiconductor. Ang mga sumusunod ay ang mga pangunahing pisikal na mga parameter na may kaugnayan sa SIC cantilever paddles:

● Mataas na kadalisayan: Ang paggamit ng mataas na kadalisayan na materyal na SIC ay maaaring mabawasan ang kontaminasyon ng proseso at pagbutihin ang ani ng produkto.

● Napakahusay na paglaban sa mataas na temperatura: Ang SIC ay may isang natutunaw na punto ng hanggang sa 2830 ° C, na nagbibigay-daan upang mapanatili ang integridad ng istruktura sa matinding temperatura ng mga kapaligiran tulad ng plasma etching at high-temperatura na pagsusubo, at ang pangmatagalang temperatura ng operating ay maaaring umabot ng higit sa 1000 ° C.

● Mataas na katigasan at pagsusuot ng paglaban: Ang katigasan ng MOHS ay 9-9.5, pangalawa lamang sa brilyante, na nagbibigay ng mga paddles ng cantilever ng SIC na mahusay na paglaban sa pagsusuot at pagpapanatili ng dimensional na katatagan sa panahon ng paghahatid ng high-frequency wafer.

● Napakahusay na thermal conductivity: Ang thermal conductivity ng SIC ceramics ay kasing taas ng 120-250 w/(M · K) (karaniwang halaga), na maaaring mabilis na mawala ang init at maiwasan ang lokal na sobrang pag-init na maaaring makapinsala sa wafer.

● Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal: Ang mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal (tungkol sa 4.0 × 10⁻⁶ /k) ay nagsisiguro ng dimensional na katatagan kapag nagbabago ang temperatura, iniiwasan ang stress na dulot ng pagpapalawak at pag -urong ng thermal, at sa gayon ay binabawasan ang panganib ng pinsala sa wafer.

Ⅲ. Mga senaryo ng aplikasyon ng SIC cantilever paddles

Ang mga natatanging katangian ng SIC cantilever paddles ay nagbibigay -daan sa kanila upang maglaro ng isang pangunahing papel sa maraming mga link ng semiconductor manufacturing:

● Kagamitan sa plasma etching)

● Manipis na kagamitan sa pag -aalis ng pelikula (CVD/PVD): Sa proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD) at pisikal na pag -aalis ng singaw (PVD), ang mga paddles ng SIC cantilever ay ginagamit upang suportahan ang mga wafer. Ang kanilang mahusay na mataas na temperatura ng paglaban at thermal conductivity ay tumutulong upang pantay -pantay na mapainit ang mga wafer at maiwasan ang kontaminasyon ng butil na nabuo sa panahon ng manipis na proseso ng pag -aalis ng pelikula.

● Wafer transfer system)

● Mataas na proseso ng pagsusubo ng temperatura: Sa mataas na temperatura ng pagsusubo ng hurno, ang SIC cantilever paddles ay maaaring makatiis ng mga ultra-high na temperatura ng temperatura, magbigay ng matatag na suporta para sa mga wafer, at matiyak ang pagkakapareho at pagiging epektibo ng proseso ng pagsusubo.

Ang Veteksemicon ay may kamalayan sa mahigpit na mga kinakailangan ng mga proseso ng semiconductor para sa kalidad ng produkto. Samakatuwid, sinusuportahan namin ang mga na -customize na serbisyo at maaaring magbigay ng na -customize na SIC cantilever paddle design at produksiyon ayon sa iyong mga tukoy na kagamitan at mga kinakailangan sa proseso. At makokontrol din natin ang mahigpit na kontrol sa kalidad upang matiyak na ang bawat produkto ay sumasailalim sa mahigpit na kalidad ng mga inspeksyon upang matiyak na nakakatugon ito sa pinakamataas na pamantayan sa industriya.

Mas mahalaga, ang koponan ng teknikal na Vetek Semiconductor ay magbibigay sa iyo ng komprehensibong teknikal na konsultasyon at mga solusyon sa produkto. Ang pagpili ng aming SIC cantilever paddle ay nangangahulugang pagpili ng mas mataas na kahusayan sa produksyon, mas mahaba ang buhay ng kagamitan at mas mahusay na ani ng produkto. Inaasahan ang iyong karagdagang konsultasyon.