CVD sic coating graphite susceptor

Ang CVD sic coating grapayt na Susceptor ay espesyal na idinisenyo para sa pagmamanupaktura ng high-precision sa industriya ng semiconductor. Ang grapayt na substrate ay pinahiran ng isang mataas na kadalisayan na layer ng SIC sa pamamagitan ng proseso ng CVD, na may mahusay na mataas na paglaban sa temperatura, paglaban ng kaagnasan at paglaban sa oksihenasyon, at maaaring gumana nang matatag sa loob ng mahabang panahon sa mataas na temperatura at kapaligiran ng vacuum. Ang pedestal na ito ay malawakang ginagamit sa MOCVD, PECVD, PVD at iba pang kagamitan upang suportahan ang pagproseso at paghawak ng mga wafer at iba pang mga materyales na may mataas na katumpakan.

Mga Bentahe ng Core:

● Mataas na katatagan ng temperatura: Ang high-purity grapayt mismo ay may mahusay na katatagan ng thermal. Matapos mabigyan ng pinahiran na patong ng SIC, maaari itong makatiis ng mas mataas na temperatura ng matinding kapaligiran at angkop para sa mga proseso ng mataas na temperatura sa pagproseso ng semiconductor.

● Sulokpaglaban ng ion: Ang CVD sic coating ay lumalaban sa acid at alkali corrosion at maaaring magkaroon ng mahabang buhay ng serbisyo sa proseso ng CVD.

● Mataas na hArdness at paglaban sa oksihenasyon: Ang CVD sic coating ay may mahusay na katigasan, paglaban sa gasgas, at paglaban sa oksihenasyon sa mataas na temperatura upang mapanatili ang katatagan ng materyal.

● Magandang thermal conductivity)

Mga pagtutukoy ng produkto:

● Materyal: Graphite substrate + CVD sic coating

● Kapal ng patong: Maaaring ipasadya ayon sa mga pangangailangan ng customer

● Naaangkop na kapaligiran: Mataas na temperatura, vacuum, corrosive gas environment

Customized Service:

Nagbibigay kami ng lubos na na -customize na serbisyo upang matugunan ang mga pangangailangan ng iba't ibang kagamitan at proseso ng mga customer. Ayon sa tukoy na aplikasyon ng customer, ang mga base ng grapayt na may iba't ibang mga kapal ng patong, mga paggamot sa ibabaw at mga antas ng katumpakan ay maaaring maibigay.

Ang Veteksemi ay palaging nagtatrabaho sa CVD Silicon Carbide Coating Industry at may nangunguna sa industriya ng CVD sic coating grapayt base production at antas ng pagmamanupaktura. Kung kailangan mo ng mas maraming impormasyon sa produkto o na -customize na mga serbisyo, mangyaring makipag -ugnay sa Vetek Semiconductor, buong puso kaming magbibigay sa iyo ng propesyonal na suporta.

SEM data ng CVD sic film crystal istraktura:

Ito semiconductorCVD SIC Coating Graphite Susceptor Product Shops: