AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII

Ang AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII (Part No. 0200-00218) ay isang high-purity quartz component na idinisenyo para gamitin sa 200mm (8-inch) PVD process chamber, partikular na compatible sa Applied Materials Endura® platform (PCII chamber).

Ginawa mula sa ultra-high purity fused quartz, ang bahaging ito ay gumaganap ng isang kritikal na papel sa pagpapanatili ng isang malinis at matatag na kapaligiran ng deposition sa pamamagitan ng pagliit ng kontaminasyon at pagtiyak ng pare-parehong gawi ng plasma.

Sa Vetek Semiconductor, nagbibigay kami ng precision-engineered na mga bahagi ng quartz na may mahigpit na kontrol sa materyal at katumpakan ng dimensyon, na nag-aalok ng mga mapagkakatiwalaang alternatibo para sa mga semiconductor na fab at mga service provider ng kagamitan.

Pangunahing Detalye:

Proseso ng Aplikasyon at Posisyon ng Kamara

Ang quartz cover na ito ay partikular na idinisenyo para sa PVD sputtering na mga proseso, malawakang ginagamit sa semiconductor manufacturing para sa metal thin film deposition gaya ng aluminum (Al), titanium (Ti), at copper (Cu).

Posisyon ng Kamara

Ang bahagi ay naka-install sa itaas na seksyon ng PVD chamber, na karaniwang tinutukoy bilang ang tuktok na rehiyon ng takip, kung saan ito ay nakalantad sa:

● Mga zone ng paglabas ng plasma

● Iproseso ang mga daanan ng daloy ng gas

● Mga kapaligiran sa pagtitiwalag ng particle ng metal

Functional na Papel sa Kamara

Sa loob ng istraktura ng silid, ang Cover Top Quartz ay nagsisilbing non-metallic protective barrier at insulating element, na nakaposisyon sa itaas ng wafer at malapit sa target na rehiyon.

Ang paglalagay nito ay kritikal para sa:

● Pinoprotektahan ang mga sensitibong bahagi ng silid mula sa pagtitiwalag ng metal

● Pagpapanatili ng electrical insulation sa RF plasma environment

● Pagsuporta sa matatag at nauulit na mga kondisyon ng proseso

Mga Pangunahing Pag-andar at Mga Kalamangan sa Pagganap

1) Kontrol sa Kontaminasyon

Sa panahon ng mga proseso ng PVD, ang mga sputtered metal atoms ay may posibilidad na magdeposito hindi lamang sa mga wafer kundi pati na rin sa mga panloob na ibabaw ng silid.

Ang takip ng kuwarts na ito:

● Nagsisilbing sacrificial protective layer

● Pinipigilan ang pagtatayo ng metal sa mga kritikal na istruktura ng silid

● Binabawasan ang pagbuo ng particle at cross-contamination

Resulta: Pinahusay na ani ng wafer at kalinisan ng proseso

2) Plasma Stability at Electrical Insulation

Salamat sa mahusay na mga katangian ng dielectric, tinitiyak ng high-purity quartz:

● Matatag na RF field distribution

● Nabawasan ang panganib ng pagkagambala sa kuryente

● Pare-parehong plasma density sa mga cycle ng proseso

Resulta: Pinahusay na pagkakapareho ng pelikula at pag-uulit

3) Superior na Kadalisayan ng Materyal

Ang Vetek Semiconductor ay gumagamit ng ultra-high purity quartz na materyales para mabawasan ang impurity introduction.

● Mababang kontaminasyong metal

● Minimal na outgassing sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum

● Angkop para sa mga advanced na semiconductor node

Resulta: Nakakatugon sa mahigpit na mga pamantayan sa kalinisan sa antas ng fab

4) Napakahusay na Plasma at Thermal Resistance

Ang bahagi ay ininhinyero upang makatiis:

● Plasma erosion at ion bombardment

● Paulit-ulit na thermal cycling

Resulta: Mas mahabang buhay ng serbisyo at nabawasan ang dalas ng pagpapanatili

5) Cost-Effective na Consumable Design

Bilang isang maaaring palitan na chamber consumable, ang bahaging ito:

● Pinoprotektahan ang mamahaling chamber hardware

● Pinapasimple ang mga ikot ng pagpapanatili

● Ibinababa ang kabuuang halaga ng pagmamay-ari (TCO)

Bakit Pumili ng Vetek Semiconductor?

Sa Vetek Semiconductor, pinagsasama namin ang mga materyales sa science expertise sa pag-unawa sa proseso ng semiconductor para makapaghatid ng mga bahagi ng quartz na may mataas na pagganap.

Ang aming mga kalamangan:

● Precision machining na may mahigpit na tolerance

● Mahigpit na pagpili at traceability ng hilaw na materyal

● Napatunayang pagiging tugma sa mga platform ng AMAT Endura

● Stable na supply para sa mga global na customer ng semiconductor

● Suporta sa engineering para sa pag-customize at pag-optimize