Proseso ng SiC Epitaxy

Ang mga natatanging carbide coating ng VeTek Semiconductor ay nagbibigay ng higit na mahusay na proteksyon para sa mga bahagi ng graphite sa Proseso ng SiC Epitaxy para sa pagpoproseso ng mga hinihingi na semiconductor at composite na mga semiconductor na materyales. Ang resulta ay pinahabang buhay ng bahagi ng grapayt, pagpapanatili ng reaksyong stoichiometry, pagsugpo sa paglipat ng karumihan sa epitaxy at mga aplikasyon ng paglago ng kristal, na nagreresulta sa pagtaas ng ani at kalidad.

Pinoprotektahan ng aming mga tantalum carbide (TaC) coatings ang mga kritikal na bahagi ng furnace at reactor sa mataas na temperatura (hanggang 2200°C) mula sa mainit na ammonia, hydrogen, silicon vapors at molten metals. Ang VeTek Semiconductor ay may malawak na hanay ng mga kakayahan sa pagpoproseso at pagsukat ng grapayt upang matugunan ang iyong mga customized na pangangailangan, upang makapag-alok kami ng bayad na bayad na patong o buong serbisyo, kasama ang aming pangkat ng mga dalubhasang inhinyero na handang magdisenyo ng tamang solusyon para sa iyo at sa iyong partikular na aplikasyon .

Compound semiconductor crystals

Ang VeTek Semiconductor ay maaaring magbigay ng mga espesyal na TaC coating para sa iba't ibang bahagi at carrier. Sa pamamagitan ng nangunguna sa industriya ng proseso ng coating ng VeTek Semiconductor, ang TaC coating ay maaaring makakuha ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical resistance, sa gayon ay nagpapabuti sa kalidad ng produkto ng mga kristal na TaC/GaN) at EPl layer, at nagpapahaba ng buhay ng mga kritikal na bahagi ng reactor.

Mga thermal insulator

SiC, GaN at AlN crystal growth component kabilang ang mga crucibles, seed holder, deflectors at filters. Mga Industrial assemblies kabilang ang mga resistive heating elements, nozzle, shielding ring at brazing fixture, GaN at SiC epitaxial CVD reactor component kabilang ang mga wafer carrier, satellite tray, shower head, takip at pedestal, mga bahagi ng MOCVD.

Layunin:

● LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier

● ALD(Semiconductor) Receiver

● EPI Receptor (SiC Epitaxy Process)

CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor TaC Coated Ring para sa SiC Epitaxial Reactor TaC Coated Three-petal Ring Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

	SiC	TaC
Pangunahing Tampok	Napakataas na kadalisayan, Napakahusay na paglaban sa Plasma	Napakahusay na katatagan ng mataas na temperatura (pagsunod sa proseso ng mataas na temperatura)
Kadalisayan	>99.9999%	>99.9999%
Densidad (g/cm³)	3.21	15
Katigasan (kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
Resistivity [Ωcm]	0.1-15,000	<1
Thermal conductivity (W/m-K)	200-360	22
Coefficient ng thermal expansion(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
Aplikasyon	Semiconductor Equipment Ceramic jig(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer)	SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment parts

View as

Silicon carbide epitaxy wafer carrier

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang pasadyang silikon na karbida epitaxy wafer carrier supplier sa China.We ay na -dalubhasa sa advanced na materyal na higit sa 20 taon. Nag -aalok kami ng isang silikon na carbide epitaxy wafer carrier para sa pagdala ng SIC substrate, lumalagong SIC epitaxy layer sa sic epitaxial reactor. Ang silikon na carbide epitaxy wafer carrier na ito ay isang mahalagang sic na pinahiran na bahagi ng bahagi ng halfmoon, mataas na temperatura ng paglaban, paglaban sa oksihenasyon, paglaban sa pagsusuot. Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum carbide coating coating

Ang Tantalum carbide coating coating ay binubuo ng high-purity grapayt at TAC coating. Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagapagtustos at tagagawa ng Tantalum carbide coating coating sa China. Nakatuon kami sa pagbibigay ng mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na lumalaban sa mga produktong karbida. Ang aming tantalum carbide coated cover ay may mahusay na pagganap at pagiging maaasahan, at maaaring epektibong maprotektahan ang mga materyales sa sobrang mataas na temperatura at kinakain na mga kapaligiran. Inaasahan namin ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China. Maligayang pagdating upang kumunsulta sa anumang oras.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Deflector Ring

Ang Vetek Semiconductor's TAC Coated Deflector Ring ay isang lubos na dalubhasang sangkap na idinisenyo para sa mga proseso ng paglago ng kristal ng SIC. Ang TAC coating ay nagbibigay ng mahusay na mataas na temperatura ng pagtutol at pagkawalang -kilos ng kemikal upang makayanan ang mataas na temperatura at mga kinakaing unti -unting kapaligiran sa panahon ng proseso ng paglago ng kristal. Tinitiyak nito ang matatag na pagganap at mahabang buhay ng sangkap, binabawasan ang dalas ng kapalit at downtime. Kami ay nakatuon sa pagbibigay ng kalidad ng mga produkto sa mga mapagkumpitensyang presyo at inaasahan na maging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.Welcome upang kumunsulta sa anumang oras.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

TAC Coated Ring para sa SIC Epitaxial Reactor

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at innovator ng teknolohiya ng TaC Coated Ring para sa SiC Epitaxial Reactor sa China, na nakatuon sa pagbibigay ng mga solusyon na may mataas na pagganap para sa mga SiC epitaxial reactor. Marami kaming karanasan sa TaC coating technology. Ang TaC Coated Ring ay may mga katangian ng mataas na kadalisayan, mataas na katatagan, mahusay na paglaban sa kaagnasan, atbp., at maaaring magbigay ng pangmatagalang matatag na pagganap sa malupit na kapaligiran sa pagtatrabaho ng mga epitaxial reactor. Inaasahan namin ang pagtatatag ng pangmatagalang strategic partnership sa iyo.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE

Ang VeTek Semiconductor ay isang nangungunang supplier ng Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE sa China, na tumutuon sa TaC coating technology sa loob ng maraming taon. Ang aming Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE ay idinisenyo para sa proseso ng liquid phase epitaxy at makatiis ng mataas na temperatura na higit sa 2000 degrees Celsius. Sa mahusay na pagganap ng materyal at pagbabago sa proseso, ang buhay ng aming produkto ay nasa nangungunang antas sa industriya. Inaasahan ng VeTek Semiconductor ang pagiging iyong pangmatagalang kasosyo sa China.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Tantalum carbide coated planetary rotation disk

Ang Vetek Semiconductor ay isang nangungunang tagagawa at tagapagtustos ng Tantalum carbide coated planetary rotation disk sa China, na nakatuon sa teknolohiyang patong ng TAC sa loob ng maraming taon. Ang aming mga produkto ay may mataas na kadalisayan at mahusay na mataas na paglaban sa temperatura, na malawak na kinikilala ng mga tagagawa ng semiconductor. Ang Vetek semiconductor tantalum carbide coated planetary rotation disk ay naging gulugod ng industriya ng wafer epitaxy. Inaasahan namin ang pagtatatag ng isang pangmatagalang pakikipagtulungan sa iyo upang magkasama na itaguyod ang pag-unlad ng teknolohikal at pag-optimize ng produksyon.

Tingnan ang Higit Pa >> Magpadala ng Inquiry >>

Bilang isang propesyonal na tagagawa at tagapagtustos sa Tsina, mayroon kaming sariling pabrika. Kung kailangan mo ng mga pasadyang serbisyo upang matugunan ang mga tiyak na pangangailangan ng iyong rehiyon o nais na bumili ng advanced at matibay na Proseso ng SiC Epitaxy na ginawa sa China, maaari kang mag -iwan sa amin ng isang mensahe.

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Address
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Web Menu

Paghahanap ng Produkto

Wika

Lumabas sa Menu

Proseso ng SiC Epitaxy

Compound semiconductor crystals

Mga thermal insulator

Layunin:

Paghahambing ng SiC Coating at TaC Coating:

Silicon carbide epitaxy wafer carrier

Tantalum carbide coating coating

TAC Coated Deflector Ring

TAC Coated Ring para sa SIC Epitaxial Reactor

Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part para sa LPE

Tantalum carbide coated planetary rotation disk

Magpadala ng Inquiry

QR Code

Tungkol sa atin

Mga produkto

Makipag-ugnayan sa amin

Telepono

Fax

E-mail

Address