Sic coated sealing singsing para sa epitaxy

Ⅰ. Ano ang sic coated seal singsing?

Ang SIC Coated Seal Ring (Silicon Carbide Coated Seal Ring) ay isang sangkap na katumpakan na sealing na idinisenyo para sa mataas na temperatura, lubos na kinakaing unti -unting proseso ng semiconductor. Ang core nito ay sa pamamagitan ng kemikal na pag-aalis ng singaw (CVD) o proseso ng pisikal na pag-aalis ng singaw (PVD), grapayt o carbon composite material na substrate na pantay na pantay na sakop ng isang layer ng high-kadalisayan na silikon na karbida (sic) na patong, ang pagbuo ng parehong mekanikal na lakas ng substrate at coating ng mga mataas na pagganap na mga katangian ng pagbubuklod.  

Ⅱ. Komposisyon ng produkto at pangunahing teknolohiya  

1. Materyal ng Substrate:

Graphite o carbon-carbon composite material: Ang base material ay may kalamangan ng mataas na paglaban ng init (maaaring makatiis ng higit sa 2000 ℃) at mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, sa gayon tinitiyak ang dimensional na katatagan sa ilalim ng matinding mga kondisyon tulad ng mataas na temperatura.  

Ang istraktura ng machining ng katumpakan: Ang disenyo ng singsing ng katumpakan ay maaaring perpektong inangkop sa lukab ng mga kagamitan sa semiconductor, sa gayon tinitiyak ang flatness ng sealing surface at mahusay na airtightness.  

2. Functional Coating:  

Mataas na kadalisayan sic coating (kadalisayan ≥99.99%): Ang kapal ng coaing ay karaniwang 10-50μm, sa pamamagitan ng proseso ng CVD upang makabuo ng isang layer ng siksik na hindi porous na istraktura ng ibabaw, na nagbibigay ng sealing singsing na mahusay na kemikal na pagkawalang-galaw at mga mekanikal na katangian.

Ⅲ. Pangunahing mga pisikal na katangian at pakinabang

Ang Veteksemicon's sic-coated sealing singsing ay mainam para sa mga proseso ng epitaxy ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na pagganap sa ilalim ng matinding mga kondisyon. Nasa ibaba ang mga tiyak na pisikal na katangian ng produkto:

Iv. Ang mga pangunahing aplikasyon sa pagproseso ng semiconductor epitaxy  

Ang sic coated sealing singsing ay pangunahing ginagamit sa MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) at MBE (molekular beam epitaxy) at iba pang mga kagamitan sa proseso, ang mga tiyak na pag -andar ay kasama ang:  

1. Semiconductor Equipment Reaction Chamber Air Hightness Protection

Ang aming mga singsing na pinahiran na sealing sealing ay nagsisiguro na ang dimensional na pagpapahintulot (karaniwang sa loob ng ± 0.01mm) ng interface na may silid ng kagamitan (hal. Flange, base shaft) ay maliit hangga't maaari sa pamamagitan ng pagpapasadya ng istraktura ng singsing. 

Kasabay nito, ang singsing ng sealing ay katumpakan na makina gamit ang mga tool ng CNC machine upang matiyak ang isang pantay na akma sa paligid ng buong circumference ng contact surface, tinanggal ang mga mikroskopikong gaps. Ito ay epektibong pinipigilan ang pagtagas ng mga gas gas (hal. H₂, NH₃), tinitiyak ang kadalisayan ng kapaligiran ng paglago ng layer ng epitaxial, at nagpapabuti ng ani ng wafer.  

Sa kabilang banda, ang mahusay na higpit ng gas ay maaari ring hadlangan ang panghihimasok ng mga panlabas na pollutant (O₂, H₂O), sa gayon ay epektibong maiwasan ang mga depekto sa epitaxial layer (tulad ng dislocations, hindi pantay na doping ng mga impurities).  

2. Mataas na temperatura ng dynamic na suporta sa sealing  

Ang pag-ampon ng prinsipyo ng substrate-coating synergistic anti-deformation: dahil sa mababang koepisyent ng grapiko na substrate ng pagpapalawak ng thermal (CTE ≈ 4.5 × 10-⁶/° C) ay napakaliit, at sa matinding mataas na temperatura (＞ 1000 ℃) Ang pagpapalawak ay 1/5 lamang ng dami ng mga metal na seal, sa gayon ay epektibong maiiwasan ang paghihiwalay ng ibabaw ng sealing na sanhi ng thermal deform. Pinagsama sa ultra-high tigas ng SIC coating (HV2500 o higit pa), maaari itong epektibong pigilan ang mga gasgas sa ibabaw ng sealing na sanhi ng mekanikal na panginginig ng boses o epekto ng mga particle, at mapanatili ang mikroskopikong flat.

V. Mga Rekomendasyon sa Pagpapanatili

1.Regularly suriin ang sealing sealing suot (quarterly optical mikroskopyo inspeksyon ay inirerekomenda) upang maiwasan ang biglaang pagkabigo.  

2. Gumamit ng mga espesyal na tagapaglinis (tulad ng anhydrous ethanol) upang alisin ang mga deposito, ipinagbabawal ang paggiling ng mekanikal upang maiwasan ang pinsala sa patong ng SIC.