SIC Coated Deep UV LED Susceptor

Ang sic coated Deep UV LED Susceptor ay ang pangunahing sangkap ng tindig saMOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) Kagamitan. Ang Surceptor ay direktang nakakaapekto sa pagkakapareho, kontrol ng kapal at materyal na kalidad ng malalim na UV LED epitaxial growth, lalo na sa paglaki ng aluminyo nitride (ALN) epitaxial layer na may mataas na nilalaman ng aluminyo, ang disenyo at pagganap ng susceptor ay mahalaga.

Ang SIC Coated Deep UV LED Susceptor ay espesyal na na -optimize para sa malalim na UV LED epitaxy, at tiyak na dinisenyo batay sa thermal, mechanical at kemikal na mga katangian ng kapaligiran upang matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan sa proseso.

Gumagamit ang Vetek Semiconductor ng advanced na teknolohiya sa pagproseso upang matiyak ang pantay na pamamahagi ng init ng Susceptor sa loob ng saklaw ng temperatura ng operating, pag-iwas sa hindi pantay na paglaki ng epitaxial layer na sanhi ng temperatura ng gradient. Kinokontrol ng pagproseso ng katumpakan ang pagkamagaspang sa ibabaw, pinaliit ang kontaminasyon ng butil, at nagpapabuti sa kahusayan ng thermal conductivity ng contact sa ibabaw ng wafer.

Gumagamit ang Vetek Semiconductor ng SGL grapayt bilang materyal, at ang ibabaw ay ginagamot saCVD sic coating, na maaaring makatiis sa NH3, HCl at mataas na temperatura ng kapaligiran sa mahabang panahon. Ang Vetek Semiconductor's SIC Coated Deep UV LED Susceptor ay tumutugma sa thermal expansion coefficient ng ALN/Gan epitaxial wafers, binabawasan ang wafer warping o pag -crack na sanhi ng thermal stress sa panahon ng proseso.

Pinakamahalaga, ang Vetek Semiconductor's SIC na pinahiran ng malalim na UV LED na Susceptor ay perpektong umaangkop sa pangunahing kagamitan sa MOCVD (kabilang ang Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, atbp.). Sinusuportahan ang mga pasadyang serbisyo para sa laki ng wafer (2 ~ 8 pulgada), disenyo ng slot ng wafer, temperatura ng proseso at iba pang mga kinakailangan.

Mga Eksena sa Application:

● Malalim na paghahanda ng UV: Naaangkop sa proseso ng epitaxial ng mga aparato sa banda sa ibaba 260 nm (pagdidisimpekta ng UV-C, isterilisasyon at iba pang mga patlang).

● Nitride semiconductor epitaxy: Ginamit para sa paghahanda ng epitaxial ng mga materyales na semiconductor tulad ng gallium nitride (GaN) at aluminyo nitride (ALN).

● Mga eksperimento sa epitaxial na antas ng pananaliksik: Malalim na UV epitaxy at mga bagong eksperimento sa pag -unlad ng materyal sa mga unibersidad at mga institusyon ng pananaliksik.

Sa suporta ng isang malakas na pangkat ng teknikal, ang Vetek Semiconductor ay maaaring bumuo ng mga nasusukat na may natatanging mga pagtutukoy at pag-andar ayon sa mga pangangailangan ng customer, suportahan ang mga tiyak na proseso ng paggawa, at magbigay ng pangmatagalang serbisyo.

SEM data ng CVD sic coating film:

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD sic coating:

Ito semiconductorSIC Coated Deep UV LED Susceptor Product Shops: