Balita sa industriya

Sa mga prosesong may mataas na temperatura ng semiconductor, ang paghawak, pagsuporta, at thermal treatment ng mga wafer ay umaasa sa isang espesyal na bahaging sumusuporta—ang wafer boat. Habang tumataas ang temperatura ng proseso at tumataas ang mga kinakailangan sa pagkontrol sa kalinisan at particle, unti-unting ipinapakita ng mga tradisyunal na quartz wafer boat ang mga isyu gaya ng maikling buhay ng serbisyo, mataas na rate ng deformation, at mahinang corrosion resistance.

Para sa pang-industriya-scale na produksyon ng mga silicon carbide substrates, ang tagumpay ng isang solong pag-unlad ay hindi ang layunin ng pagtatapos. Ang tunay na hamon ay nakasalalay sa pagtiyak na ang mga kristal na lumago sa iba't ibang batch, tool, at yugto ng panahon ay nagpapanatili ng mataas na antas ng pagkakapare-pareho at pag-uulit sa kalidad. Sa kontekstong ito, ang papel ng tantalum carbide (TaC) coating ay higit pa sa pangunahing proteksyon—ito ay nagiging isang pangunahing salik sa pagpapatatag ng window ng proseso at pag-iingat sa ani ng produkto.

​Silicon carbide (SiC) Ang paglago ng PVT ay nagsasangkot ng matinding thermal cycling (temperatura ng silid na higit sa 2200 ℃). Ang napakalaking thermal stress na nabuo sa pagitan ng coating at ng graphite substrate dahil sa mismatch sa coefficients ng thermal expansion (CTE) ay ang pangunahing hamon sa pagtukoy sa buhay ng coating at pagiging maaasahan ng aplikasyon.